חומר ומבנה של סירת גרפיט
סירת גרפיט היא ציוד לתהליך בטמפרטורה גבוהה, העשוי בדרך כלל מחומר גרפיט טוהר גבוה ומטופל בציפוי SiC (סיליקון קרביד) או TaC (טנטלום קרביד) כדי לשפר את עמידות החמצון, עמידות הקורוזיה וחיי השירות של הציוד הכולל.
בייצור תעשייתי,סירות גרפיטמשמשים בדרך כלל כנשאים עבור פרוסות סיליקון קונבנציונליות בייצור תהליכי ציפוי. למבנה יש סירות רבות עם מרווח מסוים. ישנו מרווח צר מאוד בין שתי סירות סמוכות, ופלי הסיליקון ממוקמים משני צידי הדלת הריקה.
עקרון הפעולה של סירת גרפיט
מכיוון שלגרפיט, החומר ממנו עשויה סירת הגרפיט, יש מוליכות ומוליכות תרמית טובות, מופעל מתח AC בין שתי סירות סמוכות ליצירת אלקטרודות חיוביות ושליליות. כאשר יש לחץ אוויר וגז מסוימים בתא, מתרחשת פריקת זוהר בין שתי הסירות. פריקת הזוהר יכולה לפרק גז SiH4 ו-NH3 בחלל, ליצור יוני Si ו-N, ולהתאחד ליצירת מולקולות SiNx. היא שוקעת על פני השטח של...פרוסת סיליקוןכדי להשיג את מטרת הציפוי. כנשא של ציפוי נגד השתקפות של תאים סולאריים, המבנה והגודל של סירת הגרפיט משפיעים ישירות על יעילות ההמרה ויעילות הייצור של פרוסת סיליקון.
למה לבחור ב-VET Energy?
בתור המובילה של סיןסירת גרפיט PECVDיצרנית וספקית, לאחר שנים של מחקר ופיתוח טכניים, VET Energy מחזיקה כעת בציוד ייצור מתקדם הדומה ל-Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, מעצבים טכניים בוגרים ואנשי ייצור מנוסים, וכל החומרים הם חומרי גלם מיובאים.
כיום, סירות הגרפיט המיוצרות על ידי חברתנו מתאפיינות ביעילות גבוהה ובמבנה מדויק. המרווח בין סירות הגרפיט המתוכננות סביר, כך שציפוי פרוסות הסיליקון אחיד, איכות פרוסות הסיליקון משתפרת בכל ההיבטים, ויעילות המרת אנרגיה סולארית משתפרת מאוד. חשוב מכך, VET Energy יכולה לתכנן ולייצר את כל סוגי סירות הגרפיט הנדרשות בשוק הנוכחי, ולתמוך במוצרים ובשירותים טכניים בהתאמה אישית, אשר בהחלט יכולים לענות על הצרכים השונים שלכם של סירות גרפיט PECVD בהתאמה אישית.
זמן פרסום: 8 באפריל 2021
