-
Який механізм планаризації CMP?
Подвійний Дамасценський процес – це технологічний процес, що використовується для виробництва металевих з'єднань в інтегральних схемах. Це подальший розвиток Дамаського процесу. Завдяки одночасному формуванню наскрізних отворів і канавок на одному етапі процесу та їх заповненню металом, інтегроване виробництво...Читати далі -
Графіт з покриттям TaC
I. Дослідження параметрів процесу 1. Система TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Температура осадження: Згідно з термодинамічною формулою, розраховано, що коли температура перевищує 1273K, вільна енергія Гіббса реакції дуже низька, і реакція відносно завершена. Реальна...Читати далі -
Технологія процесу та обладнання для вирощування кристалів карбіду кремнію
1. Технологія вирощування кристалів SiC: PVT (метод сублімації), HTCUD (високотемпературний CVD), LPE (рідкофазний метод) – це три поширені методи вирощування кристалів SiC; Найбільш визнаним методом у галузі є метод PVT, і понад 95% монокристалів SiC вирощуються за допомогою PVT ...Читати далі -
Підготовка та покращення характеристик пористих кремній-вуглецевих композитних матеріалів
Літій-іонні акумулятори розвиваються переважно в напрямку високої щільності енергії. За кімнатної температури кремнієві матеріали негативних електродів сплавляються з літієм, утворюючи багатий на літій продукт Li3.75Si, з питомою ємністю до 3572 мАг/г, що значно вище за теоретичну...Читати далі -
Термічне окислення монокристалічного кремнію
Утворення діоксиду кремнію на поверхні кремнію називається окисленням, а створення стабільного та міцно адгезійного діоксиду кремнію призвело до народження планарної технології кремнієвих інтегральних схем. Хоча існує багато способів вирощування діоксиду кремнію безпосередньо на поверхні кремнію...Читати далі -
УФ-обробка для розгалуженої упаковки на рівні пластин
Розподілення на рівні пластин (FOWLP) – це економічно ефективний метод у напівпровідниковій промисловості. Але типовими побічними ефектами цього процесу є деформація та зміщення кристала. Незважаючи на постійне вдосконалення технології розподілення на рівні пластин та панелей, ці проблеми, пов'язані з формуванням, все ще існують...Читати далі -
Карбідкремнієва кераміка: термінатор фотоелектричних кварцових компонентів
Зі стрімким розвитком сучасного світу невідновлювані джерела енергії дедалі більше виснажуються, і людське суспільство дедалі більше потребує використання відновлюваної енергії, представленої «вітром, світлом, водою та ядерною енергією». Порівняно з іншими відновлюваними джерелами енергії, людство...Читати далі -
Процес приготування кераміки з карбіду кремнію реакційним спіканням та спіканням без тиску
Реакційне спікання Процес виробництва кераміки з карбіду кремнію реакційним спіканням включає ущільнення кераміки, ущільнення інфільтраційним агентом для спікання, приготування керамічного продукту реакційним спіканням, приготування деревно-карбідокремнієвої кераміки та інші етапи. Реакційне спікання кремнію ...Читати далі -
Карбідкремнієва кераміка: прецизійні компоненти, необхідні для напівпровідникових процесів
Технологія фотолітографії в основному зосереджена на використанні оптичних систем для експонування схем на кремнієвих пластинах. Точність цього процесу безпосередньо впливає на продуктивність та вихід інтегральних схем. Як одне з найкращих пристроїв для виробництва мікросхем, літографічна машина містить до...Читати далі