வேதியியல் ஆவிப் படிவு(சிவிடி)பல்வேறு வகையான மின்காப்புப் பொருட்கள், பெரும்பாலான உலோகப் பொருட்கள் மற்றும் உலோகக் கலவைப் பொருட்கள் உள்ளிட்ட பலதரப்பட்ட பொருட்களைப் படியவைப்பதற்காக, குறைக்கடத்தித் துறையில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்நுட்பம் இதுவாகும்.
CVD என்பது ஒரு பாரம்பரிய மென்படலத் தயாரிப்புத் தொழில்நுட்பமாகும். இதன் கொள்கை, வாயு நிலையில் உள்ள முன்னோடிப் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி, அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகளுக்கு இடையேயான வேதி வினைகள் மூலம் அவற்றிலுள்ள சில கூறுகளைச் சிதைத்து, பின்னர் அடி மூலக்கூறின் மீது ஒரு மென்படலத்தை உருவாக்குவதாகும். CVD-யின் அடிப்படைப் பண்புகள்: வேதி மாற்றங்கள் (வேதி வினைகள் அல்லது வெப்பச் சிதைவு); படலத்தில் உள்ள அனைத்துப் பொருட்களும் வெளிப்புற மூலங்களிலிருந்து வருகின்றன; வினைபடு பொருள்கள் வாயு நிலையில் வினையில் பங்கேற்க வேண்டும்.
குறைந்த அழுத்த வேதி ஆவிப் படிவு (LPCVD), பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதி ஆவிப் படிவு (PECVD) மற்றும் உயர் அடர்த்தி பிளாஸ்மா வேதி ஆவிப் படிவு (HDP-CVD) ஆகியவை மூன்று பொதுவான வேதி ஆவிப் படிவுத் தொழில்நுட்பங்களாகும். இவற்றுக்கிடையே பொருள் படிவு, உபகரணத் தேவைகள், செயல்முறை நிலைமைகள் போன்றவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க வேறுபாடுகள் உள்ளன. பின்வருவது இந்த மூன்று தொழில்நுட்பங்களைப் பற்றிய ஒரு எளிய விளக்கமும் ஒப்பீடும் ஆகும்.
1. எல்பிசிவிடி (குறைந்த அழுத்த சிவிடி)
கொள்கை: குறைந்த அழுத்த நிலைமைகளின் கீழ் நடைபெறும் ஒரு CVD செயல்முறை. இதன் கொள்கை என்னவென்றால், வெற்றிடம் அல்லது குறைந்த அழுத்தச் சூழலில் வினை வாயுவை வினை அறைக்குள் செலுத்தி, உயர் வெப்பநிலையால் அந்த வாயுவை சிதைத்து அல்லது வினைபுரியச் செய்து, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒரு திடமான படலத்தைப் படிய வைப்பதாகும். குறைந்த அழுத்தம் வாயு மோதலையும் கொந்தளிப்பையும் குறைப்பதால், படலத்தின் சீரான தன்மையும் தரமும் மேம்படுத்தப்படுகின்றன. LPCVD ஆனது சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (LTO TEOS), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4), பாலிசிலிக்கான் (POLY), பாஸ்போசிலிக்கேட் கண்ணாடி (BSG), போரோபாஸ்போசிலிக்கேட் கண்ணாடி (BPSG), கலப்பு பாலிசிலிக்கான், கிராஃபீன், கார்பன் நானோகுழாய்கள் மற்றும் பிற படலங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
சிறப்பம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: பொதுவாக 500 முதல் 900°C வரை இருக்கும், இது ஒப்பீட்டளவில் அதிக செயல்முறை வெப்பநிலையாகும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: 0.1 முதல் 10 டோர் வரையிலான குறைந்த அழுத்தச் சூழல்;
▪ படச்சுருளின் தரம்: உயர் தரம், நல்ல சீரான தன்மை, சிறந்த அடர்த்தி மற்றும் குறைவான குறைபாடுகள்;
▪ படிதல் வீதம்: மெதுவான படிதல் வீதம்;
▪ சீரான தன்மை: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்றது, சீரான படிவு;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ மிகவும் சீரான மற்றும் அடர்த்தியான படலங்களைப் படியவைக்க முடியும்;
▪ பெரிய அளவிலான தளங்களில் சிறப்பாகச் செயல்படுகிறது, பெருமளவு உற்பத்திக்கு ஏற்றது;
▪ குறைந்த செலவு;
▪ அதிக வெப்பநிலைக்கு ஏற்றது, வெப்ப உணர்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்குப் பொருந்தாது;
▪ படிதல் விகிதம் மெதுவாக இருப்பதால், வெளியீடு ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது.
2. PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இருதய நோய்)
கொள்கை: பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி குறைந்த வெப்பநிலையில் வாயு நிலை வினைகளைத் தூண்டி, வினை வாயுவில் உள்ள மூலக்கூறுகளை அயனியாக்கி சிதைத்து, பின்னர் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களைப் படியவைப்பதே இதன் செயல்முறை. பிளாஸ்மாவின் ஆற்றலானது வினைக்குத் தேவைப்படும் வெப்பநிலையை வெகுவாகக் குறைப்பதால், இது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. பல்வேறு உலோகப் படலங்கள், கனிமப் படலங்கள் மற்றும் கரிமப் படலங்களைத் தயாரிக்க முடியும்.
சிறப்பம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: பொதுவாக 200 முதல் 400°C வரை இருக்கும், இது ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த வெப்பநிலையாகும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: பொதுவாக நூற்றுக்கணக்கான மில்லிடார் முதல் பல டார் வரை;
▪ படச்சுருளின் தரம்: படச்சுருளின் சீரான தன்மை நன்றாக இருந்தாலும், பிளாஸ்மாவால் ஏற்படக்கூடிய குறைபாடுகள் காரணமாக, இதன் அடர்த்தியும் தரமும் LPCVD படச்சுருளைப் போல சிறப்பாக இல்லை;
▪ படிதல் விகிதம்: அதிக விகிதம், அதிக உற்பத்தித் திறன்;
▪ சீரான தன்மை: பெரிய அளவிலான தளங்களில் LPCVD-ஐ விட சற்றே தரம் குறைந்தது;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ குறைந்த வெப்பநிலையில் மெல்லிய படலங்களைப் படியவைக்க முடியும், இது வெப்ப உணர்திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கு ஏற்றது;
▪ விரைவான படிவு வேகம், திறமையான உற்பத்திக்கு ஏற்றது;
▪ நெகிழ்வான செயல்முறை, பிளாஸ்மா அளவுருக்களைச் சரிசெய்வதன் மூலம் படலத்தின் பண்புகளைக் கட்டுப்படுத்தலாம்;
▪ பிளாஸ்மா, ஊசித் துளைகள் அல்லது சீரற்ற தன்மை போன்ற படலக் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்;
▪ LPCVD உடன் ஒப்பிடும்போது, படலத்தின் அடர்த்தியும் தரமும் சற்றே மோசமாக உள்ளன.
3. HDP-CVD (அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மா CVD)
கொள்கை: ஒரு சிறப்பு PECVD தொழில்நுட்பம். HDP-CVD (ICP-CVD என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) ஆனது, பாரம்பரிய PECVD கருவிகளை விட குறைந்த படிவு வெப்பநிலையில், அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தியையும் தரத்தையும் உருவாக்க முடியும். மேலும், HDP-CVD ஆனது ஏறக்குறைய தன்னிச்சையான அயனிப் பாய்வு மற்றும் ஆற்றல் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது. இது, எதிரொளிப்புத் தடுப்புப் பூச்சுகள், குறைந்த மின்காப்பு மாறிலி கொண்ட பொருட்களின் படிவு போன்ற சவாலான படலப் படிவுகளுக்கான பள்ளம் அல்லது துளை நிரப்பும் திறன்களை மேம்படுத்துகிறது.
சிறப்பம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: அறை வெப்பநிலை முதல் 300℃ வரை, செயல்முறை வெப்பநிலை மிகவும் குறைவாகும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: 1 முதல் 100 mTorr வரை; இது PECVD-ஐ விடக் குறைவானது.
▪ படச்சுருளின் தரம்: அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி, உயர் படச்சுருள் தரம், நல்ல சீரான தன்மை;
▪ படிவு வீதம்: படிவு வீதமானது LPCVD மற்றும் PECVD-க்கு இடையில் உள்ளது, LPCVD-ஐ விட சற்றே அதிகமாகும்;
▪ சீரான தன்மை: உயர் அடர்த்தி பிளாஸ்மாவின் காரணமாக, படலத்தின் சீரான தன்மை மிகச் சிறப்பாக உள்ளது, இது சிக்கலான வடிவமுடைய அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புகளுக்கு ஏற்றது;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ குறைந்த வெப்பநிலையிலும் உயர்தரப் படலங்களைப் படியவைக்கும் திறன் கொண்டது, வெப்பத்தால் எளிதில் பாதிப்படையக்கூடிய பொருட்களுக்கு மிகவும் ஏற்றது;
▪ மிகச்சிறந்த படலச் சீர்மை, அடர்த்தி மற்றும் மேற்பரப்பு வழவழப்பு;
▪ அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி, படிதல் சீர்மையையும் படலப் பண்புகளையும் மேம்படுத்துகிறது;
▪ சிக்கலான உபகரணங்கள் மற்றும் அதிக செலவு;
▪ படிதல் வேகம் மெதுவாக இருப்பதால், அதிக பிளாஸ்மா ஆற்றல் சிறிதளவு சேதத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும்.
மேலதிக கலந்துரையாடலுக்காக, உலகெங்கிலும் உள்ள வாடிக்கையாளர்கள் அனைவரையும் எங்களைச் சந்திக்க வரவேற்கிறோம்!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர்-03-2024