-
Koji je mehanizam planarizacije CMP-a?
Dual-Damascene je procesna tehnologija koja se koristi za proizvodnju metalnih međuspojeva u integriranim krugovima. To je daljnji razvoj Damascus procesa. Oblikovanjem prolaznih rupa i utora istovremeno u istom koraku procesa i njihovim ispunjavanjem metalom, integrirana proizvodnja m...Pročitajte više -
Grafit s TaC premazom
I. Istraživanje parametara procesa 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar sustav 2. Temperatura taloženja: Prema termodinamičkoj formuli, izračunato je da je Gibbsova slobodna energija reakcije vrlo niska kada je temperatura veća od 1273K i reakcija je relativno završena. Stvar...Pročitajte više -
Proces i tehnologija opreme za rast kristala silicijevog karbida
1. Tehnologija rasta SiC kristala PVT (sublimacijska metoda), HTCUVD (visokotemperaturni CVD) i LPE (metoda tekuće faze) su tri uobičajene metode rasta SiC kristala; Najpriznatija metoda u industriji je PVT metoda, a više od 95% SiC monokristala uzgaja se PVT-om ...Pročitajte više -
Priprema i poboljšanje performansi poroznih silicijsko-ugljičnih kompozitnih materijala
Litij-ionske baterije se uglavnom razvijaju u smjeru visoke gustoće energije. Na sobnoj temperaturi, materijali negativnih elektroda na bazi silicija legiraju se s litijem kako bi se dobio proizvod bogat litijem, Li3.75Si faza, sa specifičnim kapacitetom do 3572 mAh/g, što je znatno više od teorije...Pročitajte više -
Termička oksidacija monokristalnog silicija
Stvaranje silicijevog dioksida na površini silicija naziva se oksidacija, a stvaranje stabilnog i snažno prianjajućeg silicijevog dioksida dovelo je do rođenja planarne tehnologije silicijevih integriranih krugova. Iako postoji mnogo načina za uzgoj silicijevog dioksida izravno na površini silicija...Pročitajte više -
UV obrada za pakiranje na razini pločice s ventilatorom
Pakiranje na razini pločice (FOWLP) isplativa je metoda u poluvodičkoj industriji. Ali tipične nuspojave ovog procesa su savijanje i pomak čipa. Unatoč kontinuiranom poboljšanju tehnologije pakiranja na razini pločice i ploče, ovi problemi povezani s oblikovanjem i dalje postoje...Pročitajte više -
Silicij-karbidna keramika: terminator fotonaponskih kvarcnih komponenti
S kontinuiranim razvojem današnjeg svijeta, neobnovljivi izvori energije sve se više iscrpljuju, a ljudsko društvo sve je hitnije da koristi obnovljivu energiju koju predstavljaju „vjetar, svjetlost, voda i nuklearna energija“. U usporedbi s drugim obnovljivim izvorima energije, ljudska bića...Pročitajte više -
Postupak pripreme silicij-karbidne keramike reakcijskim sinteriranjem i sinteriranjem bez tlaka
Reakcijsko sinteriranje Proces proizvodnje silicij-karbidne keramike reakcijskim sinteriranjem uključuje zbijanje keramike, zbijanje infiltracijom fluksa za sinteriranje, pripremu keramičkog proizvoda reakcijskim sinteriranjem, pripremu silicij-karbidne drvene keramike i druge korake. Reakcijsko sinteriranje silicija ...Pročitajte više -
Silicij-karbidna keramika: precizne komponente potrebne za poluvodičke procese
Tehnologija fotolitografije uglavnom se fokusira na korištenje optičkih sustava za eksponiranje uzoraka krugova na silicijskim pločicama. Točnost ovog procesa izravno utječe na performanse i prinos integriranih krugova. Kao jedna od najboljih oprema za proizvodnju čipova, litografski stroj sadrži do...Pročitajte više