TaC whakakikoruatia te Mowhiti Kauwhata

Ko te VET Energy e aro ana ki te R&D me te hanga o nga whakakai graphite tantalum carbide (TaC) teitei o te mahi CVD tantalum carbide (TaC) whakakikoruatia nga mowhiti graphite, me te whakapau kaha ki te whakarato i nga otinga rauemi tino pau mo nga umanga semiconductor, photovoltaic me te pāmahana teitei. Ko ta maatau hangarau whakangao matū matū (CVD) te hanga i te paninga tantalum carbide matotoru me te rite ki runga i te mata o te taputapu kauwhata na roto i nga tikanga tika, me te whakapai ake i te parenga teitei o te hua (> 3000 ℃), te aukati waikura me te awangawanga waiariki, te whakaroa atu i te oranga ratonga neke atu i te 3 nga wa, me te whakaiti i nga utu whanui o nga kaihoko.

Ko o maatau painga hangarau:
1. Te teitei o te wera o te waikura
I roto i te hau hau o te 1200 ℃, ko te ≤0.05mg/cm²/h te nui o te taumaha o te waiora, he nui ake i te 3 nga wa o te oranga o te graphite noa, a he pai mo nga tikanga huringa whakamahana whakamahana.
2. Atete ki te rewa silicon / whakarewa whakarewa
Ko te paninga TaC he tino koretake ki nga konganuku penei i te silicon wai (1600 ℃), te konumohe whakarewa / parahi, me etahi atu, te karo i te ngoikoretanga o te hanganga o nga mowhiti kaiarahi tuku iho na te kuhu whakarewa, ina koa mo te hiko hiko me te whakangao semiconductor tuatoru-whakatupuranga.
3. Te parahanga matūriki ultra-iti
Ko te tukanga CVD ka whakatutuki i te kiato paninga o> 99.5% me te taratara mata o Ra≤0.2μm, whakaiti i te mōrea o te matūriki whakaheke i te puna, me te whakatutuki i nga whakaritenga maa kaha o 12-inihi angiangi manufacturin.
4. Mana rahi tika
Ma te whakamahi i te miihini miihini CNC, ko te rahi o te paanui o te taputapu graphite he ± 0.01mm, ko te whakarereketanga katoa i muri i te paninga he <± 5μm, he pai mo te whakauru ki roto i nga ruuma taputapu teitei.