-
Mikä on CMP:n planarisaatiomekanismi?
Dual-Damascene on prosessitekniikka, jota käytetään integroitujen piirien metalliliitäntöjen valmistukseen. Se on Damaskoksen prosessin jatkokehitys. Muotoilemalla läpireiät ja urat samanaikaisesti samassa prosessivaiheessa ja täyttämällä ne metallilla, integroitu metallien valmistus...Lue lisää -
Grafiitti TaC-pinnoitteella
I. Prosessiparametrien tutkimus 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar-systeemi 2. Laskeutumislämpötila: Termodynaamisen kaavan mukaan lasketaan, että kun lämpötila on yli 1273 K, reaktion Gibbsin vapaa energia on hyvin alhainen ja reaktio on suhteellisen täydellinen. Rea...Lue lisää -
Piikarbidikiteiden kasvatusprosessi ja laiteteknologia
1. SiC-kiteiden kasvatustekniikan reitti PVT (sublimaatiomenetelmä), HTCBD (korkean lämpötilan CVD) ja LPE (nestefaasimenetelmä) ovat kolme yleistä SiC-kiteiden kasvatusmenetelmää. Alan tunnetuin menetelmä on PVT-menetelmä, ja yli 95 % SiC-yksittäiskiteistä kasvatetaan PVT:llä...Lue lisää -
Huokoisten pii-hiilikomposiittimateriaalien valmistus ja suorituskyvyn parantaminen
Litiumioniakut kehittyvät pääasiassa kohti korkeaa energiatiheyttä. Huoneenlämmössä piipohjaiset negatiivisen elektrodin materiaalit seostuvat litiumin kanssa, jolloin syntyy litiumpitoista tuotetta Li3.75Si-faasissa, jonka ominaiskapasiteetti on jopa 3572 mAh/g, mikä on paljon korkeampi kuin teoreettisesti arvioitu...Lue lisää -
Yksikiteisen piin terminen hapetus
Piidioksidin muodostumista piin pinnalle kutsutaan hapettumiseksi, ja stabiilin ja lujasti tarttuvan piidioksidin luominen johti piipohjaisten integroitujen piirien tasoteknologian syntyyn. Vaikka piidioksidia voidaan kasvattaa suoraan piin pinnalle monella tapaa...Lue lisää -
UV-käsittely viuhkalevyille
Kiekkotasopakkaus (FOWLP) on kustannustehokas menetelmä puolijohdeteollisuudessa. Mutta tämän prosessin tyypillisiä sivuvaikutuksia ovat vääntyminen ja sirun siirtymä. Kiekko- ja paneelitasoisen pakkauksen jatkuvasta parantamisesta huolimatta nämä muovaukseen liittyvät ongelmat ovat edelleen olemassa...Lue lisää -
Piikarbidikeraamit: aurinkosähköisten kvartsikomponenttien päätepiste
Nykymaailman jatkuvan kehityksen myötä uusiutumattomat energialähteet ovat ehtymässä, ja ihmisyhteiskunta on yhä tärkeämpi käyttämään uusiutuvaa energiaa, jota edustavat "tuuli, valo, vesi ja ydinvoima". Verrattuna muihin uusiutuviin energialähteisiin, ihmiset...Lue lisää -
Reaktiosintraus ja paineeton sintraus piikarbidikeraamien valmistusprosessi
Reaktiosintraus Reaktiosintraukseen perustuva piikarbidikeraamien valmistusprosessi sisältää keraamisen tiivistämisen, sintrausfluksin tunkeutumisaineen tiivistämisen, reaktiosintrauksen keraamisten tuotteiden valmistuksen, piikarbidipuukeraamien valmistuksen ja muut vaiheet. Reaktiosintrauspii...Lue lisää -
Piikarbidikeraamit: puolijohdeprosesseissa tarvittavat tarkkuuskomponentit
Fotolitografiatekniikka keskittyy pääasiassa optisten järjestelmien käyttöön piikiekkojen piirikuvioiden paljastamiseksi. Tämän prosessin tarkkuus vaikuttaa suoraan integroitujen piirien suorituskykyyn ja saantoon. Yhtenä sirujen valmistuksen parhaista laitteista litografiakone sisältää jopa...Lue lisää