Grafytwaferboat foar ôfsetting

Koarte beskriuwing:

VET Energy grafytwaferboat is in konsumpsjemateriaal fan hege kwaliteit, spesifyk bedoeld foar ôfsettingsprosessen yn healgeleider-, fotovoltaïsche en oare yndustryen. Dit produkt is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens en hege tichtheid, en hat poerbêste temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensjonele stabiliteit en oare skaaimerken, en kin in stabyl dragerplatfoarm leverje foar it ôfsettingsproses om de uniformiteit en flakheid fan tinne-filmôfsetting te garandearjen.

Stjoer e-post nei ús Download as PDF

Produktdetail

Produktlabels

De PECVD-grafytboat fan VET Energy wurdt makke mei isostatysk grafyt mei hege suverens, mei in porositeit fan ûnder 15% en in oerflakteruwheid Ra≤1.6μm. De superieure dimensjonele stabiliteit en termyske geleidingsfermogen soargje foar in unifoarme filmôfsetting en ferbettere seleffisjinsje.

Grafytmateriaal fan SGL:

Typyske parameter: R6510
Yndeks	Teststandert	Wearde	Ienheid
Gemiddelde nôtgrutte	ISO 13320	10	μm
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Iepen porositeit	DIN66133	10	%
Middelgrutte poaren	DIN66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0.06	sm²/s
Rockwell-hurdens HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifike elektryske wjerstân	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bûgingssterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kompresjesterkte	DIN 51910	130	MPa
Young's modulus	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termyske útwreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termyske geliedingsfermogen (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje sinnesellenproduksje, en stipet de ferwurking fan grutte G12-wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochfier signifikant, wêrtroch hegere opbringsten en legere produksjekosten mooglik binne.

Ûnderdiel	Type	Nûmer waferdrager
PEVCD Grephite-boat - De 156-searje	156-13 grepytboat	144
	156-19 grepytboat	216
	156-21 grepytboat	240
	156-23 grafytboat	308
PEVCD Grephite-boat - De 125-searje	125-15 grepytboat	196
	125-19 grepytboat	252
	125-21 grafytboat	280