Məsaməli Tantal Karbidlə Örtülmüş Qrafit Halqası

Məsaməli Tantal Karbidlə Örtülmüş Qrafit Halqası
Məsaməli tantal karbid (TaC) ilə örtülmüş qrafitYarımkeçirici istehsalının yüksək temperaturlu, yüksək korroziyaya davamlı mühitləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış əsas materialdır. Onun substratı kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) istifadə edərək vahid məsaməli tantal karbid örtüyü ilə örtülmüş yüksək təmizlikli izostatik qrafitdir. TaC olduqca yüksək sərtliyə (Mohs şkalası üzrə 9-10) və ərimə nöqtəsinə 3880°C-dir. Qrafitin əla istilik stabilliyi və yüngül xüsusiyyətləri ilə birləşən bu material yüksək temperatur möhkəmliyini kimyəvi hücuma və istilik şokuna qarşı müqavimətlə birləşdirir və bu da onu ekstremal şəraitdə işləyən yarımkeçirici proses avadanlığı üçün ideal seçim halına gətirir.

Məsaməli Tantal Karbid Qrafitinin üstünlükləri:
1. Ultra Yüksək Korroziyaya Qarşı Müqavimət
-TaC kimyəvi cəhətdən inertdir, flüor və xlor kimi halogenlərin korroziyasına effektiv şəkildə müqavimət göstərir və avadanlığın ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə uzadır.
-Məsaməli struktur örtüyün səth sahəsini artırır, daha möhkəm qoruyucu baryer əmələ gətirir və hissəciklərin tökülməsi riskini azaldır.
2. Əla Yüksək Temperatur Sabitliyi
- Ərimə nöqtəsi 4000°C-yə yaxınlaşdıqda, uzun müddət vakuumda və ya 2500°C-dən yuxarı olan inert atmosferlərdə işləyə bilər.
-Örtüyün istilik genişlənmə əmsalı qrafitinkinə yüksək dərəcədə uyğundur və istilik dövriyyəsi nəticəsində yaranan çatlama və delaminasiyanın qarşısını alır.
3. Yüksək Saflıq və Aşağı Çirklənmə
-Yarımkeçirici dərəcəli xammal və proseslərdən istifadə edərkən, metal çirklənmə miqdarı olduqca aşağıdır və bu da lövhənin çirklənmə riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
-Səth sıx və kimyəvi cəhətdən sabitdir, hissəciklərin əmələ gəlməsini azaldır və ciddi təmiz otaq standartlarına cavab verir.
4. Xüsusi Dizayn
Mürəkkəb formalar müştəri təsvirlərinə uyğun olaraq istehsal edilə bilər və optimal qaz axını və istilik keçiriciliyinə nail olmaq üçün məsaməlilik və örtük qalınlığı idarə oluna bilər.
5. Uzun ömür və aşağı texniki xidmət dəyəri
Məsaməli TaC örtüklərinin son dərəcə yüksək korroziyaya və aşınmaya davamlılığı, ənənəvi qrafitlə müqayisədə komponentlərin ömrünü 3-5 dəfə artırır, dəyişdirmə tezliyini və texniki xidmət xərclərini azaldır.

Əsas Tətbiqlər
1. Vafli istehsalı üçün əsas komponentlər
- CVD/ALD avadanlığı üçün reaksiya kamerası astarları, deflektorlar və duş başlığı
- PVD hədəf dəstəyi
- Diffuziya, oksidləşmə, tavlama və digər proseslər üçün yüksək temperaturlu proses komponentləri
2. Kimyəvi buxar çökmə sistemləri
- Proses zamanı əsas komponentlərin yüksək korroziyalı mühitlərdə (məsələn, flüoridlər və xloridlər) qorunması
3. Digər yüksək temperaturlu korroziyalı mühitlər
- Kimyəvi qaz təmizlənməsi, ixtisaslaşdırılmış istilik emalı sobaları və digər tətbiqlər üçün uyğundur.