Графітавае кольца з пакрытым карбідам тантала порыстай паверхняй

Графітавае кольца з пакрытым карбідам тантала порыстай паверхняй
Графіт з пакрыццём з порыстага карбіду тантала (TaC)— гэта ключавы матэрыял, распрацаваны спецыяльна для высокатэмпературных і высокаагрэсіўных асяроддзяў вытворчасці паўправаднікоў. Яго асновай з'яўляецца высакачысты ізастатычны графіт, пакрыты аднастайным порыстым пакрыццём з карбіду тантала, нанесеным метадам хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD). TaC мае надзвычай высокую цвёрдасць (9-10 па шкале Мооса) і тэмпературу плаўлення 3880°C. У спалучэнні з выдатнай тэрмічнай стабільнасцю графіту і яго лёгкасцю гэты матэрыял спалучае ў сабе трываласць пры высокіх тэмпературах з устойлівасцю да хімічнага ўздзеяння і цеплавога ўдару, што робіць яго ідэальным выбарам для паўправадніковага тэхналагічнага абсталявання, якое працуе ў экстрэмальных умовах.

Перавагі порыстага графіту з карбіду тантала:
1. Звышвысокая каразійная ўстойлівасць
-TaC хімічна інертны, эфектыўна супрацьстаіць карозіі ад галагенаў, такіх як фтор і хлор, што значна падаўжае тэрмін службы абсталявання.
- Сітаватая структура павялічвае плошчу паверхні пакрыцця, утвараючы больш трывалы ахоўны бар'ер і зніжаючы рызыку асыпання часціц.
2. Выдатная стабільнасць пры высокіх тэмпературах
— З тэмпературай плаўлення, якая набліжаецца да 4000°C, ён можа працаваць працяглы час у вакууме або інэртнай атмасферы пры тэмпературы вышэй за 2500°C.
-Каэфіцыент цеплавога пашырэння пакрыцця вельмі супадае з каэфіцыентам графіту, што прадухіляе расколіны і расслаенне, выкліканыя тэрмічным цыклам.
3. Высокая чысціня і нізкі ўзровень забруджвання
-Выкарыстанне сыравіны і працэсаў паўправадніковага класа забяспечвае надзвычай нізкае ўтрыманне металічных прымешак, што значна зніжае рызыку забруджвання пласцін.
-Паверхня шчыльная і хімічна стабільная, што памяншае ўтварэнне часціц і адпавядае строгім стандартам чыстых памяшканняў.
4. Дызайн на заказ
Складаныя формы можна вырабляць паводле чарцяжоў заказчыка, а парыстасць і таўшчыню пакрыцця можна кантраляваць для дасягнення аптымальнага патоку газу і цеплаправоднасці.
5. Працяглы тэрмін службы і нізкія выдаткі на абслугоўванне
Надзвычай высокая каразійная і зносаўстойлівасць пакрыццяў з порыстага графіту TaC павялічвае тэрмін службы кампанентаў у 3-5 разоў у параўнанні з традыцыйным графітам, зніжаючы частату замены і выдаткі на абслугоўванне.

Асноўныя сферы прымянення
1. Асноўныя кампаненты для вытворчасці пласцін
- Абліцоўванне рэакцыйных камер, перагародкі і душавая галоўка для абсталявання CVD/ALD
- Апоры мішэняў PVD
- Высокатэмпературныя працэсныя кампаненты для дыфузіі, акіслення, адпалу і іншых працэсаў
2. Сістэмы хімічнага асаджэння з паравой фазы
- Абарона ключавых кампанентаў у высокаагрэсіўных асяроддзях (напрыклад, фтарыдах і хларыдах) падчас працэсу
3. Іншыя высокатэмпературныя каразійныя асяроддзі
- Падыходзіць для хімічнай ачысткі газаў, спецыялізаваных печаў для тэрмічнай апрацоўкі і іншых ужыванняў.