ग्रेफाइट नाव की सामग्री और संरचना
ग्रेफाइट बोट एक उच्च तापमान प्रक्रिया उपकरण है, जो आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट पदार्थ से बना होता है और उपकरण के समग्र ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) या TaC (टैंटलम कार्बाइड) कोटिंग सतह के साथ उपचारित किया जाता है।
औद्योगिक विनिर्माण में,ग्रेफाइट नावेंकोटिंग प्रक्रिया उत्पादन में पारंपरिक सिलिकॉन वेफर्स के लिए वाहक के रूप में इनका आमतौर पर उपयोग किया जाता है। संरचना में एक निश्चित अंतराल पर कई खांचे होते हैं। दो आसन्न खांचों के बीच बहुत कम जगह होती है, और सिलिकॉन वेफर्स को खाली जगह के दोनों ओर रखा जाता है।
ग्रेफाइट नाव का कार्य सिद्धांत
ग्रेफाइट बोट की सामग्री ग्रेफाइट होने के कारण, इसमें अच्छी चालकता और तापीय चालकता होती है, इसलिए दो आसन्न बोटों के बीच एसी वोल्टेज लगाकर धनात्मक और ऋणात्मक इलेक्ट्रोड बनाए जाते हैं। जब कक्ष में एक निश्चित वायु दाब और गैस मौजूद होती है, तो दोनों बोटों के बीच एक ग्लो डिस्चार्ज होता है। यह ग्लो डिस्चार्ज कक्ष में मौजूद SiH4 और NH3 गैसों को विघटित करके Si और N आयन बनाता है, जो मिलकर SiNx अणु बनाते हैं और सतह पर जमा हो जाते हैं।सिलिकॉन वेफरकोटिंग के उद्देश्य को प्राप्त करने के लिए। सौर सेल एंटीरिफ्लेक्शन कोटिंग के वाहक के रूप में, ग्रेफाइट बोट की संरचना और आकार सिलिकॉन वेफर की रूपांतरण दक्षता और उत्पादन दक्षता को सीधे प्रभावित करते हैं।
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पोस्ट करने का समय: 8 अप्रैल 2021
