-
CMP-யின் தளமாக்கல் பொறிமுறை என்பது என்ன?
டூயல்-டமாஸ்கஸ் என்பது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் உலோக இணைப்புகளை உற்பத்தி செய்யப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செயல்முறைத் தொழில்நுட்பமாகும். இது டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் ஒரு மேம்படுத்தப்பட்ட வடிவமாகும். ஒரே செயல்முறைப் படியில், ஒரே நேரத்தில் துளைகளையும் பள்ளங்களையும் உருவாக்கி, அவற்றை உலோகத்தால் நிரப்புவதன் மூலம், உலோகங்களின் ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி சாத்தியமாகிறது.மேலும் படிக்கவும் -
TaC பூச்சுடன் கூடிய கிராஃபைட்
I. செயல்முறை அளவுரு ஆய்வு 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar அமைப்பு 2. படிவு வெப்பநிலை: வெப்ப இயக்கவியல் சூத்திரத்தின்படி, வெப்பநிலை 1273K-ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்போது, வினையின் கிப்ஸ் கட்டற்ற ஆற்றல் மிகவும் குறைவாகவும், வினை ஒப்பீட்டளவில் முழுமையாகவும் இருக்கும் என்று கணக்கிடப்பட்டுள்ளது. இதன் விளைவாக...மேலும் படிக்கவும் -
சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி செயல்முறை மற்றும் உபகரண தொழில்நுட்பம்
1. SiC படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்ப வழிமுறைகளில், PVT (பதங்கமாதல் முறை), HTCVD (உயர் வெப்பநிலை CVD), LPE (திரவ நிலை முறை) ஆகியவை மூன்று பொதுவான SiC படிக வளர்ச்சி முறைகளாகும்; இத்துறையில் மிகவும் அங்கீகரிக்கப்பட்ட முறை PVT முறையாகும், மேலும் 95%-க்கும் அதிகமான SiC ஒற்றைப் படிகங்கள் PVT முறையிலேயே வளர்க்கப்படுகின்றன...மேலும் படிக்கவும் -
நுண்துளை சிலிக்கான் கார்பன் கலப்புப் பொருட்களின் தயாரிப்பு மற்றும் செயல்திறன் மேம்பாடு
லித்தியம்-அயன் மின்கலங்கள் முக்கியமாக அதிக ஆற்றல் அடர்த்தியை நோக்கிய திசையில் வளர்ந்து வருகின்றன. அறை வெப்பநிலையில், சிலிக்கான் அடிப்படையிலான எதிர்மின்முனைப் பொருட்கள் லித்தியத்துடன் கலப்புலோகம் ஆகி, லித்தியம் செறிந்த தயாரிப்பான Li3.75Si கட்டத்தை உருவாக்குகின்றன. இதன் குறிப்பிட்ட கொள்ளளவு 3572 mAh/g வரை உள்ளது, இது கோட்பாட்டு ரீதியானதை விட மிகவும் அதிகம்...மேலும் படிக்கவும் -
ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம்
சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவது ஆக்சிஜனேற்றம் என்று அழைக்கப்படுகிறது, மேலும் நிலையான மற்றும் வலுவாக ஒட்டிக்கொள்ளும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடின் உருவாக்கம், சிலிக்கான் ஒருங்கிணைந்த சுற்று தள தொழில்நுட்பத்தின் பிறப்புக்கு வழிவகுத்தது. சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் நேரடியாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்க்க பல வழிகள் இருந்தாலும்...மேலும் படிக்கவும் -
விசிறி வடிவ வேஃபர்-நிலை பேக்கேஜிங்கிற்கான UV செயலாக்கம்
குறைக்கடத்தித் துறையில் ஃபேன் அவுட் வேஃபர் லெவல் பேக்கேஜிங் (FOWLP) ஒரு செலவு குறைந்த முறையாகும். ஆனால் இந்தச் செயல்முறையின் பொதுவான பக்க விளைவுகளாக சில்லு வளைதல் மற்றும் சில்லு இடப்பெயர்ச்சி ஆகியவை உள்ளன. வேஃபர் லெவல் மற்றும் பேனல் லெவல் ஃபேன் அவுட் தொழில்நுட்பத்தில் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம் இருந்தபோதிலும், வார்ப்பல் தொடர்பான இந்தச் சிக்கல்கள் இன்னும் இருக்கின்றன...மேலும் படிக்கவும் -
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்கள்: ஒளிமின்னழுத்த குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் முற்றுப்புள்ளி
இன்றைய உலகின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியால், புதுப்பிக்க முடியாத ஆற்றல் அதிகளவில் தீர்ந்து வருகிறது. மேலும், “காற்று, ஒளி, நீர் மற்றும் அணுசக்தி” ஆகியவற்றால் குறிப்பிடப்படும் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றலைப் பயன்படுத்துவது மனித சமூகத்திற்கு மிகவும் அவசியமாகிறது. மற்ற புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் மூலங்களுடன் ஒப்பிடுகையில், மனிதர்கள்...மேலும் படிக்கவும் -
வினைச் சின்டரிங் மற்றும் அழுத்தமில்லா சின்டரிங் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தயாரிப்பு செயல்முறை
வினைச் சின்டரிங் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் உற்பத்தி செயல்முறையானது, செராமிக் இறுக்குதல், சின்டரிங் ஃப்ளக்ஸ் ஊடுருவல் காரணி இறுக்குதல், வினைச் சின்டரிங் செராமிக் தயாரிப்பு, சிலிக்கான் கார்பைடு மர செராமிக் தயாரிப்பு மற்றும் பிற படிகளை உள்ளடக்கியது. வினைச் சின்டரிங் சிலிக்கான்...மேலும் படிக்கவும் -
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்கள்: குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான துல்லியமான கூறுகள்
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பம், சிலிக்கான் வேஃபர்களில் மின்சுற்று வடிவங்களைப் பதிக்க ஒளியியல் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துவதில் முக்கியமாக கவனம் செலுத்துகிறது. இந்தச் செயல்முறையின் துல்லியம், ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளின் செயல்திறனையும் உற்பத்தி அளவையும் நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. சில்லு உற்பத்திக்கான முதன்மையான உபகரணங்களில் ஒன்றாக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரம்...மேலும் படிக்கவும்