Cal é a función da embarcación de grafito PECVD? | Enerxía VET

Material e estrutura dun barco de grafito

O barco de grafito é un equipo de proceso de alta temperatura, que normalmente está feito de material de grafito de alta pureza e tratado cun revestimento superficial de SiC (carburo de silicio) ou TaC (carburo de tántalo) para mellorar a resistencia á oxidación, a resistencia á corrosión e a vida útil do equipo en xeral.

Na fabricación industrial,barcos de grafitoadoitan empregarse como portadores de obleas de silicio convencionais na produción de procesos de revestimento. A estrutura ten moitas naves cun certo intervalo. Hai un espazo moi estreito entre dúas naves adxacentes e as obleas de silicio colócanse a ambos os dous lados da porta baleira.

Principio de funcionamento dun barco de grafito

Dado que o grafito, o material da caixa de grafito, ten boa condutividade e condutividade térmica, aplícase unha tensión CA entre dúas caixas adxacentes para formar eléctrodos positivos e negativos. Cando hai unha certa presión de aire e gas na cámara, prodúcese unha descarga luminiscente entre as dúas caixas. A descarga luminiscente pode descompoñer o gas SiH4 e NH3 no espazo, formar ións Si e N e combinarse para formar moléculas de SiNx. Deposítase na superficie deoblea de siliciopara lograr o propósito do revestimento. Como portador do revestimento antirreflexo das células solares, a estrutura e o tamaño da lámina de grafito afectan directamente á eficiencia da conversión e á eficiencia da produción da oblea de silicio.

Por que elixir VET Energy?

Como líder da ChinaBarco de grafito PECVDfabricante e provedor, tras anos de investigación e desenvolvemento técnico, VET Energy conta agora con equipos de produción avanzados comparables aos de Toyo Tanso, SGL Carbon e Mersen, deseñadores técnicos experimentados e persoal de produción experimentado, e todos os materiais son materias primas importadas.

Na actualidade, os barcos de grafito producidos pola nosa empresa teñen as características de alta eficiencia e estrutura precisa. E o espazado dos barcos de grafito deseñados é razoable, de xeito que o revestimento da oblea de silicio é uniforme, a calidade da oblea de silicio mellora en todos os aspectos e a eficiencia de conversión de enerxía solar mellora considerablemente. Máis importante aínda, VET Energy pode deseñar e producir todo tipo de barcos de grafito que require o mercado actual e apoiar produtos e servizos técnicos personalizados, que definitivamente poden satisfacer as súas diversas necesidades de produtos de barcos de grafito PECVD personalizados.

Barco de grafito PECVD de alta pureza para paneis solares