Fa'aputuga o le ausa vaila'au(CVD)o le tekinolosi e sili ona faʻaaogaina lautele i le alamanuia semiconductor mo le teuina o le tele o meafaitino, e aofia ai le tele o meafaitino e taofia ai le vevela, le tele o meafaitino uʻamea ma meafaitino uʻamea faʻafefiloi.
O le CVD o se tekinolosi masani mo le saunia o ata manifinifi. O lona mataupu faavae o le faʻaaogaina lea o mea e pei o le kesi e faʻaleagaina ai nisi o vaega o le mea e pei o le muamua e ala i ni tali faʻakemikolo i le va o atomu ma molelaʻau, ona fausia lea o se ata manifinifi i luga o le mea e fai ai. O uiga autū o le CVD o: suiga faʻakemikolo (tali faʻakemikolo poʻo le faʻaleagaina o le vevela); o mea uma i totonu o le ata e sau mai punaoa mai fafo; e tatau i mea e tali atu ai ona auai i le tali atu i le tulaga o le vaega kesi.
O le Low pressure chemical vapor deposition (LPCVD), le plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) ma le high density plasma chemical vapor deposition (HDP-CVD) o tekinolosi CVD masani ia e tolu, e iai eseesega taua i le teuina o meafaitino, manaʻoga o meafaigaluega, tulaga o le faagasologa, ma isi mea faapena. O le mea lea o se faʻamatalaga faigofie ma le faʻatusatusaga o nei tekinolosi e tolu.
1. LPCVD (Mamafa Maualalo CVD)
Mataupu Faavae: O se faiga CVD i lalo o tulaga maualalo o le mamafa. O lona mataupu faavae o le tuiina lea o le kesi tali atu i totonu o le potu tali atu i lalo o le vacuum po o se siosiomaga maualalo le mamafa, fa'aleaga pe tali atu le kesi i le vevela maualuga, ma fausia ai se ata mafiafia ua fa'aputuina i luga o le fogāeleele o le substrate. Talu ai ona o le mamafa maualalo e fa'aitiitia ai le feto'ai ma le vevesi o le kesi, ua fa'aleleia atili ai le tutusa ma le lelei o le ata. E fa'aaogaina lautele le LPCVD i le silicon dioxide (LTO TEOS), silicon nitride (Si3N4), polysilicon (POLY), phosphosilicate glass (BSG), borophosphosilicate glass (BPSG), doped polysilicon, graphene, carbon nanotubes ma isi ata.
Fa'amatalaga:
▪ Vevela o le faagasologa: e masani lava i le va o le 500~900°C, e fai si maualuga o le vevela o le faagasologa;
▪ Vaevaega o le mamafa o le kesi: siosiomaga maualalo le mamafa o le 0.1~10 Torr;
▪ Tulaga lelei o le ata tifaga: maualuga le tulaga lelei, tutusa lelei, mafiafia lelei, ma nai mea sese;
▪ Saosaoa o le fa'aputuga: saosaoa o le fa'aputuga e lemu;
▪ Tutusa: talafeagai mo mea tetele, tutusa le fa'aputuga;
Lelei ma mea le lelei:
▪ E mafai ona fa'aputuina ni ata tifaga e matua tutusa ma mafiafia;
▪ E lelei lona faatinoga i luga o mea tetele, e talafeagai mo le gaosiga tele;
▪ Tau maualalo;
▪ Maʻaʻa tele le vevela, e lē talafeagai mo mea e maaleale i le vevela;
▪ E telegese le saoasaoa o le fa'aputuina ma e maualalo fo'i le gaosiga.
2. PECVD (Plasma Enhanced CVD)
Mataupu Faavae: Faaaoga le plasma e faagaoioi ai tali o le kesi i le vevela maualalo, faa-ionize ma faataapeina molela i le kesi tali, ona tuu lea o ata manifinifi i luga o le fogaeleele. O le malosi o le plasma e mafai ona faaitiitia tele ai le vevela e manaomia mo le tali, ma e tele ona faaaogaina. E mafai ona saunia ni ata u'amea eseese, ata e le o ni mea ola ma ata ola.
Fa'amatalaga:
▪ Vevela o le faagasologa: e masani lava i le va o le 200~400°C, e fai si maualalo o le vevela;
▪ Vaevaega o le mamafa o le kesi: e masani lava e selau mTorr i le tele o Torr;
▪ Tulaga lelei o le ata tifaga: e ui ina lelei le tutusa o le ata tifaga, ae o le mafiafia ma le tulaga lelei o le ata tifaga e le o lelei e pei o le LPCVD ona o ni faaletonu e ono mafua mai i le plasma;
▪ Fua faatatau o le fa'aputuina: fua faatatau maualuga, lelei tele o le gaosiga;
▪ Tutusa: e fai si maualalo ifo nai lo le LPCVD i luga o mea tetele;
Lelei ma mea le lelei:
▪ E mafai ona fa'aputuina ni ata manifinifi i ni vevela maualalo, e talafeagai mo mea e maaleale i le vevela;
▪ Vave le saoasaoa o le teuina, talafeagai mo le gaosiga lelei;
▪ Faiga fetuutuunai, e mafai ona pulea meatotino o ata tifaga e ala i le fetuuna'i o parakalafa o le plasma;
▪ Atonu e iai ni faaletonu i le ata tifaga e pei o ni pu laiti po o le le tutusa;
▪ A fa'atusatusa i le LPCVD, e fai si leaga o le mafiafia ma le lelei o le ata tifaga.
3. HDP-CVD (CVD Plasma Maualuga)
Mataupu Faavae: O se tekinolosi faapitoa a le PECVD. E mafai e le HDP-CVD (e taʻua foʻi o le ICP-CVD) ona gaosia le maualuga o le plasma density ma le lelei nai lo masini masani a le PECVD i le vevela maualalo o le teuina. E le gata i lea, e tuʻuina atu e le HDP-CVD le ion flux ma le puleaina o le malosi e toetoe lava a tutoʻatasi, e faʻaleleia atili ai le gafatia o le faʻatumuina o le lua poʻo le lua mo le teuina o ata tifaga faigata, e pei o le ufiufi e teteʻe i le atagia, le teuina o mea e maualalo le dielectric constant, ma isi.
Fa'amatalaga:
▪ Vevela o le faagasologa: vevela o le potu i le 300℃, e matua maualalo lava le vevela o le faagasologa;
▪ Vaevaega o le mamafa o le kesi: i le va o le 1 ma le 100 mTorr, e maualalo ifo nai lo le PECVD;
▪ Tulaga lelei o le ata tifaga: maualuga le plasma density, maualuga le tulaga lelei o le ata tifaga, lelei le tutusa;
▪ Fua faatatau o le fa'aputuga: o le fua faatatau o le fa'aputuga e i le va o le LPCVD ma le PECVD, e maualuga teisi atu nai lo le LPCVD;
▪ Tutusa: ona o le maualuga o le mafiafia o le plasma, e sili ona lelei le tutusa o le ata tifaga, e talafeagai mo luga o mea e fai i le substrate e faigata ona foliga;
Lelei ma mea le lelei:
▪ E mafai ona fa'apipi'i ni ata tifaga lelei i ni vevela maualalo, e matua fetaui lelei mo mea e maaleale i le vevela;
▪ Lelei tele le tutusa o le ata tifaga, mafiafia ma le lamolemole o le laualuga;
▪ O le maualuga o le mafiafia o le plasma e faʻaleleia atili ai le tutusa o le teuina ma meatotino o le ata tifaga;
▪ Meafaigaluega faigata ma tau maualuga;
▪ E telegese le saoasaoa o le fa'aputuina, ma o le malosi maualuga o le plasma e ono fa'atupuina ai sina fa'aleagaina itiiti.
Talia soʻo se tagata faʻatau mai le lalolagi atoa e asiasi mai ia i matou mo nisi talanoaga!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Taimi na lafoina ai: Tesema-03-2024