Materiał i konstrukcja łodzi grafitowej
Łódź grafitowa to urządzenie do obróbki w wysokiej temperaturze, zwykle wykonane z czystego grafitu i pokryte powłoką SiC (węglik krzemu) lub TaC (węglik tantalu) w celu zwiększenia ogólnej odporności urządzenia na utlenianie, odporności na korozję i wydłużenia jego żywotności.
W produkcji przemysłowej,łodzie grafitoweSą one zazwyczaj używane jako nośniki dla konwencjonalnych płytek krzemowych w procesie produkcji powłok. Konstrukcja składa się z wielu łódek w pewnych odstępach. Pomiędzy dwiema sąsiednimi łódkami jest bardzo wąska przestrzeń, a płytki krzemowe są umieszczane po obu stronach pustych drzwi.
Zasada działania łodzi grafitowej
Ponieważ grafit, materiał, z którego wykonane są łódki grafitowe, charakteryzuje się dobrą przewodnością elektryczną i cieplną, między dwiema sąsiednimi łódkami przyłożono napięcie przemienne, aby utworzyć elektrody dodatnie i ujemne. Gdy w komorze znajduje się określone ciśnienie powietrza i gaz, między dwiema łódkami następuje wyładowanie jarzeniowe. Wyładowanie jarzeniowe może rozłożyć gazy SiH4 i NH3 w przestrzeni, tworząc jony Si i N, a następnie połączyć się, tworząc cząsteczki SiNx. Osadza się on na powierzchni.płytka krzemowaAby osiągnąć cel powłoki. Jako nośnik powłoki antyrefleksyjnej ogniw słonecznych, struktura i rozmiar grafitu bezpośrednio wpływają na wydajność konwersji i produkcji płytek krzemowych.
Dlaczego warto wybrać VET Energy?
Jako wiodący chińskiŁódź grafitowa PECVDproducent i dostawca, po latach badań technicznych i rozwoju, VET Energy dysponuje obecnie zaawansowanym sprzętem produkcyjnym, porównywalnym z Toyo Tanso, SGL Carbon, Mersen, doświadczonymi projektantami technicznymi i personelem produkcyjnym, a wszystkie materiały pochodzą z importowanych surowców.
Obecnie produkowane przez naszą firmę łodzie grafitowe charakteryzują się wysoką wydajnością i precyzyjną konstrukcją. Rozstaw projektowanych łodzi grafitowych jest rozsądny, co zapewnia równomierną powłokę płytek krzemowych, poprawia ich jakość pod każdym względem, a także znacznie zwiększa wydajność konwersji energii słonecznej. Co ważniejsze, VET Energy może zaprojektować i wyprodukować wszystkie rodzaje łodzi grafitowych wymagane przez obecny rynek, a także oferuje produkty i usługi techniczne dostosowane do indywidualnych potrzeb, co z pewnością spełni Państwa zróżnicowane potrzeby w zakresie łodzi grafitowych PECVD.
Czas publikacji: 08-04-2021
