Keramik Silikon Karbida SiC Berpori

Keramik Silikon Karbida SiC Berpori
Keramik SiC Berporiadalah material keramik berkinerja tinggi dengan struktur pori yang dapat dikontrol, yang memiliki kemurnian ultra tinggi, ketahanan suhu tinggi, ketahanan terhadap guncangan termal, dan inert secara kimia. Material ini banyak digunakan di bidang-bidang canggih seperti manufaktur semikonduktor, produksi wafer silikon fotovoltaik, dan proses epitaksi semikonduktor generasi ketiga (SiC/GaN).

VET Energy menggunakan bubuk SiC dengan kemurnian tinggi yang dikombinasikan dengan teknologi sintering canggih untuk mencapai kontrol ukuran pori yang presisi (0,05–100μm), memenuhi beragam persyaratan aplikasi untuk filtrasi, difusi, katalisis, dan manajemen termal. Ini adalah pilihan ideal untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik untuk meningkatkan tingkat hasil produksi, mengurangi kontaminasi, dan mengoptimalkan proses.

Keunggulan Inti Kami
✅ Kemurnian sangat tinggi:
Pengotor logam <0,5 ppm, sesuai dengan standar SEMI, mencegah kontaminasi wafer;
✅ Tahan suhu tinggi (penggunaan terus menerus pada 1600℃):
cocok untuk lingkungan bersuhu tinggi seperti CVD, tungku difusi, dan peleburan silikon;
✅ Ketahanan terhadap guncangan termal yang kuat:
Beradaptasi dengan perubahan suhu yang cepat, mengurangi waktu henti peralatan.
✅ Ketahanan terhadap bahan kimia (tahan terhadap asam, basa, dan logam cair):
tahan terhadap gas korosif seperti HF dan Cl₂, dengan masa pakai yang jauh melebihi filter logam;
✅ Struktur pori terkontrol (0,05-100um):
Mendukung filtrasi bertingkat, meningkatkan efisiensi aliran fluida;

Aplikasi Khas
1. Manufaktur Semikonduktor: Filtrasi gas CVD/ALD, pelat distribusi aliran tungku difusi, pengolahan gas buang etsa, dll.
2. Industri Fotovoltaik: Filtrasi lelehan material silikon, masker pelapis sel PERC, dll.
3. Semikonduktor Generasi Ketiga (SiC/GaN): Pra-perlakuan epitaksi wafer.