Poreuze Tantaalkarbide Coated Grafytring

Poreuze Tantaalkarbide Coated Grafytring
Poreuze tantaalkarbid (TaC) bedekte grafytis in wichtich materiaal dat spesifyk ûntwikkele is foar de hege-temperatuer, tige korrosive omjouwings fan healgeleiderproduksje. It substraat is isostatysk grafyt mei hege suverens, bedekt mei in unifoarm poreuze tantaalkarbidcoating mei gemyske dampôfsetting (CVD). TaC hat in ekstreem hege hurdens (9-10 op 'e Mohs-skaal) en in smeltpunt fan 3880 °C. Yn kombinaasje mei de poerbêste termyske stabiliteit en lichtgewichteigenskippen fan grafyt kombinearret dit materiaal hege-temperatuersterkte mei wjerstân tsjin gemyske oanfallen en termyske skokken, wêrtroch it in ideale kar is foar apparatuer foar healgeleiderproses dy't ûnder ekstreme omstannichheden wurket.

Foardielen fan poreuze tantaalkarbidgrafyt:
1. Ultrahege korrosjebestriding
-TaC is gemysk inert, effektyf bestand tsjin korrosje fan halogenen lykas fluor en chloor, wêrtroch't de libbensdoer fan apparatuer signifikant ferlingd wurdt.
-De poreuze struktuer fergruttet it oerflak fan 'e coating, foarmet in robústere beskermjende barriêre en ferminderet it risiko op dieltsjefergieten.
2. Uitstekende stabiliteit by hege temperatueren
-Mei in smeltpunt fan hast 4000 °C kin it foar langere perioaden operearje yn fakuüm of inerte atmosfearen dy't mear as 2500 °C bedrage.
-De termyske útwreidingskoëffisjint fan 'e coating is tige oerienkommen mei dy fan it grafyt, wêrtroch barsten en delaminaasje feroarsake troch termyske syklussen foarkomt.
3. Hege suverens en lege fersmoarging
-Mei help fan rauwe materialen en prosessen fan healgeleiderkwaliteit is it metaalûnreinheidsgehalte ekstreem leech, wêrtroch it risiko op waferfersmoarging signifikant ferminderet.
-It oerflak is ticht en gemysk stabyl, wêrtroch't dieltsjegeneraasje ferminderet en foldocht oan strange noarmen foar skjinne keamers.
4. Oanpast ûntwerp
Komplekse foarmen kinne produsearre wurde neffens klanttekeningen, en porositeit en coatingdikte kinne wurde kontroleare om optimale gasstream en termyske geliedingsfermogen te berikken.
5. Lange libbensdoer en lege ûnderhâldskosten
De ekstreem hege korrosje- en slijtvastheid fan poreuze TaC-coatings fergruttet de libbensduur fan komponinten mei 3-5 kear yn ferliking mei tradisjoneel grafyt, wêrtroch't de ferfangingsfrekwinsje en ûnderhâldskosten wurde fermindere.

Haadtapassingen
1. Kearnkomponinten foar waferproduksje
- Reaksjekeamerliners, baffles en dûskop foar CVD/ALD-apparatuer
- PVD-doel stipet
- Hege-temperatuer proseskomponinten foar diffúzje, oksidaasje, gloeien en oare prosessen
2. Systemen foar gemyske dampôfsetting
- Beskerming fan wichtige komponinten yn tige korrosive omjouwings (lykas fluoriden en chloriden) tidens it proses
3. Oare korrosive omjouwings mei hege temperatuer
- Geskikt foar gemyske gasreiniging, spesjalisearre waarmtebehannelingovens en oare tapassingen.