Ndekọ anwụrụ kemịkalụ(CVD)bụ teknụzụ kachasị eji eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor maka itinye ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere ọtụtụ ihe mkpuchi, ọtụtụ ihe ígwè na ihe ndị e ji ígwè mee.
CVD bụ teknụzụ nkwadebe ihe nkiri dị gịrịgịrị ọdịnala. Ụkpụrụ ya bụ iji ihe ndị na-ebute ụzọ gas gbazee ụfọdụ ihe dị na ihe ndị na-ebute ụzọ site na mmeghachi omume kemịkalụ dị n'etiti atọm na molekul, wee mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị na ihe ndị dị n'okpuru ala. Ihe ndị bụ isi nke CVD bụ: mgbanwe kemịkalụ (mmeghachi omume kemịkalụ ma ọ bụ mmebi okpomọkụ); ihe niile dị na ihe nkiri ahụ sitere na isi mmalite mpụga; ihe ndị na-emeghachi omume ga-esonye na mmeghachi omume ahụ n'ụdị usoro gas.
Ndobe anwụrụ kemịkalụ dị ala (LPCVD), ntinye anwụrụ kemịkalụ emelitere na plasma (PECVD) na ntinye anwụrụ kemịkalụ plasma dị elu (HDP-CVD) bụ teknụzụ CVD atọ a na-ahụkarị, nke nwere nnukwu ọdịiche dị na ntinye ihe, ihe achọrọ maka akụrụngwa, ọnọdụ usoro, wdg. Ihe ndị a bụ nkọwa dị mfe na ntụnyere nke teknụzụ atọ ndị a.
1. LPCVD (CVD nrụgide dị ala)
Ụkpụrụ: Usoro CVD n'okpuru ọnọdụ nrụgide dị ala. Ụkpụrụ ya bụ ịgbanye gas mmeghachi omume n'ime ụlọ mmeghachi omume n'okpuru ikuku ma ọ bụ gburugburu nrụgide dị ala, gbazee ma ọ bụ meghachi omume gas site na okpomọkụ dị elu, ma mepụta ihe nkiri siri ike nke edobere n'elu ihe ndị dị n'elu ala. Ebe ọ bụ na nrụgide dị ala na-ebelata nkpọkọ gas na ọgba aghara, ịdị mma na ịdị mma nke ihe nkiri ahụ na-aka mma. A na-eji LPCVD eme ihe nke ukwuu na silicon dioxide (LTO TEOS), silicon nitride (Si3N4), polysilicon (POLY), iko phosphosilicate (BSG), iko borophosphosilicate (BPSG), polysilicon doped, graphene, nanotubes carbon na ihe nkiri ndị ọzọ.
Atụmatụ:
▪ Okpomọkụ usoro: na-adịkarị n'etiti 500 ~ 900°C, okpomọkụ usoro ahụ dị elu nke ukwuu;
▪ Oke nrụgide gas: obere gburugburu nrụgide nke 0.1~10 Torr;
▪ Ịdị mma nke fim: ịdị mma dị elu, ịdị mma dị mma, ịdị njupụta dị mma, na obere ntụpọ;
▪ Ọnụego nkwụnye ego: ọnụego nkwụnye ego dị nwayọ;
▪ Ịdị n'otu: dabara adaba maka nnukwu ihe ndị dị n'elu ala, ihe ndị e ji edobe ha otu otu;
Uru na ọghọm:
▪ Nwere ike itinye ihe nkiri dị nnọọ otu ma dị oke ọnụ;
▪ Ọ na-arụ ọrụ nke ọma n'elu nnukwu ihe ndị e ji osisi rụọ, nke dị mma maka mmepụta ihe dị ukwuu;
▪ Ọnụ ego dị ala;
▪ Okpomọkụ dị elu, ọ dịghị mma maka ihe ndị na-emetụta okpomọkụ;
▪ Ọkwa mwepụta na-adị nwayọ, mmepụta ya dịkwa obere.
2. PECVD (CVD nke Plasma Emelitere)
Ụkpụrụ: Jiri plasma mee ka mmeghachi omume gas rụọ ọrụ na obere okpomọkụ, mee ka ion dị na gas mmeghachi omume ahụ gbazee ma gbazee, wee tinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'elu ihe ndị dị n'okpuru ala. Ike nke plasma nwere ike ibelata okpomọkụ achọrọ maka mmeghachi omume ahụ nke ukwuu, ma nwee ọtụtụ ojiji. Enwere ike ịkwadebe ihe nkiri ígwè dị iche iche, ihe nkiri inorganic na ihe nkiri organic.
Atụmatụ:
▪ Okpomọkụ usoro: na-adịkarị n'etiti 200 ~ 400°C, okpomọkụ ahụ dị obere;
▪ Oke nrụgide gas: ọtụtụ narị mTorr ruo ọtụtụ Torr;
▪ Ịdị mma nke ihe nkiri: ọ bụ ezie na otu ihe nkiri ahụ dị mma, njupụta na ịdị mma nke ihe nkiri ahụ adịghị mma dịka LPCVD n'ihi ntụpọ ndị plasma nwere ike ibute;
▪ Ọnụego ntinye ego: oke ọsọ, arụmọrụ mmepụta dị elu;
▪ Nha nhata: obere ihe dị ala karịa LPCVD na nnukwu ihe ndị dị n'elu ya;
Uru na ọghọm:
▪ A pụrụ itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị n'okpomọkụ dị ala, nke dabara adaba maka ihe ndị na-emetụta okpomọkụ;
▪ Ọsọ ntinye ngwa ngwa, nke dabara adaba maka mmepụta dị irè;
▪ Usoro na-agbanwe agbanwe, enwere ike ijikwa ihe nkiri site na ịgbanwe paramita plasma;
▪ Plasma nwere ike ibute ntụpọ dịka oghere dị n'ime ya ma ọ bụ enweghị otu;
▪ Ma e jiri ya tụnyere LPCVD, njupụta na ịdị mma nke ihe nkiri ahụ ka njọ.
3. HDP-CVD (High Density Plasma CVD)
Ụkpụrụ: Teknụzụ PECVD pụrụ iche. HDP-CVD (a makwaara dịka ICP-CVD) nwere ike imepụta njupụta na ịdị mma dị elu karịa ngwa PECVD ọdịnala na obere okpomọkụ itinye ihe. Na mgbakwunye, HDP-CVD na-enye ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ mgbanwe ion na njikwa ike, na-eme ka ikike ijupụta oghere ma ọ bụ oghere dịkwuo mma maka itinye ihe nkiri siri ike, dị ka mkpuchi mgbochi-reflective, obere ihe dielectric na-adịgide adịgide, wdg.
Atụmatụ:
▪ Okpomọkụ usoro: okpomọkụ ụlọ ruo 300℃, okpomọkụ usoro ahụ dị oke ala;
▪ Oke nrụgide gas: n'etiti 1 na 100 mTorr, dị ala karịa PECVD;
▪ Ogo fim: njupụta plasma dị elu, ịdị mma nke fim ahụ, ịdị mma nke otu ihe ahụ;
▪ Ọnụego nkwụnye ego: ọnụego nkwụnye ego dị n'etiti LPCVD na PECVD, ntakịrị elu karịa LPCVD;
▪ Nha nhata: n'ihi na plasma dị njupụta dị elu, nha nhata nke ihe nkiri ahụ dị mma nke ukwuu, ọ dabara adaba maka elu ihe ndị dị mgbagwoju anya;
Uru na ọghọm:
▪ Nwere ike itinye ihe nkiri dị elu n'okpomọkụ dị ala, nke dabara nke ọma maka ihe ndị na-emetụta okpomọkụ;
▪ Ịhazi ihe nkiri ahụ nke ọma, njupụta ya na ịdị nro ya;
▪ Njupụta plasma dị elu na-eme ka ịdị n'otu nke ihe ndị e tinyere na ihe nkiri dịkwuo mma;
▪ Ngwa dị mgbagwoju anya na ọnụ ahịa dị elu;
▪ Ọsọ mwepụta ihe na-adịghị ala ala, ike plasma dị elu nwekwara ike ibute obere mmebi.
Nabata ndị ahịa ọ bụla si n'akụkụ ụwa niile ka ha bịa leta anyị maka mkparịta ụka ọzọ!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Oge ozi: Disemba-03-2024