-
តើយន្តការប្លង់នីយកម្មនៃ CMP ជាអ្វី?
Dual-Damascene គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការមួយដែលប្រើសម្រាប់ផលិតឧបករណ៍ភ្ជាប់លោហៈនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ វាគឺជាការអភិវឌ្ឍបន្ថែមទៀតនៃដំណើរការ Damascus។ តាមរយៈការបង្កើតរន្ធ និងចង្អូរក្នុងពេលតែមួយក្នុងជំហានដំណើរការដូចគ្នា និងបំពេញវាដោយលោហៈ ការផលិតរួមបញ្ចូលគ្នានៃ m...អានបន្ថែម -
ក្រាហ្វីតជាមួយថ្នាំកូត TaC
I. ការរុករកប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ 1. ប្រព័ន្ធ TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. សីតុណ្ហភាពនៃការរលាយ៖ យោងតាមរូបមន្តទែរម៉ូឌីណាមិក វាត្រូវបានគណនាថា នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពធំជាង 1273K ថាមពលសេរី Gibbs នៃប្រតិកម្មគឺទាបណាស់ ហើយប្រតិកម្មគឺពេញលេញ។ ប្រតិកម្ម...អានបន្ថែម -
ដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបៃ និងបច្ចេកវិទ្យាឧបករណ៍
១. ផ្លូវបច្ចេកវិទ្យាលូតលាស់គ្រីស្តាល់ SiC PVT (វិធីសាស្ត្រ sublimation), HTCVD (CVD សីតុណ្ហភាពខ្ពស់), LPE (វិធីសាស្ត្រដំណាក់កាលរាវ) គឺជាវិធីសាស្ត្រលូតលាស់គ្រីស្តាល់ SiC ទូទៅបី។ វិធីសាស្ត្រដែលទទួលស្គាល់បំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មគឺវិធីសាស្ត្រ PVT ហើយគ្រីស្តាល់ SiC ទោលជាង 95% ត្រូវបានដាំដុះដោយ PVT ...អានបន្ថែម -
ការរៀបចំ និងការកែលម្អដំណើរការនៃសម្ភារៈសមាសធាតុកាបូនស៊ីលីកុនដែលមានរន្ធញើស
ថ្មលីចូម-អ៊ីយ៉ុងភាគច្រើនកំពុងអភិវឌ្ឍក្នុងទិសដៅនៃដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់។ នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ អេឡិចត្រូតអវិជ្ជមានដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនត្រូវបានលាយជាមួយលីចូមដើម្បីបង្កើតជាផលិតផលសម្បូរលីចូមដំណាក់កាល Li3.75Si ដែលមានសមត្ថភាពជាក់លាក់រហូតដល់ 3572 mAh/g ដែលខ្ពស់ជាងទ្រឹស្តី...អានបន្ថែម -
អុកស៊ីតកម្មកម្ដៅនៃស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ
ការបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតនៅលើផ្ទៃស៊ីលីកុនត្រូវបានគេហៅថាអុកស៊ីតកម្ម ហើយការបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតដែលមានស្ថេរភាព និងស្អិតជាប់គ្នាយ៉ាងខ្លាំងបាននាំឱ្យមានកំណើតនៃបច្ចេកវិទ្យាសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាស៊ីលីកុន។ ទោះបីជាមានវិធីជាច្រើនដើម្បីដាំស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតដោយផ្ទាល់នៅលើផ្ទៃស៊ីលីកុនក៏ដោយ...អានបន្ថែម -
ដំណើរការ UV សម្រាប់ការវេចខ្ចប់កម្រិត Wafer ដែលកង្ហារចេញ
ការវេចខ្ចប់កម្រិតវ៉ាហ្វឺរដែលបញ្ចេញដោយកង្ហារ (FOWLP) គឺជាវិធីសាស្ត្រសន្សំសំចៃក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ប៉ុន្តែផលប៉ះពាល់ធម្មតានៃដំណើរការនេះគឺការរួញ និងអុហ្វសិតបន្ទះឈីប។ ទោះបីជាមានការកែលម្អជាបន្តបន្ទាប់នៃបច្ចេកវិទ្យាកម្រិតវ៉ាហ្វឺរ និងកម្រិតបន្ទះក៏ដោយ បញ្ហាទាំងនេះទាក់ទងនឹងការឡើងផ្សិតនៅតែកើតមាន...អានបន្ថែម -
សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត៖ សារធាតុបញ្ចប់នៃសមាសធាតុរ៉ែថ្មខៀវ photovoltaic
ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃពិភពលោកសព្វថ្ងៃនេះ ថាមពលមិនកកើតឡើងវិញកំពុងកាន់តែអស់រលីង ហើយសង្គមមនុស្សកាន់តែមានភាពបន្ទាន់ក្នុងការប្រើប្រាស់ថាមពលកកើតឡើងវិញដែលតំណាងដោយ "ខ្យល់ ពន្លឺ ទឹក និងនុយក្លេអ៊ែរ"។ បើប្រៀបធៀបជាមួយប្រភពថាមពលកកើតឡើងវិញផ្សេងទៀត មនុស្ស...អានបន្ថែម -
ដំណើរការរៀបចំសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតដោយប្រតិកម្មស៊ីនធឺរ និងស៊ីនធឺរដោយគ្មានសម្ពាធ
ប្រតិកម្មស៊ីនទ្រី ដំណើរការផលិតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃស៊ីនទ្រីប្រតិកម្មរួមមានការបង្រួមសេរ៉ាមិច ការបង្រួមសារធាតុជ្រៀតចូលស៊ីនទ្រី ការរៀបចំផលិតផលសេរ៉ាមិចស៊ីនទ្រីប្រតិកម្ម ការរៀបចំសេរ៉ាមិចឈើស៊ីលីកុនកាបៃ និងជំហានផ្សេងៗទៀត។ ប្រតិកម្មស៊ីនទ្រីស៊ីលីកុន...អានបន្ថែម -
សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត៖ សមាសធាតុភាពជាក់លាក់ចាំបាច់សម្រាប់ដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ
បច្ចេកវិទ្យាបោះពុម្ពដោយពន្លឺផ្តោតជាចម្បងលើការប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធអុបទិកដើម្បីបង្ហាញលំនាំសៀគ្វីលើបន្ទះស៊ីលីកុន។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការនេះប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ដំណើរការនិងទិន្នផលនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូល។ ក្នុងនាមជាឧបករណ៍កំពូលមួយសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីប ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពដោយពន្លឺមានរហូតដល់...អានបន្ថែម