Тахфифи буғи кимиёвӣ(CVD)технологияи маъмултарин дар саноати нимноқилҳо барои гузоштани маводҳои гуногун, аз ҷумла доираи васеи маводҳои изолятсия, аксари маводҳои металлӣ ва маводҳои хӯлаи металлӣ мебошад.
CVD як технологияи анъанавии тайёр кардани плёнкаи тунук аст. Принсипи он истифодаи прекурсорҳои газӣ барои таҷзияи баъзе ҷузъҳои прекурсор тавассути реаксияҳои кимиёвӣ байни атомҳо ва молекулаҳо ва сипас ташкил додани плёнкаи тунук дар рӯи субстрат мебошад. Хусусиятҳои асосии CVD инҳоянд: тағйироти кимиёвӣ (реаксияҳои кимиёвӣ ё таҷзияи гармӣ); ҳамаи маводҳо дар плёнка аз манбаъҳои беруна меоянд; реактивҳо бояд дар реаксия дар шакли фазаи газӣ иштирок кунанд.
Чопкунии буғи кимиёвии фишори паст (LPCVD), чопкунии буғи кимиёвии тақвиятёфтаи плазма (PECVD) ва чопкунии буғи кимиёвии плазмавии зичии баланд (HDP-CVD) се технологияи маъмули CVD мебошанд, ки дар чопкунии мавод, талаботи таҷҳизот, шароити раванд ва ғайра фарқиятҳои назаррас доранд. Дар зер шарҳи оддӣ ва муқоисаи ин се технология оварда шудааст.
1. LPCVD (CVD фишори паст)
Принсип: Раванди CVD дар шароити фишори паст. Принсипи он ворид кардани гази реаксия ба камераи реаксия дар зери вакуум ё муҳити фишори паст, таҷзия ё реаксияи газ бо ҳарорати баланд ва ташкили плёнкаи сахтест, ки дар сатҳи субстрат ҷойгир карда шудааст. Азбаски фишори паст бархӯрди газ ва турбулентиро коҳиш медиҳад, якрангӣ ва сифати плёнка беҳтар мешавад. LPCVD ба таври васеъ дар диоксиди силикон (LTO TEOS), нитриди силикон (Si3N4), полисиликон (POLY), шишаи фосфосиликатӣ (BSG), шишаи борофосфосиликатӣ (BPSG), полисиликони легиршуда, графен, нанонайчаҳои карбон ва дигар плёнкаҳо истифода мешавад.
Вижагиҳо:
▪ Ҳарорати раванд: одатан дар байни 500~900°C, ҳарорати раванд нисбатан баланд аст;
▪ Диапазони фишори газ: муҳити фишори пасти 0.1~10 Торр;
▪ Сифати плёнка: сифати баланд, якрангии хуб, зичии хуб ва кам будани нуқсонҳо;
▪ Суръати бориш: суръати сусти бориш;
▪ Якрангӣ: барои субстратҳои андозаи калон мувофиқ аст, яксон ҷойгиршавӣ;
Афзалиятҳо ва нуқсонҳо:
▪ Метавонад плёнкаҳои хеле якхела ва зичро ҷойгир кунад;
▪ Дар зеризаминҳои андозаи калон хуб кор мекунад, барои истеҳсоли оммавӣ мувофиқ аст;
▪ Арзиши паст;
▪ Ҳарорати баланд, барои маводҳои ба гармӣ ҳассос мувофиқ нест;
▪ Суръати боришот суст аст ва ҳосилнокӣ нисбатан паст аст.
2. PECVD (CVD-и плазмавии такмилёфта)
Принсип: Аз плазма барои фаъол кардани реаксияҳои фазаи газӣ дар ҳарорати пасттар истифода баред, молекулаҳоро дар гази реаксия ионизатсия ва таҷзия кунед ва сипас плёнкаҳои тунукро дар сатҳи субстрат ҷойгир кунед. Энергияи плазма метавонад ҳарорати заруриро барои реаксия ба таври назаррас коҳиш диҳад ва доираи васеи татбиқ дорад. Плёнкаҳои гуногуни металлӣ, плёнкаҳои ғайриорганикӣ ва плёнкаҳои органикиро омода кардан мумкин аст.
Вижагиҳо:
▪ Ҳарорати раванд: одатан дар байни 200~400°C, ҳарорат нисбатан паст аст;
▪ Диапазони фишори газ: одатан аз садҳо мТорр то якчанд Торр;
▪ Сифати плёнка: гарчанде якрангии плёнка хуб аст, зичӣ ва сифати плёнка ба андозаи LPCVD хуб нест, зеро нуқсонҳое, ки метавонанд аз плазма ба вуҷуд оянд;
▪ Суръати боркунӣ: суръати баланд, самаранокии баланди истеҳсолӣ;
▪ Якрангӣ: каме пасттар аз LPCVD дар зеризаминҳои андозаи калон;
Афзалиятҳо ва нуқсонҳо:
▪ Плёнкаҳои тунук метавонанд дар ҳарорати пасттар ҷойгир шаванд, ки барои маводҳои ба гармӣ ҳассос мувофиқанд;
▪ Суръати баланди ҷойгиркунӣ, ки барои истеҳсоли самаранок мувофиқ аст;
▪ Раванди чандир, хосиятҳои плёнкаро бо танзими параметрҳои плазма идора кардан мумкин аст;
▪ Плазма метавонад камбудиҳои плёнкаро ба монанди сӯрохиҳои сӯзанӣ ё нобаробарӣ ба вуҷуд орад;
▪ Дар муқоиса бо LPCVD, зичии плёнка ва сифати он каме бадтар аст.
3. HDP-CVD (CVD плазмаи зичии баланд)
Принсип: Технологияи махсуси PECVD. HDP-CVD (инчунин бо номи ICP-CVD маълум аст) метавонад дар ҳарорати пасти таҳшинкунӣ нисбат ба таҷҳизоти анъанавии PECVD зичии баландтар ва сифати плазмаро ба вуҷуд орад. Илова бар ин, HDP-CVD ҷараёни ион ва назорати энергияи қариб мустақилро таъмин мекунад ва қобилияти пур кардани хандақҳо ё сӯрохиҳоро барои таҳшинкунии талабшавандаи плёнка, ба монанди рӯйпӯшҳои зидди инъикос, таҳшинкунии доимии пасти диэлектрикӣ ва ғайра, беҳтар мекунад.
Вижагиҳо:
▪ Ҳарорати раванд: ҳарорати хонагӣ то 300℃, ҳарорати раванд хеле паст аст;
▪ Диапазони фишори газ: аз 1 то 100 мТорр, камтар аз PECVD;
▪ Сифати плёнка: зичии баланди плазма, сифати баланди плёнка, якрангии хуб;
▪ Суръати бориш: суръати бориш байни LPCVD ва PECVD аст, ки каме аз LPCVD баландтар аст;
▪ Якрангӣ: аз сабаби плазмаи зичии баланд, якрангии плёнка аъло аст ва барои сатҳҳои зеризаминии шакли мураккаб мувофиқ аст;
Афзалиятҳо ва нуқсонҳо:
▪ Қобилияти гузоштани плёнкаҳои баландсифат дар ҳарорати пасттар, ки барои маводҳои ба гармӣ ҳассос хеле мувофиқ аст;
▪ Якрангии аълои плёнка, зичӣ ва ҳамвории сатҳ;
▪ Зичии баланди плазма якрангии таҳшиншавӣ ва хосиятҳои плёнкаро беҳтар мекунад;
▪ Таҷҳизоти мураккаб ва арзиши баландтар;
▪ Суръати таҳшиншавӣ суст аст ва энергияи баланди плазма метавонад миқдори ками зарарро ба вуҷуд орад.
Аз ҳама муштариён аз тамоми ҷаҳон истиқбол мекунем, то барои муҳокимаи минбаъда ба мо ташриф оранд!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Вақти нашр: 03 декабри соли 2024