-
Jaki jest mechanizm planaryzacji CMP?
Dual-Damascene to technologia procesowa stosowana do produkcji metalowych połączeń międzyukładowych w układach scalonych. Jest to rozwinięcie procesu damasceńskiego. Poprzez jednoczesne formowanie otworów przelotowych i rowków w tym samym etapie procesu i wypełnianie ich metalem, zintegrowana produkcja...Przeczytaj więcej -
Grafit z powłoką TaC
I. Badanie parametrów procesu 1. Układ TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Temperatura osadzania: Zgodnie ze wzorem termodynamicznym oblicza się, że gdy temperatura jest wyższa niż 1273 K, energia swobodna Gibbsa reakcji jest bardzo niska, a reakcja jest względnie zakończona.Przeczytaj więcej -
Technologia i wyposażenie do wzrostu kryształów węglika krzemu
1. Technologia wzrostu kryształów SiC obejmuje trzy powszechnie stosowane metody wzrostu kryształów SiC: PVT (sublimacja), HTCVD (wysokotemperaturowe CVD) i LPE (metoda fazy ciekłej). Najbardziej uznaną metodą w branży jest metoda PVT, przy użyciu której wytwarza się ponad 95% monokryształów SiC.Przeczytaj więcej -
Przygotowanie i poprawa wydajności porowatych materiałów kompozytowych krzemowo-węglowych
Baterie litowo-jonowe rozwijają się głównie w kierunku wysokiej gęstości energii. W temperaturze pokojowej materiały elektrod ujemnych na bazie krzemu łączą się z litem, tworząc bogaty w lit produkt – fazę Li3,75Si, o pojemności właściwej do 3572 mAh/g, która jest znacznie wyższa niż teoretyczna...Przeczytaj więcej -
Utlenianie termiczne monokrystalicznego krzemu
Powstawanie dwutlenku krzemu na powierzchni krzemu nazywa się utlenianiem, a stworzenie stabilnego i silnie przylegającego dwutlenku krzemu doprowadziło do powstania technologii planarnych układów scalonych z krzemu. Chociaż istnieje wiele sposobów na hodowlę dwutlenku krzemu bezpośrednio na powierzchni krzemu...Przeczytaj więcej -
Obróbka UV w pakowaniu na poziomie wafli
Rozdzielanie warstwowe (FOWLP) to ekonomiczna metoda w przemyśle półprzewodnikowym. Typowymi efektami ubocznymi tego procesu są jednak odkształcenia i przesunięcia chipów. Pomimo ciągłego udoskonalania technologii rozdzielania warstwowego na poziomie wafli i paneli, problemy związane z formowaniem wciąż istnieją...Przeczytaj więcej -
Ceramika z węglika krzemu: terminator elementów kwarcowych do zastosowań fotowoltaicznych
Wraz z ciągłym rozwojem współczesnego świata, zasoby energii nieodnawialnej są coraz bardziej wyczerpywane, a społeczeństwo coraz pilniej potrzebuje energii odnawialnej, reprezentowanej przez „wiatr, światło, wodę i energię jądrową”. W porównaniu z innymi odnawialnymi źródłami energii, ludzie...Przeczytaj więcej -
Proces przygotowania ceramiki z węglika krzemu metodą spiekania reaktywnego i spiekania bezciśnieniowego
Spiekanie reakcyjne. Proces produkcji ceramiki z węglika krzemu metodą spiekania reakcyjnego obejmuje zagęszczanie ceramiki, zagęszczanie za pomocą topnika spiekanego, przygotowanie produktu ceramicznego metodą spiekania reakcyjnego, przygotowanie ceramiki z węglika krzemu do drewna oraz inne etapy. Spiekanie reakcyjne krzemu...Przeczytaj więcej -
Ceramika z węglika krzemu: precyzyjne komponenty niezbędne w procesach półprzewodnikowych
Technologia fotolitografii koncentruje się głównie na wykorzystaniu układów optycznych do naświetlania wzorów obwodów na płytkach krzemowych. Dokładność tego procesu bezpośrednio wpływa na wydajność i wydajność układów scalonych. Jako jeden z najnowocześniejszych urządzeń do produkcji chipów, maszyna litograficzna zawiera aż...Przeczytaj więcej