-
مکانیسم مسطح شدن CMP چیست؟
دمشقی دوگانه یک فناوری فرآیندی است که برای ساخت اتصالات فلزی در مدارهای مجتمع استفاده میشود. این فرآیند، توسعهی بیشتری از فرآیند دمشقی است. با شکلدهی از طریق سوراخها و شیارها به طور همزمان در یک مرحلهی فرآیند و پر کردن آنها با فلز، تولید یکپارچهی ...ادامه مطلب -
گرافیت با پوشش TaC
I. بررسی پارامترهای فرآیند ۱. سیستم TaCl5-C3H6-H2-Ar ۲. دمای رسوبگذاری: طبق فرمول ترمودینامیکی، محاسبه میشود که وقتی دما بیشتر از ۱۲۷۳ کلوین باشد، انرژی آزاد گیبس واکنش بسیار پایین است و واکنش نسبتاً کامل است. واقعیت...ادامه مطلب -
فرآیند رشد کریستال کاربید سیلیکون و فناوری تجهیزات
1. مسیر فناوری رشد کریستال SiC PVT (روش تصعید)، HTCVD (CVD با دمای بالا)، LPE (روش فاز مایع) سه روش رایج رشد کریستال SiC هستند. شناختهشدهترین روش در صنعت، روش PVT است و بیش از 95٪ از تک کریستالهای SiC توسط PVT رشد میکنند...ادامه مطلب -
آمادهسازی و بهبود عملکرد مواد کامپوزیتی متخلخل سیلیکون کربن
باتریهای لیتیوم-یون عمدتاً در جهت چگالی انرژی بالا در حال توسعه هستند. در دمای اتاق، مواد الکترود منفی مبتنی بر سیلیکون با لیتیوم آلیاژ میشوند تا محصول غنی از لیتیوم فاز Li3.75Si با ظرفیت ویژه تا 3572 میلیآمپر ساعت بر گرم تولید کنند که بسیار بالاتر از ظرفیت تئوری ...ادامه مطلب -
اکسیداسیون حرارتی سیلیکون تک کریستالی
تشکیل دی اکسید سیلیکون روی سطح سیلیکون، اکسیداسیون نامیده میشود و ایجاد دی اکسید سیلیکون پایدار و بسیار چسبنده منجر به تولد فناوری مسطح مدار مجتمع سیلیکونی شد. اگرچه روشهای زیادی برای رشد مستقیم دی اکسید سیلیکون روی سطح سیلیکون وجود دارد...ادامه مطلب -
پردازش UV برای بستهبندی ویفر-سطح با خروجی بازشو
بستهبندی در سطح ویفر با خروجی فن (FOWLP) روشی مقرون به صرفه در صنعت نیمههادی است. اما عوارض جانبی معمول این فرآیند، تاب برداشتن و جابجایی تراشه است. با وجود بهبود مستمر فناوری خروجی در سطح ویفر و سطح پنل، این مسائل مربوط به قالبگیری هنوز وجود دارند...ادامه مطلب -
سرامیکهای سیلیکون کاربید: پایاندهندهی اجزای کوارتز فتوولتائیک
با توسعه مداوم جهان امروز، انرژیهای تجدیدناپذیر به طور فزایندهای رو به اتمام هستند و جامعه بشری به طور فزایندهای به استفاده از انرژیهای تجدیدپذیر که با «باد، نور، آب و هستهای» نشان داده میشوند، نیاز مبرم دارد. در مقایسه با سایر منابع انرژی تجدیدپذیر، انسانها...ادامه مطلب -
فرآیند آمادهسازی سرامیک سیلیکون کاربید با تفجوشی واکنشی و تفجوشی بدون فشار
پخت واکنشی فرآیند تولید سرامیک سیلیکون کاربید پخت واکنشی شامل فشرده سازی سرامیک، فشرده سازی عامل نفوذی پخت، آماده سازی محصول سرامیکی پخت واکنشی، آماده سازی سرامیک چوب سیلیکون کاربید و سایر مراحل است. پخت واکنشی سیلیکون ...ادامه مطلب -
سرامیکهای سیلیکون کاربید: اجزای دقیق مورد نیاز برای فرآیندهای نیمههادی
فناوری فوتولیتوگرافی عمدتاً بر استفاده از سیستمهای نوری برای نمایش الگوهای مدار روی ویفرهای سیلیکونی تمرکز دارد. دقت این فرآیند مستقیماً بر عملکرد و بازده مدارهای مجتمع تأثیر میگذارد. دستگاه لیتوگرافی به عنوان یکی از تجهیزات برتر برای تولید تراشه، شامل ...ادامه مطلب