-
Aký je mechanizmus planarizácie CMP?
Dual-Damascene je procesná technológia používaná na výrobu kovových prepojení v integrovaných obvodoch. Ide o ďalší vývoj damaškového procesu. Vytvorením priechodných otvorov a drážok súčasne v tom istom procesnom kroku a ich vyplnením kovom sa dosiahne integrovaná výroba...Čítať ďalej -
Grafit s povlakom TaC
I. Prieskum procesných parametrov 1. Systém TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Teplota nanášania: Podľa termodynamického vzorca sa vypočíta, že keď je teplota vyššia ako 1273 K, Gibbsova voľná energia reakcie je veľmi nízka a reakcia je relatívne dokončená. Skutočná...Čítať ďalej -
Technológia procesu a zariadenia na rast kryštálov karbidu kremíka
1. Technológia rastu kryštálov SiC: PVT (sublimačná metóda), HTCUD (vysokoteplotné CVD) a LPE (metóda v kvapalnej fáze) sú tri bežné metódy rastu kryštálov SiC. Najuznávanejšou metódou v priemysle je metóda PVT a viac ako 95 % monokryštálov SiC sa vypestuje pomocou PVT...Čítať ďalej -
Príprava a zlepšenie výkonu kompozitných materiálov z porézneho kremíka a uhlíka
Lítium-iónové batérie sa vyvíjajú najmä smerom k vysokej energetickej hustote. Pri izbovej teplote sa materiály so zápornou elektródou na báze kremíka zliatinujú s lítiom za vzniku produktu bohatého na lítium, fázy Li3,75Si, so špecifickou kapacitou až 3572 mAh/g, čo je oveľa viac ako teoretické predpoklady...Čítať ďalej -
Tepelná oxidácia monokryštálového kremíka
Tvorba oxidu kremičitého na povrchu kremíka sa nazýva oxidácia a vytvorenie stabilného a silne priľnavého oxidu kremičitého viedlo k zrodu planárnej technológie kremíkových integrovaných obvodov. Hoci existuje mnoho spôsobov, ako pestovať oxid kremičitý priamo na povrchu kremíka...Čítať ďalej -
UV spracovanie pre balenie na úrovni doštičiek s rozvetvením
Rozptyľovanie na úrovni doštičiek (FOWLP) je nákladovo efektívna metóda v polovodičovom priemysle. Typickými vedľajšími účinkami tohto procesu sú však deformácia a posun čipu. Napriek neustálemu zlepšovaniu technológie rozptyľovania na úrovni doštičiek a panelov tieto problémy súvisiace s lisovaním stále pretrvávajú...Čítať ďalej -
Keramika z karbidu kremíka: terminátor fotovoltaických kremenných komponentov
S neustálym rozvojom dnešného sveta sa neobnoviteľné zdroje energie čoraz viac vyčerpávajú a ľudská spoločnosť má čoraz naliehavejšie využívať obnoviteľnú energiu, ktorú predstavuje „vietor, svetlo, voda a jadrová energia“. V porovnaní s inými obnoviteľnými zdrojmi energie ľudia...Čítať ďalej -
Proces prípravy karbidu kremíka reakčným spekaním a beztlakovým spekaním
Reakčné spekanie Výrobný proces reakčného spekania karbidu kremíka zahŕňa zhutňovanie keramiky, zhutňovanie infiltráciou tavidla, prípravu keramického produktu reakčným spekaním, prípravu drevenej keramiky z karbidu kremíka a ďalšie kroky. Reakčné spekanie kremíka ...Čítať ďalej -
Keramika z karbidu kremíka: presné súčiastky potrebné pre polovodičové procesy
Technológia fotolitografie sa zameriava najmä na použitie optických systémov na exponovanie obvodových vzorov na kremíkových doštičkách. Presnosť tohto procesu priamo ovplyvňuje výkon a výťažnosť integrovaných obvodov. Ako jedno z najlepších zariadení na výrobu čipov obsahuje litografický stroj až...Čítať ďalej