Kvars Vafli QayığıYarımkeçirici istehsalında, fotovoltaik element istehsalında və qabaqcıl material tədqiqatı və inkişafında əsas daşıyıcı vasitədir, yüksək temperaturlu proseslərdə lövhənin stabil ötürülməsi və yerləşdirilməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu məhsul əla temperatur müqavimətinə, kimyəvi stabilliyə və ultra aşağı metal çirklənmə xüsusiyyətlərinə malik ultra yüksək təmizlikli əridilmiş silisiumdan (SiO2) hazırlanmışdır, diffuziya sobası, oksidləşmə sobası, PECVD/LPCVD və digər avadanlıqlar üçün uyğundur, lövhə örtüyündə, ion implantasiyasında, yüksək temperaturda tavlamada və digər əsas proseslərdə geniş istifadə olunur.
VET Energy şirkətinin kvars qayığının əsas üstünlükləri:
- Ultra yüksək təmizlik materialı
Saflıq ≥99.99%: Çirk tərkibi (Na, K, Fe və s.) <5ppm, lövhə çirklənməsinin qarşısını alır və çip məhsuldarlığını təmin edir.
Aşağı yağıntı və adsorbsiya: hissəciklərin yapışmasını və qaz qalığını azaltmaq üçün səth super cilalanmışdır (Ra≤0.4μm). - Yüksək temperatur sabitliyi
Temperatur həddi: Uzunmüddətli işləmə temperaturu 1100℃, qısamüddətli pik 1300℃, deformasiya yoxdur, kristal çöküntüsü yoxdur.
Aşağı istilik genişlənmə əmsalı (5.5x10-7/℃), əla istilik şokuna davamlıdır, sürətli temperatur yüksəlməsi və düşməsi prosesinə uyğunlaşa bilir (məsələn, RTP sürətli tavlama). - Dəqiq struktur dizaynı
Yuva dəqiqliyi ± 0.1 mm: 2 düymdən 12 düymlük lövhələrə uyğunluq, boşluq vahidliyi xətası <0.05 mm, lövhələrin yerdəyişməsinin olmamasını təmin edir.
Yüksək yük tutumu: Tək bir qayıqda maksimum 50 lövhə (12 düymlük lövhələr baxımından) yük, nazik lövhələrin (≥100 um) sabit daşınmasını dəstəkləyir. - Kimyəvi inertlik
Korroziyaya davamlılıq: Turşuya (HF istisna olmaqla), qələvi və üzvi həlledici korroziyasına davamlıdır, CMP təmizləmə prosesi ilə uyğundur.
Əla qaz sıxlığı: Sızma sürəti <5x10-10 Pa.m3/s, vakuum və qoruyucu qaz mühitləri üçün uyğundur. - Uzun ömür və davamlılıq
Ömür müddəti ≥ 5000 dövr (normal iş şəraiti), səth dəfələrlə təmizlənə və istifadə edilə bilər ki, bu da ümumi dəyəri azaldır.
Modul dizayn: qismən dəyişdirməni (məsələn, tək qayıq dişli) dəstəkləyir, boş dayanma vaxtını azaldır.
Müştərinin tələblərinə uyğun olaraq həm şəffaf, həm də buzlu səthlər təklif edirik:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların, qrafit, silikon karbid, keramika, SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi səth emalı daxil olmaqla materiallar və texnologiyaların istehsalı və satışına yönəlmiş yüksək texnologiyalı bir müəssisədir. Bu məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir və məhsulun performansını və keyfiyyətini təmin etmək üçün çoxsaylı patentləşdirilmiş texnologiyalar hazırlamış, həmçinin müştərilərə peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
