-
Jaký je mechanismus planarizace CMP?
Dual-Damascene je procesní technologie používaná k výrobě kovových propojovacích vodičů v integrovaných obvodech. Jedná se o další vývoj damaškového procesu. Integrovaná výroba m...Číst dále -
Grafit s povlakem TaC
I. Průzkum procesních parametrů 1. Systém TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Teplota depozice: Podle termodynamického vzorce se vypočítá, že když je teplota vyšší než 1273 K, Gibbsova volná energie reakce je velmi nízká a reakce je relativně dokončena. Reálná...Číst dále -
Technologie procesu a zařízení pro růst krystalů karbidu křemíku
1. Technologie růstu krystalů SiC PVT (sublimační metoda), HTCUD (vysokoteplotní CVD) a LPE (metoda v kapalné fázi) jsou tři běžné metody růstu krystalů SiC; Nejuznávanější metodou v průmyslu je metoda PVT a více než 95 % monokrystalů SiC se pěstuje pomocí PVT ...Číst dále -
Příprava a zlepšení vlastností porézních kompozitních materiálů z křemíku a uhlíku
Lithium-iontové baterie se vyvíjejí především směrem k vysoké energetické hustotě. Při pokojové teplotě se materiály záporných elektrod na bázi křemíku slučují s lithiem za vzniku fáze Li3,75Si bohaté na lithium, se specifickou kapacitou až 3572 mAh/g, což je mnohem více než teoreticky...Číst dále -
Tepelná oxidace monokrystalického křemíku
Tvorba oxidu křemičitého na povrchu křemíku se nazývá oxidace a vytvoření stabilního a silně adherentního oxidu křemičitého vedlo ke zrodu planární technologie křemíkových integrovaných obvodů. Ačkoli existuje mnoho způsobů, jak pěstovat oxid křemičitý přímo na povrchu křemíku...Číst dále -
UV zpracování pro vějířovité balení na úrovni destiček
Vějířovité balení na úrovni waferů (FOWLP) je v polovodičovém průmyslu nákladově efektivní metoda. Typickými vedlejšími účinky tohoto procesu jsou však deformace a ofset čipu. Navzdory neustálému zdokonalování technologie vějířového balení na úrovni waferů a panelů tyto problémy související s lisováním stále přetrvávají...Číst dále -
Keramika z karbidu křemíku: terminátor fotovoltaických křemenných komponent
S neustálým rozvojem dnešního světa se neobnovitelné zdroje energie stále více vyčerpávají a lidská společnost má stále naléhavější potřebu využívat obnovitelné zdroje energie, které představuje „větr, světlo, voda a jaderná energie“. Ve srovnání s jinými obnovitelnými zdroji energie lidstvo...Číst dále -
Proces přípravy keramiky z karbidu křemíku reakčním spékáním a beztlakovým spékáním
Reakční spékání Výrobní proces reakčního spékání karbid křemíkové keramiky zahrnuje keramické zhutňování, zhutňování infiltračním tavidlem pro spékání, přípravu keramického produktu reakčním spékáním, přípravu dřevokeramiky z karbidu křemíku a další kroky. Reakční spékání křemíku ...Číst dále -
Keramika z karbidu křemíku: přesné součástky nezbytné pro polovodičové procesy
Technologie fotolitografie se zaměřuje především na použití optických systémů k exponování obvodových vzorů na křemíkových destičkách. Přesnost tohoto procesu přímo ovlivňuje výkon a výtěžnost integrovaných obvodů. Litografický stroj, jakožto jedno z nejlepších zařízení pro výrobu čipů, obsahuje až...Číst dále