Порозен графитен прстен обложен со тантал карбид
Графит обложен со порозен тантал карбид (TaC)е клучен материјал развиен специјално за високотемпературни, високо корозивни средини за производство на полупроводници. Неговата подлога е изостатски графит со висока чистота, обложен со рамномерно порозен тантал карбиден слој со употреба на хемиско таложење на пареа (CVD). TaC има исклучително висока тврдост (9-10 на Мосовата скала) и точка на топење од 3880°C. Во комбинација со одличната термичка стабилност и лесните својства на графитот, овој материјал ја комбинира цврстината на високи температури со отпорност на хемиски напад и термички шок, што го прави идеален избор за опрема за полупроводнички процес што работи во екстремни услови.
Предности на порозен тантал карбиден графит:
1. Ултра висока отпорност на корозија
-TaC е хемиски инертен, ефикасно се спротивставува на корозијата од халогени како што се флуор и хлор, значително продолжувајќи го животниот век на опремата.
-Порозната структура ја зголемува површината на премазот, формирајќи поцврста заштитна бариера и намалувајќи го ризикот од разложување на честички.
2. Одлична стабилност на висока температура
-Со точка на топење што се приближува до 4000°C, може да работи подолг период во вакуум или инертни атмосфери што надминуваат 2500°C.
- Коефициентот на термичка експанзија на премазот е во голема мера усогласен со оној на графитот, спречувајќи пукање и деламинација предизвикани од термичко циклирање.
3. Висока чистота и ниска контаминација
-Користејќи суровини и процеси од полупроводнички квалитет, содржината на метални нечистотии е екстремно ниска, што значително го намалува ризикот од контаминација на плочките.
-Површината е густа и хемиски стабилна, намалувајќи го создавањето на честички и исполнувајќи ги строгите стандарди за чисти простории.
4. Дизајн по мерка
Комплексни форми може да се произведуваат според цртежите на клиентите, а порозноста и дебелината на облогата може да се контролираат за да се постигне оптимален проток на гас и топлинска спроводливост.
5. Долг животен век и ниски трошоци за одржување
Исклучително високата отпорност на корозија и абење на порозните TaC премази го зголемува животниот век на компонентите за 3-5 пати во споредба со традиционалниот графит, намалувајќи ја фреквенцијата на замена и трошоците за одржување.
Главни апликации
1. Основни компоненти за производство на плочки
- Облоги на реакциона комора, прегради и туш глава за CVD/ALD опрема
- PVD потпори за целите
- Компоненти на високотемпературни процеси за дифузија, оксидација, жарење и други процеси
2. Системи за хемиско таложење на пареа
- Заштита на клучните компоненти во високо корозивни средини (како што се флуориди и хлориди) за време на процесот
3. Други високотемпературни корозивни средини
- Погодно за хемиско прочистување на гасови, специјализирани печки за термичка обработка и други апликации.
VET Energy е професионален производител фокусиран на истражување и развој и производство на висококвалитетни напредни материјали како што се графит, силициум карбид, кварц, како и третман на материјали како што се SiC премази, TaC премази, стаклесто јаглеродни премази, пиролитички јаглеродни премази итн. Производите се користат во фотоволтаични, полупроводнички, нова енергија, металургија итн.
Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да ви обезбеди попрофесионални материјални решенија.
Предностите на VET Energy вклучуваат:
• Сопствена фабрика и професионална лабораторија;
• Водечки нивоа на чистота и квалитет во индустријата;
• Конкурентна цена и брзо време на испорака;
• Повеќе индустриски партнерства низ целиот свет;
Ве покануваме да ја посетите нашата фабрика и лабораторија во секое време!
