வேதியியல் நீராவி படிவு(சிவிடி)பரந்த அளவிலான மின்கடத்தா பொருட்கள், பெரும்பாலான உலோகப் பொருட்கள் மற்றும் உலோகக் கலவைப் பொருட்கள் உட்பட பல்வேறு பொருட்களை வைப்பதற்காக குறைக்கடத்தித் துறையில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்நுட்பமாகும்.
CVD என்பது ஒரு பாரம்பரிய மெல்லிய படல தயாரிப்பு தொழில்நுட்பமாகும். அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகளுக்கு இடையிலான வேதியியல் எதிர்வினைகள் மூலம் முன்னோடியில் உள்ள சில கூறுகளை சிதைக்க வாயு முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துவதே இதன் கொள்கையாகும், பின்னர் அடி மூலக்கூறில் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குங்கள். CVD இன் அடிப்படை பண்புகள்: வேதியியல் மாற்றங்கள் (வேதியியல் எதிர்வினைகள் அல்லது வெப்ப சிதைவு); படலத்தில் உள்ள அனைத்து பொருட்களும் வெளிப்புற மூலங்களிலிருந்து வருகின்றன; எதிர்வினைகள் வாயு கட்டத்தின் வடிவத்தில் எதிர்வினையில் பங்கேற்க வேண்டும்.
குறைந்த அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு (LPCVD), பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (PECVD) மற்றும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மா வேதியியல் நீராவி படிவு (HDP-CVD) ஆகியவை மூன்று பொதுவான CVD தொழில்நுட்பங்கள் ஆகும், அவை பொருள் படிவு, உபகரணத் தேவைகள், செயல்முறை நிலைமைகள் போன்றவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க வேறுபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. பின்வருபவை இந்த மூன்று தொழில்நுட்பங்களின் எளிய விளக்கம் மற்றும் ஒப்பீடு ஆகும்.
1. LPCVD (குறைந்த அழுத்த CVD)
கொள்கை: குறைந்த அழுத்த நிலைமைகளின் கீழ் ஒரு CVD செயல்முறை. வெற்றிடம் அல்லது குறைந்த அழுத்த சூழலில் எதிர்வினை வாயுவை எதிர்வினை அறைக்குள் செலுத்துவதும், அதிக வெப்பநிலையால் வாயுவை சிதைப்பது அல்லது வினைபுரிவதும், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் படிந்த ஒரு திடமான படலத்தை உருவாக்குவதும் இதன் கொள்கையாகும். குறைந்த அழுத்தம் வாயு மோதல் மற்றும் கொந்தளிப்பைக் குறைப்பதால், படலத்தின் சீரான தன்மை மற்றும் தரம் மேம்படுத்தப்படுகிறது. LPCVD சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (LTO TEOS), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4), பாலிசிலிகான் (POLY), பாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி (BSG), போரோபாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி (BPSG), டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிகான், கிராஃபீன், கார்பன் நானோகுழாய்கள் மற்றும் பிற படலங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
அம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: பொதுவாக 500~900°C க்கு இடையில், செயல்முறை வெப்பநிலை ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக இருக்கும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: 0.1~10 டோர் குறைந்த அழுத்த சூழல்;
▪ படத் தரம்: உயர் தரம், நல்ல சீரான தன்மை, நல்ல அடர்த்தி மற்றும் சில குறைபாடுகள்;
▪ படிவு விகிதம்: மெதுவான படிவு விகிதம்;
▪ சீரான தன்மை: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்றது, சீரான படிவு;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ மிகவும் சீரான மற்றும் அடர்த்தியான படலங்களை வைக்க முடியும்;
▪ பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளில் சிறப்பாகச் செயல்படுகிறது, பெருமளவிலான உற்பத்திக்கு ஏற்றது;
▪ குறைந்த விலை;
▪ அதிக வெப்பநிலை, வெப்ப உணர்திறன் பொருட்களுக்கு ஏற்றதல்ல;
▪ படிவு விகிதம் மெதுவாகவும் வெளியீடு ஒப்பீட்டளவில் குறைவாகவும் உள்ளது.
2. PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD)
கொள்கை: குறைந்த வெப்பநிலையில் வாயு கட்ட எதிர்வினைகளைச் செயல்படுத்த பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தவும், வினை வாயுவில் உள்ள மூலக்கூறுகளை அயனியாக்கம் செய்து சிதைக்கவும், பின்னர் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களை வைக்கவும். பிளாஸ்மாவின் ஆற்றல் எதிர்வினைக்குத் தேவையான வெப்பநிலையை வெகுவாகக் குறைக்கும், மேலும் இது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. பல்வேறு உலோகப் படலங்கள், கனிமப் படலங்கள் மற்றும் கரிமப் படலங்களைத் தயாரிக்கலாம்.
அம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: பொதுவாக 200~400°C க்கு இடையில், வெப்பநிலை ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக இருக்கும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: பொதுவாக நூற்றுக்கணக்கான mTorr முதல் பல Torr வரை;
▪ படத் தரம்: பட சீரான தன்மை நன்றாக இருந்தாலும், பிளாஸ்மாவால் அறிமுகப்படுத்தப்படக்கூடிய குறைபாடுகள் காரணமாக படத்தின் அடர்த்தி மற்றும் தரம் LPCVD அளவுக்கு சிறப்பாக இல்லை;
▪ படிவு விகிதம்: அதிக விகிதம், அதிக உற்பத்தி திறன்;
▪ சீரான தன்மை: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளில் LPCVD ஐ விட சற்று தாழ்வானது;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ மெல்லிய படலங்களை குறைந்த வெப்பநிலையில் படிய வைக்கலாம், வெப்ப உணர்திறன் பொருட்களுக்கு ஏற்றது;
▪ வேகமான படிவு வேகம், திறமையான உற்பத்திக்கு ஏற்றது;
▪ நெகிழ்வான செயல்முறை, படல பண்புகளை பிளாஸ்மா அளவுருக்களை சரிசெய்வதன் மூலம் கட்டுப்படுத்தலாம்;
▪ பிளாஸ்மா துளைகள் அல்லது சீரற்ற தன்மை போன்ற படலக் குறைபாடுகளை அறிமுகப்படுத்தக்கூடும்;
▪ LPCVD உடன் ஒப்பிடும்போது, பட அடர்த்தி மற்றும் தரம் சற்று மோசமாக உள்ளது.
3. HDP-CVD (உயர் அடர்த்தி பிளாஸ்மா CVD)
கொள்கை: ஒரு சிறப்பு PECVD தொழில்நுட்பம். குறைந்த படிவு வெப்பநிலையில் பாரம்பரிய PECVD உபகரணங்களை விட HDP-CVD (ICP-CVD என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் தரத்தை உருவாக்க முடியும். கூடுதலாக, HDP-CVD கிட்டத்தட்ட சுயாதீனமான அயனி பாய்வு மற்றும் ஆற்றல் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது, பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு பூச்சுகள், குறைந்த மின்கடத்தா மாறிலி பொருள் படிவு போன்ற தேவைப்படும் பட படிவுக்கான அகழி அல்லது துளை நிரப்பும் திறன்களை மேம்படுத்துகிறது.
அம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: அறை வெப்பநிலை 300℃ வரை, செயல்முறை வெப்பநிலை மிகவும் குறைவாக உள்ளது;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: 1 முதல் 100 mTorr வரை, PECVD ஐ விடக் குறைவு;
▪ படத் தரம்: அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி, அதிக படத் தரம், நல்ல சீரான தன்மை;
▪ படிவு விகிதம்: படிவு விகிதம் LPCVD மற்றும் PECVD க்கு இடையில் உள்ளது, LPCVD ஐ விட சற்று அதிகமாக உள்ளது;
▪ சீரான தன்மை: அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மா காரணமாக, படல சீரான தன்மை சிறந்தது, சிக்கலான வடிவ அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புகளுக்கு ஏற்றது;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ குறைந்த வெப்பநிலையில் உயர்தர படலங்களை வைப்பதற்கான திறன் கொண்டது, வெப்ப உணர்திறன் பொருட்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது;
▪ சிறந்த படல சீரான தன்மை, அடர்த்தி மற்றும் மேற்பரப்பு மென்மை;
▪ அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி படிவு சீரான தன்மை மற்றும் படல பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது;
▪ சிக்கலான உபகரணங்கள் மற்றும் அதிக விலை;
▪ படிவு வேகம் மெதுவாக இருக்கும், மேலும் அதிக பிளாஸ்மா ஆற்றல் சிறிய அளவிலான சேதத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும்.
மேலும் கலந்துரையாடலுக்காக உலகம் முழுவதிலுமிருந்து வரும் எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் எங்களை சந்திக்க வரவேற்கிறோம்!
https://www.vet-china.com/ தமிழ்
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-03-2024