ٽن عام سي وي ڊي ٽيڪنالاجي جو تعارف

ڪيميائي بخارات جو جمع(سي وي ڊي)سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ ٽيڪنالاجي آهي جيڪا مختلف قسم جي مواد کي جمع ڪرڻ لاءِ آهي، جنهن ۾ موصلي مواد جي وسيع رينج، گهڻي ڀاڱي ڌاتو مواد ۽ ڌاتو مصر جو مواد شامل آهي.

سي وي ڊي هڪ روايتي پتلي فلم تيار ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي آهي. ان جو اصول اهو آهي ته ايٽم ۽ ماليڪيولز جي وچ ۾ ڪيميائي رد عمل ذريعي اڳڪٿي ۾ ڪجهه حصن کي ختم ڪرڻ لاءِ گيسي اڳڪٿيون استعمال ڪيون وڃن، ۽ پوءِ سبسٽريٽ تي هڪ پتلي فلم ٺاهي وڃي. سي وي ڊي جون بنيادي خاصيتون آهن: ڪيميائي تبديليون (ڪيميائي رد عمل يا حرارتي خرابي)؛ فلم ۾ سڀ مواد ٻاهرين ذريعن مان ايندا آهن؛ ري ايڪٽنٽ کي گئس مرحلي جي صورت ۾ رد عمل ۾ حصو وٺڻ گهرجي.

گھٽ دٻاءُ واري ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (LPCVD)، پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (PECVD) ۽ هاءِ ڊينسٽي پلازما ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (HDP-CVD) ٽي عام CVD ٽيڪنالاجيون آهن، جن ۾ مواد جي جمع، سامان جي گهرجن، عمل جي حالتن وغيره ۾ اهم فرق آهن. هيٺ ڏنل انهن ٽنهي ٽيڪنالاجين جي هڪ سادي وضاحت ۽ مقابلو آهي.

1. ايل پي سي وي ڊي (گهٽ دٻاءُ وارو سي وي ڊي)

اصول: گهٽ دٻاءُ واري حالتن هيٺ هڪ CVD عمل. ان جو اصول رد عمل واري گئس کي ويڪيوم يا گهٽ دٻاءُ واري ماحول ۾ رد عمل واري چيمبر ۾ داخل ڪرڻ، تيز گرمي پد سان گئس کي ختم ڪرڻ يا رد عمل ڪرڻ، ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ٿيل هڪ مضبوط فلم ٺاهڻ آهي. جيئن ته گهٽ دٻاءُ گئس جي ٽڪراءَ ۽ انتشار کي گهٽائي ٿو، فلم جي هڪجهڙائي ۽ معيار بهتر ٿئي ٿي. LPCVD وڏي پيماني تي سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ (LTO TEOS)، سلڪون نائٽرائڊ (Si3N4)، پوليسيلڪون (POLY)، فاسفوسيليٽ گلاس (BSG)، بوروفاسوسيليٽ گلاس (BPSG)، ڊوپڊ پوليسيلڪون، گرافين، ڪاربن نانوٽيوب ۽ ٻين فلمن ۾ استعمال ٿيندو آهي.

خاصيتون:

▪ عمل جو گرمي پد: عام طور تي 500 ~ 900 ° C جي وچ ۾، عمل جو گرمي پد نسبتاً وڌيڪ هوندو آهي؛
▪ گيس پريشر جي حد: 0.1~10 Torr جو گهٽ دٻاءُ وارو ماحول؛
▪ فلم جو معيار: اعليٰ معيار، سٺي هڪجهڙائي، سٺي کثافت، ۽ ڪجھ نقص؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح: سست جمع ڪرڻ جي شرح؛
▪ هڪجهڙائي: وڏي سائيز جي ذيلي ذخيري لاءِ مناسب، هڪجهڙائي جمع؛

فائدا ۽ نقصان:

▪ تمام گهڻي هڪجهڙائي ۽ گهاٽي فلم جمع ڪري سگهي ٿو؛
▪ وڏي سائيز جي ذيلي ذخيري تي سٺو ڪم ڪري ٿو، وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ موزون؛
▪ گھٽ قيمت؛
▪ تيز گرمي پد، گرمي جي حساس مواد لاءِ مناسب ناهي؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح سست آهي ۽ پيداوار نسبتاً گهٽ آهي.

2. PECVD (پلازما اينهانسڊ سي وي ڊي)

اصول: گهٽ درجه حرارت تي گئس فيز ري ايڪشن کي چالو ڪرڻ لاءِ پلازما استعمال ڪريو، ري ايڪشن گيس ۾ ماليڪيولز کي آئنائيز ۽ ڊوميو، ۽ پوءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي پتلي فلمون جمع ڪريو. پلازما جي توانائي ري ايڪشن لاءِ گهربل گرمي پد کي تمام گهڻو گهٽائي سگهي ٿي، ۽ ان ۾ ايپليڪيشنن جو هڪ وسيع سلسلو آهي. مختلف ڌاتو فلمون، غير نامياتي فلمون ۽ نامياتي فلمون تيار ڪري سگهجن ٿيون.

خاصيتون:

▪ عمل جو گرمي پد: عام طور تي 200 ~ 400 ° C جي وچ ۾، گرمي پد نسبتاً گهٽ هوندو آهي؛
▪ گئس پريشر جي حد: عام طور تي سوين ميٽر ٽور کان ڪيترائي ٽور تائين؛
▪ فلم جو معيار: جيتوڻيڪ فلم جي هڪجهڙائي سٺي آهي، پر فلم جي کثافت ۽ معيار LPCVD جيتري سٺي نه آهي ڇاڪاڻ ته پلازما ذريعي پيدا ٿيندڙ خرابين جي ڪري؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح: اعليٰ شرح، اعليٰ پيداوار جي ڪارڪردگي؛
▪ هڪجهڙائي: وڏي سائيز جي سبسٽريٽس تي LPCVD کان ٿورو گهٽ؛

فائدا ۽ نقصان:

▪ پتلي فلمون گهٽ درجه حرارت تي جمع ڪري سگهجن ٿيون، جيڪي گرمي جي حساس مواد لاءِ موزون آهن؛
▪ تيز جمع ڪرڻ جي رفتار، موثر پيداوار لاءِ مناسب؛
▪ لچڪدار عمل، فلم جي خاصيتن کي پلازما پيرا ميٽرز کي ترتيب ڏيڻ سان ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو؛
▪ پلازما فلم ۾ خرابيون پيدا ڪري سگھي ٿو جهڙوڪ پن هول يا غير يڪسانيت؛
▪ ايل پي سي وي ڊي جي مقابلي ۾، فلم جي کثافت ۽ معيار ٿورو خراب آهي.

3. ايڇ ڊي پي-سي وي ڊي (هاءِ ڊينسٽي پلازما سي وي ڊي)

اصول: هڪ خاص PECVD ٽيڪنالاجي. HDP-CVD (جنهن کي ICP-CVD پڻ چيو ويندو آهي) گهٽ جمع ٿيندڙ گرمي پد تي روايتي PECVD سامان جي ڀيٽ ۾ وڌيڪ پلازما کثافت ۽ معيار پيدا ڪري سگهي ٿو. ان کان علاوه، HDP-CVD تقريبن آزاد آئن فلوڪس ۽ توانائي ڪنٽرول فراهم ڪري ٿو، فلم جمع ڪرڻ جي مطالبي لاءِ خندق يا سوراخ ڀرڻ جي صلاحيتن کي بهتر بڻائي ٿو، جهڙوڪ اينٽي ريفليڪٽو ڪوٽنگ، گهٽ ڊائي اليڪٽرڪ مسلسل مواد جمع ڪرڻ، وغيره.

خاصيتون:

▪ عمل جو گرمي پد: ڪمري جو گرمي پد 300 ℃ تائين، عمل جو گرمي پد تمام گهٽ آهي؛
▪ گئس پريشر جي حد: 1 ۽ 100 mTorr جي وچ ۾، PECVD کان گھٽ؛
▪ فلم جي معيار: اعلي پلازما کثافت، اعلي فلم جي معيار، سٺي هڪجهڙائي؛
▪ جمع ڪرڻ جي شرح: جمع ڪرڻ جي شرح LPCVD ۽ PECVD جي وچ ۾ آهي، LPCVD کان ٿورو وڌيڪ؛
▪ هڪجهڙائي: اعلي کثافت پلازما جي ڪري، فلم هڪجهڙائي شاندار آهي، پيچيده شڪل واري سبسٽريٽ سطحن لاءِ مناسب آهي؛

فائدا ۽ نقصان:

▪ گهٽ درجه حرارت تي اعليٰ معيار جون فلمون جمع ڪرڻ جي قابل، گرمي جي حساس مواد لاءِ تمام مناسب؛
▪ بهترين فلم جي هڪجهڙائي، کثافت ۽ مٿاڇري جي همواري؛
▪ وڌيڪ پلازما کثافت جمع ڪرڻ جي هڪجهڙائي ۽ فلم جي خاصيتن کي بهتر بڻائي ٿي؛
▪ پيچيده سامان ۽ وڌيڪ قيمت؛
▪ جمع ڪرڻ جي رفتار سست آهي، ۽ وڌيڪ پلازما توانائي ٿوري مقدار ۾ نقصان پهچائي سگھي ٿي.

وڌيڪ بحث لاءِ اسان وٽ اچڻ لاءِ دنيا جي ڪنهن به گراهڪ کي ڀليڪار!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j