-
CMP жазықтық механизмі қандай?
Dual-Damascene - интегралды схемаларда металл қосылыстарын өндіру үшін қолданылатын технологиялық процесс. Бұл Дамаск процесінің одан әрі дамуы. Бір процестің сатысында бір уақытта тесіктер мен ойықтар арқылы пішіндеу және оларды металлмен толтыру арқылы, м... интеграцияланған өндірісі.Толығырақ оқу -
TaC жабыны бар графит
I. Процесс параметрлерін зерттеу 1. TaCl5-C3H6-H2-Ar жүйесі 2. Тұндыру температурасы: Термодинамикалық формулаға сәйкес, температура 1273К-ден жоғары болған кезде реакцияның Гиббс бос энергиясы өте төмен және реакция салыстырмалы түрде толық болады деп есептеледі. Реа...Толығырақ оқу -
Кремний карбиді кристалын өсіру процесі және жабдықтар технологиясы
1. SiC кристалдарын өсіру технологиясының жолы PVT (сублимация әдісі), HTCVD (жоғары температуралы CVD), LPE (сұйық фазалық әдіс) - SiC кристалдарын өсірудің үш кең таралған әдісі; саладағы ең танымал әдіс - PVT әдісі, және SiC монокристалдарының 95%-дан астамы PVT арқылы өсіріледі...Толығырақ оқу -
Кеуекті кремний көміртекті композиттік материалдарды дайындау және өнімділікті жақсарту
Литий-ионды батареялар негізінен жоғары энергия тығыздығы бағытында дамып келеді. Бөлме температурасында кремний негізіндегі теріс электродты материалдар литиймен қорытылып, литийге бай Li3.75Si фазасын шығарады, оның меншікті сыйымдылығы 3572 мАч/г дейін жетеді, бұл теориядан әлдеқайда жоғары...Толығырақ оқу -
Монокристалды кремнийдің термиялық тотығуы
Кремний бетінде кремний диоксидінің пайда болуы тотығу деп аталады, ал тұрақты және берік жабысатын кремний диоксидінің пайда болуы кремнийдің интегралды схемасының жазық технологиясының пайда болуына әкелді. Кремний диоксидін тікелей кремний бетінде өсірудің көптеген жолдары бар болса да...Толығырақ оқу -
Желдеткішпен шығарылатын вафли деңгейіндегі қаптамаға арналған ультракүлгін өңдеу
Желдеткішпен пластина деңгейін орау (FOWLP) жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде үнемді әдіс болып табылады. Бірақ бұл процестің әдеттегі жанама әсерлері - деформация және чиптердің ығысуы. Плиталар деңгейі мен панель деңгейіндегі желдеткішпен жабатын технологияның үздіксіз жетілдірілуіне қарамастан, қалыптауға қатысты бұл мәселелер әлі де өзекті...Толығырақ оқу -
Кремний карбиді керамикасы: фотоэлектрлік кварц компоненттерінің терминаторы
Бүгінгі әлемнің үздіксіз дамуымен жаңартылмайтын энергия көздері барған сайын сарқылып барады, ал адамзат қоғамы «жел, жарық, су және ядролық» түріндегі жаңартылатын энергияны пайдалануды өзекті етеді. Басқа жаңартылатын энергия көздерімен салыстырғанда, адамзат...Толығырақ оқу -
Кремний карбидін керамикалық дайындау процесінде реакциялық күйдіру және қысымсыз күйдіру
Реакциялық күйдіру Кремний карбиді керамикасын өндіру процесі керамикалық тығыздау, күйдіру ағынының инфильтрациялық агентін тығыздау, реакциялық күйдіру керамикалық өнімін дайындау, кремний карбиді ағаш керамикасын дайындау және басқа да қадамдарды қамтиды. Кремнийді реакциялық күйдіру ...Толығырақ оқу -
Кремний карбиді керамикасы: жартылай өткізгіш процестер үшін қажетті дәлдік компоненттері
Фотолитография технологиясы негізінен кремний пластиналарындағы тізбек үлгілерін ашу үшін оптикалық жүйелерді пайдалануға бағытталған. Бұл процестің дәлдігі интегралдық микросхемалардың өнімділігі мен өнімділігіне тікелей әсер етеді. Чип өндірісіне арналған ең жақсы жабдықтардың бірі ретінде литография машинасы құрамында...Толығырақ оқу