-
Hva er planariseringsmekanismen til CMP?
Dual-Damaskus er en prosessteknologi som brukes til å produsere metallforbindelser i integrerte kretser. Det er en videreutvikling av Damaskus-prosessen. Ved å danne gjennomgående hull og spor samtidig i samme prosesstrinn og fylle dem med metall, kan den integrerte produksjonen av m...Les mer -
Grafitt med TaC-belegg
I. Utforskning av prosessparametere 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar-system 2. Avsetningstemperatur: I henhold til den termodynamiske formelen beregnes det at når temperaturen er høyere enn 1273 K, er Gibbs frie energi i reaksjonen svært lav, og reaksjonen er relativt fullført. Re...Les mer -
Silisiumkarbid krystallvekstprosess og utstyrsteknologi
1. SiC-krystallvekstteknologirute PVT (sublimeringsmetode), HTCVD (høytemperatur-CVD) og LPE (væskefasemetode) er tre vanlige SiC-krystallvekstmetoder. Den mest anerkjente metoden i bransjen er PVT-metoden, og mer enn 95 % av SiC-enkeltkrystaller dyrkes ved hjelp av PVT ...Les mer -
Forberedelse og ytelsesforbedring av porøse silisiumkarbonkomposittmaterialer
Litiumionbatterier utvikler seg hovedsakelig i retning av høy energitetthet. Ved romtemperatur legeres silisiumbaserte negative elektrodematerialer med litium for å produsere et litiumrikt produkt Li3,75Si-fase, med en spesifikk kapasitet på opptil 3572 mAh/g, som er mye høyere enn teoretisk sett...Les mer -
Termisk oksidasjon av enkeltkrystallsilisium
Dannelsen av silisiumdioksid på overflaten av silisium kalles oksidasjon, og dannelsen av stabilt og sterkt vedheftende silisiumdioksid førte til fødselen av planteknologi for integrerte kretser i silisium. Selv om det finnes mange måter å dyrke silisiumdioksid direkte på overflaten av silisium...Les mer -
UV-prosessering for Fan-Out Wafer-nivåpakking
Fan-out wafer-nivåpakking (FOWLP) er en kostnadseffektiv metode i halvlederindustrien. Men de typiske bivirkningene av denne prosessen er vridning og chip-forskyvning. Til tross for kontinuerlig forbedring av fan-out-teknologi på wafer- og panelnivå, eksisterer disse problemene knyttet til støping fortsatt...Les mer -
Silisiumkarbidkeramikk: terminatoren til fotovoltaiske kvartskomponenter
Med den kontinuerlige utviklingen i dagens verden blir ikke-fornybar energi stadig mer uttømt, og det menneskelige samfunn har et stadig større behov for å bruke fornybar energi representert ved «vind, lys, vann og kjernekraft». Sammenlignet med andre fornybare energikilder, har mennesker...Les mer -
Reaksjonssintring og trykkløs sintring av silisiumkarbidkeramikk
Reaksjonssintring Produksjonsprosessen for reaksjonssintring av silisiumkarbidkeramikk inkluderer keramisk komprimering, sintringsfluksinfiltrasjonsmiddelkomprimering, reaksjonssintring av keramiske produkter, fremstilling av silisiumkarbidtrekeramikk og andre trinn. Reaksjonssintring av silisium ...Les mer -
Silisiumkarbidkeramikk: presisjonskomponenter nødvendige for halvlederprosesser
Fotolitografiteknologi fokuserer hovedsakelig på å bruke optiske systemer for å eksponere kretsmønstre på silisiumskiver. Nøyaktigheten til denne prosessen påvirker direkte ytelsen og utbyttet til integrerte kretser. Som et av de beste utstyret for chipproduksjon inneholder litografimaskinen opptil...Les mer