Himiki bug çökündisi(Ýürek-damar keselleri)ýarymgeçirijiler senagatynda dürli materiallary, şol sanda dürli izolýasiýa materiallaryny, köp metal materiallaryny we metal garyndy materiallaryny goýmak üçin iň köp ulanylýan tehnologiýadyr.
CVD däp bolan inçe plýonka taýýarlamak tehnologiýasydyr. Onuň prinsipi gaz görnüşli prekursorlary ulanyp, prekursordaky käbir komponentleri atomlar we molekulalar arasyndaky himiki reaksiýalar arkaly parçalamak we soňra substratda inçe plýonka emele getirmekdir. CVD-niň esasy häsiýetnamalary: himiki üýtgeşmeler (himiki reaksiýalar ýa-da termiki parçalanma); plýonkadaky ähli materiallar daşarky çeşmelerden gelýär; reaksiýa berijiler gaz fazasy görnüşinde reaksiýa gatnaşmalydyr.
Pes basyşly himiki bug çökündisi (LPCVD), plazma güýçlendirilen himiki bug çökündisi (PECVD) we ýokary dykyzlykly plazma himiki bug çökündisi (HDP-CVD) üç sany umumy CVD tehnologiýasy bolup, olar material çökündisinde, enjam talaplarynda, proses şertlerinde we ş.m. düýpli tapawutlara eýedir. Aşakda bu üç tehnologiýanyň ýönekeý düşündirişi we deňeşdirmesi berilýär.
1. LPCVD (Pes basyşly CVD)
Prinsip: Pes basyş şertlerinde CVD prosesi. Onuň prinsipi reaksiýa gazyny wakuum ýa-da pes basyşly gurşawda reaksiýa kamerasyna girizmek, gazy ýokary temperatura bilen parçalamak ýa-da reaksiýa girizmek we substratyň ýüzünde ýerleşdirilen berk plýonka emele getirmekdir. Pes basyş gazyň çaknyşmagyny we turbulentligini azaldýandygy sebäpli, plýonkanyň birmeňzeşligi we hili gowulanýar. LPCVD kremniý dioksidinde (LTO TEOS), kremniý nitridinde (Si3N4), polisilikonda (POLY), fosfosilikat aýnada (BSG), borofosfosilikat aýnada (BPSG), lehimlenen polisilikonda, grafende, uglerod nanotubalarynda we beýleki plýonkalarda giňden ulanylýar.
Aýratynlyklar:
▪ Prosessiň temperaturasy: adatça 500~900°C aralygynda, prosessiň temperaturasy deňeşdirme boýunça ýokary bolýar;
▪ Gaz basyş diapazony: pes basyşly gurşaw 0.1 ~ 10 Torr;
▪ Plýonkanyň hili: ýokary hilli, gowy deňligi, gowy dykyzlygy we az kemçilikleri;
▪ Çökme tizligi: çökme tizligi haýal;
▪ Birmeňzeşlik: uly göwrümli substratlar üçin amatly, birmeňzeş çökündi;
Artykmaçlyklary we kemçilikleri:
▪ Örän birmeňzeş we dykyz plýonkalary goýup bilýär;
▪ Köpçülikleýin önümçilik üçin amatly bolan uly ölçegli substratlarda gowy işleýär;
▪ Arzan baha;
▪ Ýokary temperatura, ýylylyga duýgur materiallar üçin amatly däl;
▪ Çökme tizligi haýal we çykyş möçberi deňeşdirme boýunça pes.
2. PECVD (Plazma bilen güýçlendirilen ýürek-damar keseli)
Prinsip: Gaz fazasynyň reaksiýalaryny pes temperaturada işjeňleşdirmek, reaksiýa gazyndaky molekulalary ionlaşdyrmak we parçalamak, soňra substratyň ýüzüne inçe plyonkalary goýmak üçin plazmany ulanyň. Plazmanyň energiýasy reaksiýa üçin zerur bolan temperaturany ep-esli peseldip biler we giň ulanylyş çägine eýedir. Dürli metal plyonkalary, organiki däl plyonkalary we organiki plyonkalary taýýarlap bolýar.
Aýratynlyklar:
▪ Işleýiş temperaturasy: adatça 200~400°C aralygynda, temperatura deňeşdirme boýunça pes bolýar;
▪ Gaz basyşynyň diapazony: adatça ýüzlerçe mTorrdan birnäçe Torra çenli;
▪ Plenkanyň hili: plyonkanyň birmeňzeşligi gowy bolsa-da, plyonkanyň dykyzlygy we hili plyonkanyň dykyzlygy we hili plyonkanyň dykyzlygy ýaly gowy däl, sebäbi plyonkada plyonkanyň döremegi mümkin bolan kemçilikler bar;
▪ Çökme tizligi: ýokary tizlik, ýokary önümçilik netijeliligi;
▪ Birmeňzeşlik: uly ölçegli substratlarda LPCVD-den biraz pes;
Artykmaçlyklary we kemçilikleri:
▪ Inçe plýonkalar pes temperaturada çöküp bilýär, ýylylyga duýgur materiallar üçin amatly;
▪ Netijeli önümçilik üçin amatly bolan çalt çökdürme tizligi;
▪ Çeýe proses, plyonkanyň häsiýetlerini plazma parametrlerini sazlamak arkaly dolandyryp bolýar;
▪ Plazma çivi deşikleri ýa-da deň dällik ýaly plýonka kemçiliklerini döredip biler;
▪ LPCVD bilen deňeşdirilende, plýonkanyň dykyzlygy we hili biraz ýaramaz.
3. HDP-CVD (Ýokary dykyzlykly plazma CVD)
Prinsip: Ýörite PECVD tehnologiýasy. HDP-CVD (ICP-CVD diýlip hem atlandyrylýar) pes çökündi temperaturalarynda däp bolan PECVD enjamlaryna garanyňda ýokary plazma dykyzlygyny we hilini öndürip bilýär. Mundan başga-da, HDP-CVD diýen ýaly garaşsyz ion akymyny we energiýa gözegçiligini üpjün edýär, şöhlelendiriji örtükler, pes dielektrik hemişelik material çökündisi ýaly talap edilýän plýonka çökündisi üçin hendek ýa-da deşik doldurmak mümkinçiliklerini gowulandyrýar.
Aýratynlyklar:
▪ Işleýiş temperaturasy: otagyň temperaturasy 300℃ çenli, işleýiş temperaturasy örän pes;
▪ Gaz basyşynyň diapazony: 1 we 100 mTorr aralygynda, PECVD-den pes;
▪ Plenkanyň hili: ýokary plazma dykyzlygy, ýokary plyonkanyň hili, gowy deňlik;
▪ Çökme tizligi: çökme tizligi LPCVD bilen PECVD aralygynda, LPCVD-den biraz ýokary;
▪ Birmeňzeşlik: ýokary dykyzlykly plazma sebäpli, plýonka birmeňzeşligi ajaýyp, çylşyrymly görnüşli substrat ýüzleri üçin amatly;
Artykmaçlyklary we kemçilikleri:
▪ Pes temperaturada ýokary hilli plýonkalary ýerleşdirip bilýär, ýylylyga duýgur materiallar üçin örän amatly;
▪ Plenkanyň ajaýyp birmeňzeşligi, dykyzlygy we ýüzüniň tekizligi;
▪ Ýokary plazma dykyzlygy çökündileriň birmeňzeşligini we plýonkanyň häsiýetlerini gowulandyrýar;
▪ Çylşyrymly enjamlar we ýokary baha;
▪ Çökme tizligi haýal we ýokary plazma energiýasy az mukdarda zyýan ýetirip biler.
Dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilerimizi goşmaça pikir alyşmak üçin bize gelmegiňize hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 3-nji dekabry