-
CMP ಯ ಸಮತಲೀಕರಣ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನ ಏನು?
ಡ್ಯುಯಲ್-ಡಮಾಸ್ಸೀನ್ ಎನ್ನುವುದು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳಲ್ಲಿ ಲೋಹದ ಇಂಟರ್ಕನೆಕ್ಟ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಬಳಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಡಮಾಸ್ಕಸ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮತ್ತಷ್ಟು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಾಗಿದೆ. ಒಂದೇ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಒಂದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ರಂಧ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಚಡಿಗಳ ಮೂಲಕ ರೂಪಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ಅವುಗಳನ್ನು ಲೋಹದಿಂದ ತುಂಬಿಸುವ ಮೂಲಕ, m... ನ ಸಮಗ್ರ ಉತ್ಪಾದನೆ.ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
TaC ಲೇಪನ ಹೊಂದಿರುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್
I. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯತಾಂಕ ಪರಿಶೋಧನೆ 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar ವ್ಯವಸ್ಥೆ 2. ಠೇವಣಿ ತಾಪಮಾನ: ಉಷ್ಣಬಲ ವಿಜ್ಞಾನ ಸೂತ್ರದ ಪ್ರಕಾರ, ತಾಪಮಾನವು 1273K ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾದಾಗ, ಕ್ರಿಯೆಯ ಗಿಬ್ಸ್ ಮುಕ್ತ ಶಕ್ತಿಯು ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯೆಯು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಪೂರ್ಣಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ಲೆಕ್ಕಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಾಸ್ತವ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ
1. SiC ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮಾರ್ಗ PVT (ಉತ್ಪನ್ನೀಕರಣ ವಿಧಾನ), HTCVD (ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ CVD), LPE (ದ್ರವ ಹಂತದ ವಿಧಾನ) ಮೂರು ಸಾಮಾನ್ಯ SiC ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವಿಧಾನಗಳಾಗಿವೆ; ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ವಿಧಾನವೆಂದರೆ PVT ವಿಧಾನ, ಮತ್ತು 95% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು SiC ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು PVT ಯಿಂದ ಬೆಳೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸರಂಧ್ರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ವಸ್ತುಗಳ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಸುಧಾರಣೆ
ಲಿಥಿಯಂ-ಐಯಾನ್ ಬ್ಯಾಟರಿಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಹೊಂದುತ್ತಿವೆ. ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್-ಆಧಾರಿತ ಋಣಾತ್ಮಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ವಸ್ತುಗಳು ಲಿಥಿಯಂನೊಂದಿಗೆ ಮಿಶ್ರಲೋಹವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಲಿಥಿಯಂ-ಸಮೃದ್ಧ ಉತ್ಪನ್ನ Li3.75Si ಹಂತವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು 3572 mAh/g ವರೆಗಿನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದೊಂದಿಗೆ, ಇದು ಸಿದ್ಧಾಂತಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಉಷ್ಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಬಲವಾಗಿ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ರಚನೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಪ್ಲಾನರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಜನನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಯಿತು. ಸಿಲಿಕೋ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಅನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಹಲವು ಮಾರ್ಗಗಳಿದ್ದರೂ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಫ್ಯಾನ್-ಔಟ್ ವೇಫರ್-ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ಗಾಗಿ UV ಸಂಸ್ಕರಣೆ
ಫ್ಯಾನ್ ಔಟ್ ವೇಫರ್ ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ (FOWLP) ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಆದರೆ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಡ್ಡಪರಿಣಾಮಗಳು ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಆಫ್ಸೆಟ್. ವೇಫರ್ ಲೆವೆಲ್ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾನಲ್ ಲೆವೆಲ್ ಫ್ಯಾನ್ ಔಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ನಿರಂತರ ಸುಧಾರಣೆಯ ಹೊರತಾಗಿಯೂ, ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಈ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ಇನ್ನೂ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಗಳು: ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ಘಟಕಗಳ ಟರ್ಮಿನೇಟರ್
ಇಂದಿನ ಪ್ರಪಂಚದ ನಿರಂತರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ನವೀಕರಿಸಲಾಗದ ಶಕ್ತಿಯು ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ಖಾಲಿಯಾಗುತ್ತಿದೆ ಮತ್ತು ಮಾನವ ಸಮಾಜವು "ಗಾಳಿ, ಬೆಳಕು, ನೀರು ಮತ್ತು ಪರಮಾಣು" ದಿಂದ ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುವ ನವೀಕರಿಸಬಹುದಾದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಬಳಸಲು ಹೆಚ್ಚು ತುರ್ತು ಆಗುತ್ತಿದೆ. ಇತರ ನವೀಕರಿಸಬಹುದಾದ ಇಂಧನ ಮೂಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಮಾನವ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡರಹಿತ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಯಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟಿಂಗ್, ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ ಇನ್ಫಿಲ್ಟ್ರೇಶನ್ ಏಜೆಂಟ್ ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟಿಂಗ್, ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉತ್ಪನ್ನ ತಯಾರಿಕೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮರದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್: ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ನಿಖರ ಘಟಕಗಳು.
ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಮೇಲಿನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಗಳನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಲು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದರ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆಯು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಉನ್ನತ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು