Kedu ọrụ ụgbọ mmiri graphite PECVD?

Dị ka ndị na-ebu nke nkịtị silicon wafers na mmepụta nke mkpuchi usoro, naụgbọ mmiri graphitenwere ọtụtụ wafers ụgbọ mmiri nwere oge ụfọdụ na nhazi ahụ, na enwere ohere dị warara n'etiti ụgbọ mmiri abụọ dị n'akụkụ, a na-etinyekwa silicon wafers n'akụkụ abụọ nke ọnụ ụzọ efu.

N'ihi na graphite, ihe nke ụgbọ mmiri graphite, nwere ezigbo conductivity na thermal conductivity, a na-etinye voltaji AC n'etiti ụgbọ mmiri abụọ dị n'akụkụ iji mepụta electrodes dị mma na nke na-adịghị mma.Mgbe enwere ụfọdụ nrụgide ikuku na gas n'ime ụlọ ahụ, ihe na-egbuke egbuke na-apụta n'etiti ụgbọ mmiri abụọ ahụ.Ngwunye na-egbuke egbuke nwere ike imebi SiH4 na NH3 gas na oghere, na-emepụta ions Si na N, ma jikọta na-emepụta mkpụrụ ndụ SiNx A na-echekwa ya n'elu silicon wafer iji nweta nzube nke mkpuchi.

Dị ka onye na-ebu ihe mkpuchi anwụ cell antireflection, nhazi na nha ụgbọ mmiri graphite na-emetụta kpọmkwem ngbanwe arụmọrụ na mmepụta mmepụta nke silicon wafer.Mgbe ọtụtụ afọ nke oru nyocha na mmepe, anyị ụlọ ọrụ ugbu a nwere elu mmepụta ngwá, tozuru okè nkà na ụzụ na-emepụta na ahụmahụ mmepụta ọrụ, na ihe na-dị ka akụrụngwa.Ka ọ dị ugbu a, ụgbọ mmiri graphite nke ụlọ ọrụ anyị na-arụ nwere uru nke ịdị elu dị elu Ọdịdị ahụ dị mfe na ebe dị anya n'etiti ụgbọ mmiri graphite bụ ihe ezi uche dị na ya, nke na-eme ka mkpuchi nke silicon wafer na-eme ka ọ dị mma, na-eme ka ọkpụkpụ silicon dị mma, na-eme ka ọ dịkwuo mma. ntughari ike anyanwụ dị elu.Ụlọ ọrụ Shijin nwere ụdị ụgbọ mmiri ink dị iche iche nke ahịa chọrọ ugbu a

21


Oge nzipu: Eprel-08-2021
Mkparịta ụka WhatsApp n'ịntanetị!