Kedu ọrụ ụgbọ mmiri graphite PECVD? | Ike VET

Ihe na nhazi nke ụgbọ mmiri graphite

Ụgbọ mmiri Graphite bụ ngwa ọrụ a na-eji eme ihe n'oge okpomọkụ dị elu, nke a na-ejikarị ihe dị ọcha nke graphite eme ma jiri ihe mkpuchi SiC (silicon carbide) ma ọ bụ TaC (tantalum carbide) gwọọ ya iji melite iguzogide oxidation nke akụrụngwa ahụ, iguzogide nchara na ndụ ọrụ ya.

N'ime mmepụta ihe,ụgbọ mmiri graphiteA na-ejikarị ya eme ihe dị ka ihe e ji ebu waya silicon nkịtị n'ime mmepụta usoro mkpuchi. Ụlọ ahụ nwere ọtụtụ ụgbọ mmiri nwere oge ụfọdụ. E nwere oghere dị warara n'etiti ụgbọ mmiri abụọ dị nso, a na-etinyekwa waya silicon n'akụkụ abụọ nke ọnụ ụzọ tọgbọ chakoo.

Ụkpụrụ ọrụ nke ụgbọ mmiri graphite

Ebe ọ bụ na graphite, ihe dị n'ụgbọ mmiri graphite, nwere ezigbo conductivity na thermal conductivity, a na-etinye voltaji AC n'etiti ụgbọ mmiri abụọ dị nso iji mepụta elektrọd dị mma na nke na-adịghị mma. Mgbe nrụgide ikuku na gas dị n'ime ụlọ ahụ, mwepụta ìhè na-apụta n'etiti ụgbọ mmiri abụọ ahụ. Mwepụ ìhè nwere ike ịgbawa gas SiH4 na NH3 n'ime oghere ahụ, mepụta ion Si na N, ma jikọta ọnụ iji mepụta molekul SiNx. A na-etinye ya n'elueriri siliconiji mezuo ebumnuche nke mkpuchi. Dịka onye na-ebu mkpuchi mgbochi ntụgharị uche nke mkpụrụ ndụ anyanwụ, nhazi na nha nke ụgbọ mmiri graphite na-emetụta kpọmkwem arụmọrụ mgbanwe na arụmọrụ mmepụta nke wafer silicon.

Gịnị kpatara ị ga-eji họrọ VET Energy?

Dịka onye mba China kacha eluỤgbọ mmiri graphite PECVDOnye nrụpụta na onye na-ebubata ihe, mgbe ọtụtụ afọ nke nyocha na mmepe teknụzụ gasịrị, VET Energy nwere ugbu a akụrụngwa mmepụta dị elu dị ka Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, ndị na-emepụta teknụzụ tozuru okè na ndị ọrụ mmepụta nwere ahụmịhe, ihe niile bụkwa ihe eji ebubata.

Ugbu a, ụgbọ mmiri graphite nke ụlọ ọrụ anyị mepụtara nwere njirimara nke arụmọrụ dị elu na nhazi ziri ezi. Oghere nke ụgbọ mmiri graphite e mere bụ ihe ezi uche dị na ya, nke mere na mkpuchi wafer silicon ahụ dị otu, a na-eme ka mma nke wafer silicon dịkwuo mma n'akụkụ niile, a na-emekwa ka arụmọrụ mgbanwe ike anyanwụ ka mma nke ukwuu. Ihe kacha mkpa bụ na VET Energy nwere ike imepụta ma mepụta ụdị ụgbọ mmiri graphite niile ahịa dị ugbu a chọrọ, ma kwado ngwaahịa na ọrụ teknụzụ ahaziri ahazi, nke nwere ike izute mkpa ngwaahịa ụgbọ mmiri graphite PECVD ahaziri ahazi gị.

Ụgbọ mmiri PECVD Graphite dị ọcha nke ukwuu maka panel anyanwụ