ការដាក់ចំហាយគីមី(CVD)គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដែលប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ សម្រាប់ការដាក់សម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ជាច្រើនប្រភេទ សម្ភារៈលោហៈភាគច្រើន និងសម្ភារៈយ៉ាន់ស្ព័រលោហៈ។
CVD គឺជាបច្ចេកវិទ្យារៀបចំខ្សែភាពយន្តស្តើងបែបប្រពៃណី។ គោលការណ៍របស់វាគឺប្រើសារធាតុបឋមឧស្ម័នដើម្បីបំបែកសមាសធាតុមួយចំនួននៅក្នុងសារធាតុបឋមតាមរយៈប្រតិកម្មគីមីរវាងអាតូម និងម៉ូលេគុល ហើយបន្ទាប់មកបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ លក្ខណៈជាមូលដ្ឋាននៃ CVD គឺ៖ ការផ្លាស់ប្តូរគីមី (ប្រតិកម្មគីមី ឬការបំបែកដោយកម្ដៅ)។ សម្ភារៈទាំងអស់នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តបានមកពីប្រភពខាងក្រៅ។ សារធាតុប្រតិកម្មត្រូវតែចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មក្នុងទម្រង់ជាដំណាក់កាលឧស្ម័ន។
ការដាក់ចំហាយគីមីក្រោមសម្ពាធទាប (LPCVD) ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា (PECVD) និងការដាក់ចំហាយគីមីប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់ (HDP-CVD) គឺជាបច្ចេកវិទ្យា CVD ទូទៅបី ដែលមានភាពខុសគ្នាគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៅក្នុងការដាក់សម្ភារៈ តម្រូវការឧបករណ៍ លក្ខខណ្ឌដំណើរការ។ល។ ខាងក្រោមនេះជាការពន្យល់ និងការប្រៀបធៀបសាមញ្ញនៃបច្ចេកវិទ្យាទាំងបីនេះ។
១. LPCVD (សម្ពាធទាប CVD)
គោលការណ៍៖ ដំណើរការ CVD ក្រោមលក្ខខណ្ឌសម្ពាធទាប។ គោលការណ៍របស់វាគឺចាក់ឧស្ម័នប្រតិកម្មចូលទៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មក្រោមបរិយាកាសសុញ្ញากาศ ឬសម្ពាធទាប រលួយ ឬប្រតិកម្មឧស្ម័នដោយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តរឹងមួយដែលដាក់នៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដោយសារសម្ពាធទាបកាត់បន្ថយការប៉ះទង្គិចឧស្ម័ន និងភាពចលាចល ឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។ LPCVD ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត (LTO TEOS) ស៊ីលីកុននីទ្រីត (Si3N4) ប៉ូលីស៊ីលីកុន (POLY) កញ្ចក់ផូស្វ័រស៊ីលីកុន (BSG) កញ្ចក់បូរ៉ូផូស្វ័រស៊ីលីកុន (BPSG) ប៉ូលីស៊ីលីកុនដែលមានសារធាតុបន្ថែម ក្រាហ្វីន បំពង់ណាណូកាបូន និងខ្សែភាពយន្តផ្សេងៗទៀត។
លក្ខណៈពិសេស៖
▪ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ៖ ជាធម្មតាចន្លោះពី ៥០០~៩០០°C សីតុណ្ហភាពដំណើរការគឺខ្ពស់គួរសម។
▪ ជួរសម្ពាធឧស្ម័ន៖ បរិយាកាសសម្ពាធទាប 0.1~10 Torr;
▪ គុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ មានគុណភាពខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានល្អ ដង់ស៊ីតេល្អ និងមានពិការភាពតិចតួច។
▪ អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់រឹង៖ អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់រឹងយឺត;
▪ ឯកសណ្ឋាន៖ សមស្របសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមទំហំធំ ការដាក់ស្រទាប់ឯកសណ្ឋាន;
គុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិ៖
▪ អាចដាក់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងក្រាស់ខ្លាំង;
▪ ដំណើរការបានល្អលើស្រទាប់ខាងក្រោមទំហំធំ សមស្របសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
▪ តម្លៃទាប;
▪ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ មិនស័ក្តិសមសម្រាប់សម្ភារៈដែលងាយនឹងកម្ដៅ;
▪ អត្រានៃការបញ្ចេញឧស្ម័នមានល្បឿនយឺត ហើយទិន្នផលមានកម្រិតទាប។
២. PECVD (CVD ដែលបង្កើនប្លាស្មា)
គោលការណ៍៖ ប្រើប្លាស្មាដើម្បីធ្វើឱ្យប្រតិកម្មដំណាក់កាលឧស្ម័នសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពទាប ធ្វើឱ្យអ៊ីយ៉ូដ និងរលួយម៉ូលេគុលនៅក្នុងឧស្ម័នប្រតិកម្ម ហើយបន្ទាប់មកដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗនៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ថាមពលនៃប្លាស្មាអាចកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពដែលត្រូវការសម្រាប់ប្រតិកម្មយ៉ាងខ្លាំង ហើយមានកម្មវិធីជាច្រើន។ ខ្សែភាពយន្តលោហៈ ខ្សែភាពយន្តអសរីរាង្គ និងខ្សែភាពយន្តសរីរាង្គជាច្រើនប្រភេទអាចត្រូវបានរៀបចំ។
លក្ខណៈពិសេស៖
▪ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ៖ ជាធម្មតាចន្លោះពី 200~400°C សីតុណ្ហភាពមានកម្រិតទាប។
▪ ជួរសម្ពាធឧស្ម័ន៖ ជាធម្មតារាប់រយ mTorr ដល់ Torr ជាច្រើន;
▪ គុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ ទោះបីជាឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្តល្អក៏ដោយ ដង់ស៊ីតេ និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តមិនល្អដូច LPCVD ទេ ដោយសារតែពិការភាពដែលអាចត្រូវបានណែនាំដោយប្លាស្មា។
▪ អត្រានៃការដាក់លក់៖ អត្រាខ្ពស់ ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មខ្ពស់;
▪ ឯកសណ្ឋាន៖ ទាបជាង LPCVD បន្តិចលើស្រទាប់ខាងក្រោមទំហំធំ;
គុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិ៖
▪ ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗអាចត្រូវបានដាក់នៅសីតុណ្ហភាពទាបជាង ដែលសមស្របសម្រាប់សម្ភារៈដែលងាយនឹងកម្តៅ។
▪ ល្បឿនដាក់ប្រាក់លឿន សមស្របសម្រាប់ការផលិតប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព;
▪ ដំណើរការដែលអាចបត់បែនបាន លក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា;
▪ ប្លាស្មាអាចបង្កើតពិការភាពខ្សែភាពយន្តដូចជារន្ធម្ជុល ឬភាពមិនស្មើគ្នា។
▪ បើប្រៀបធៀបជាមួយ LPCVD ដង់ស៊ីតេ និងគុណភាពខ្សែភាពយន្តគឺអន់ជាងបន្តិច។
៣. HDP-CVD (CVD ប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់)
គោលការណ៍៖ បច្ចេកវិទ្យា PECVD ពិសេសមួយ។ HDP-CVD (ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា ICP-CVD) អាចផលិតដង់ស៊ីតេ និងគុណភាពប្លាស្មាខ្ពស់ជាងឧបករណ៍ PECVD ប្រពៃណីនៅសីតុណ្ហភាពដាក់ស្រទាប់ទាបជាង។ លើសពីនេះ HDP-CVD ផ្តល់នូវលំហូរអ៊ីយ៉ុង និងការគ្រប់គ្រងថាមពលស្ទើរតែឯករាជ្យ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវសមត្ថភាពបំពេញលេណដ្ឋាន ឬរន្ធសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលទាមទារច្រើន ដូចជាថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង ការដាក់ស្រទាប់សម្ភារៈថេរឌីអេឡិចត្រិចទាប។ល។
លក្ខណៈពិសេស៖
▪ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ៖ សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ដល់ 300 ℃ សីតុណ្ហភាពដំណើរការទាបណាស់។
▪ ជួរសម្ពាធឧស្ម័ន៖ ចន្លោះពី 1 ដល់ 100 mTorr ទាបជាង PECVD;
▪ គុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់ គុណភាពខ្សែភាពយន្តខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានល្អ;
▪ អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់រឹង៖ អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់រឹងគឺស្ថិតនៅចន្លោះ LPCVD និង PECVD ដែលខ្ពស់ជាង LPCVD បន្តិច។
▪ ឯកសណ្ឋាន៖ ដោយសារតែប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្តគឺល្អឥតខ្ចោះ សមរម្យសម្រាប់ផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានរាងស្មុគស្មាញ។
គុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិ៖
▪ មានសមត្ថភាពក្នុងការដាក់ខ្សែភាពយន្តដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពទាប ស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់សម្ភារៈដែលងាយនឹងកម្តៅ។
▪ ឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដង់ស៊ីតេ និងភាពរលោងនៃផ្ទៃ;
▪ ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃការប្រមូលផ្តុំ និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្ត។
▪ ឧបករណ៍ស្មុគស្មាញ និងថ្លៃដើមខ្ពស់ជាង;
▪ ល្បឿននៃការរលាយមានល្បឿនយឺត ហើយថាមពលប្លាស្មាខ្ពស់អាចបង្កការខូចខាតតិចតួច។
សូមស្វាគមន៍អតិថិជនទាំងអស់មកពីជុំវិញពិភពលោកមកទស្សនាយើងខ្ញុំសម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែធ្នូ-០៣-២០២៤