Ìfipamọ́ ooru kẹ́míkà(CVD)ni imọ-ẹrọ ti a lo julọ julọ ninu ile-iṣẹ semiconductor fun fifi ọpọlọpọ awọn ohun elo pamọ, pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo idabobo, ọpọlọpọ awọn ohun elo irin ati awọn ohun elo alloy irin.
CVD jẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ ìpèsè fíìmù tín-tín ìbílẹ̀. Ìlànà rẹ̀ ni láti lo àwọn ohun tí ń ṣáájú nínú gaseous láti fọ́ àwọn èròjà kan nínú precursor náà nípasẹ̀ àwọn ìṣe kẹ́míkà láàrín àwọn átọ̀mù àti àwọn molecule, lẹ́yìn náà kí ó ṣẹ̀dá fíìmù tín-tín lórí substrate náà. Àwọn ànímọ́ ìpìlẹ̀ ti CVD ni: àwọn ìyípadà kẹ́míkà (àwọn ìṣe kẹ́míkà tàbí ìbàjẹ́ ooru); gbogbo àwọn ohun èlò nínú fíìmù náà wá láti orísun òde; àwọn ohun tí ń ṣiṣẹ́ nínú fíìmù náà gbọ́dọ̀ kópa nínú ìṣe náà ní ìrísí gáàsì.
Ifipamọ́ ọrá kẹ́míkà onítẹ̀sí kékeré (LPCVD), ifipamọ́ ọrá kẹ́míkà tí a mú dara sí plasma (PECVD) àti ifipamọ́ ọrá kẹ́míkà plasma oníwọ̀n gíga (HDP-CVD) jẹ́ àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ CVD mẹ́ta tí ó wọ́pọ̀, tí ó ní ìyàtọ̀ pàtàkì nínú ifipamọ́ ohun èlò, àwọn ohun èlò tí a nílò, àwọn ipò iṣẹ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Èyí tí ó tẹ̀lé ni àlàyé àti ìfiwéra tí ó rọrùn fún àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ mẹ́ta wọ̀nyí.
1. LPCVD (CVD titẹ kekere)
Ìlànà: Ìlànà CVD lábẹ́ àwọn ipò ìfúnpọ̀ díẹ̀. Ìlànà rẹ̀ ni láti fi gáàsì ìfọwọ́sí sínú yàrá ìfọwọ́sí lábẹ́ afẹ́fẹ́ tàbí àyíká ìfúnpọ̀ díẹ̀, láti jẹrà tàbí láti ṣe ìfọwọ́sí gaasi nípasẹ̀ iwọ̀n otútù gíga, kí ó sì ṣẹ̀dá fíìmù líle tí a gbé kalẹ̀ lórí ojú ilẹ̀. Nítorí pé ìfúnpọ̀ kékeré ń dín ìfọwọ́sí gaasi àti ìrúkèrúdò kù, ìṣọ̀kan àti dídára fíìmù náà ń sunwọ̀n síi. LPCVD ni a lò ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ nínú silicon dioxide (LTO TEOS), silicon nitride (Si3N4), polysilicon (POLY), phosphosilicate glass (BSG), borophosphosilicate glass (BPSG), doped polysilicon, graphene, carbon nanotubes àti àwọn fíìmù mìíràn.
Àwọn ẹ̀yà ara ẹ̀ya ara:
▪ Iwọn otutu ilana: nigbagbogbo laarin 500 ~ 900°C, iwọn otutu ilana naa ga ju;
▪ Ìwọ̀n ìfúnpọ̀ gáàsì: àyíká ìfúnpọ̀ kékeré ti 0.1~10 Torr;
▪ Dídára fíìmù: dídára gíga, ìṣọ̀kan tó dára, ìwọ̀n tó dára, àti àwọn àbùkù díẹ̀;
▪ Ìwọ̀n ìfipamọ́: ìwọ̀n ìfipamọ́ lọ́ra;
▪ Ìṣọ̀kan: ó yẹ fún àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ ńláńlá, ìdúróṣinṣin kan náà;
Àwọn àǹfààní àti àwọn àléébù:
▪ Ó lè gbé àwọn fíìmù tó dọ́gba àti tó nípọn sí i;
▪ Ó ń ṣiṣẹ́ dáadáa lórí àwọn ohun èlò ìṣàn ńláńlá, tí ó yẹ fún ìṣẹ̀dá púpọ̀;
▪ Owó díẹ̀;
▪ Ooru giga, ko dara fun awọn ohun elo ti o ni itara si ooru;
▪ Ìwọ̀n ìfipamọ́ nǹkan lọ́ra díẹ̀díẹ̀ àti pé ìjáde rẹ̀ kéré ní ìfiwéra.
2. PECVD (CVD tí a mú dara sí Plasma)
Ìlànà: Lo plasma láti mu àwọn ìṣesí gaasi ṣiṣẹ́ ní ìwọ̀n otútù tó kéré síi, mú kí àwọn molecule inú gaasi náà jẹ́ ion kí ó sì fọ́, lẹ́yìn náà ó fi àwọn fíìmù tín-tín sí ojú ilẹ̀. Agbára plasma lè dín ìwọ̀n otútù tó yẹ fún ìṣesí náà kù gidigidi, ó sì ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìlò. Oríṣiríṣi fíìmù irin, fíìmù inorganic àti fíìmù organic ni a lè pèsè.
Àwọn ẹ̀yà ara ẹ̀ya ara:
▪ Iwọn otutu ilana: nigbagbogbo laarin 200 ~ 400°C, iwọn otutu naa kere pupọ;
▪ Ìwọ̀n ìfúnpá gáàsì: nígbà gbogbo ọgọ́rọ̀ọ̀rún mTorr sí ọ̀pọ̀ Torr;
▪ Dídára fíìmù: bó tilẹ̀ jẹ́ pé fíìmù náà dọ́gba, ìwọ̀n àti dídára fíìmù náà kò dára tó LPCVD nítorí àwọn àbùkù tí plasma lè mú wá;
▪ Ìwọ̀n ìfipamọ́: ìwọ̀n gíga, ìṣelọ́pọ́ gíga;
▪ Ìṣọ̀kan: ó kéré díẹ̀ sí LPCVD lórí àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ ńláńlá;
Àwọn àǹfààní àti àwọn àléébù:
▪ A le fi awọn fiimu tinrin si ibi iwọn otutu kekere, ti o dara fun awọn ohun elo ti o ni itara si ooru;
▪ Iyara gbigba yara, o dara fun iṣelọpọ to munadoko;
▪ Ilana ti o rọ, awọn ohun-ini fiimu le ṣee ṣakoso nipasẹ ṣiṣatunṣe awọn paramita plasma;
▪ Plasma lè fa àwọn àbùkù fíìmù bíi ihò ihò tàbí àìdọ́gba;
▪ Ní ìfiwéra pẹ̀lú LPCVD, ìwọ̀n àti dídára fíìmù náà burú díẹ̀.
3. HDP-CVD (High Density Plasma CVD)
Ìlànà: Ìmọ̀-ẹ̀rọ PECVD pàtàkì kan. HDP-CVD (tí a tún mọ̀ sí ICP-CVD) lè mú kí ìwọ̀n plasma àti dídára rẹ̀ ga ju àwọn ohun èlò PECVD ìbílẹ̀ lọ ní ìwọ̀n otútù ìfipamọ́ tí ó kéré sí i. Ní àfikún, HDP-CVD ń pèsè ìṣàn ion àti agbára tí ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ òmìnira, ó ń mú kí àwọn agbára ìkún ihò tàbí ihò sunwọ̀n sí i fún ìfipamọ́ fíìmù tí ó béèrè fún ìbéèrè, bí àwọn ìbòrí tí kò fara hàn, ìfipamọ́ ohun èlò dielectric tí ó wà ní ìpele kékeré, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn ẹ̀yà ara ẹ̀ya ara:
▪ Iwọn otutu ilana: iwọn otutu yara si 300℃, iwọn otutu ilana naa kere pupọ;
▪ Ìwọ̀n ìfúnpá gáàsì: láàrín 1 sí 100 mTorr, tí ó kéré sí PECVD;
▪ Dídára fíìmù: ìwọ̀n plasma gíga, dídára fíìmù gíga, ìbáramu tó dára;
▪ Oṣuwọn Ifipamọ: Oṣuwọn Ifipamọ wa laarin LPCVD ati PECVD, o ga diẹ ju LPCVD lọ;
▪ Ìṣọ̀kan: nítorí pé plasma tó ní ìwọ̀n gíga, ìṣọ̀kan fíìmù náà dára gan-an, ó sì yẹ fún àwọn ojú ilẹ̀ onípele tó ní ìrísí dídíjú;
Àwọn àǹfààní àti àwọn àléébù:
▪ Ó lágbára láti gbé àwọn fíìmù tó dára sí i ní ìwọ̀n otútù tó kéré sí i, ó sì dára fún àwọn ohun èlò tó lè mú ooru gbóná;
▪ Ìṣọ̀kan fíìmù náà, ìwúwo rẹ̀ àti dídánmọ́ ojú rẹ̀ tó dára gan-an;
▪ Ìwọ̀n plasma tó ga jù mú kí ìdúróṣinṣin àti àwọn ànímọ́ fíìmù sunwọ̀n sí i;
▪ Àwọn ohun èlò tó díjú àti owó tó ga jù;
▪ Iyára ìtújáde ara ẹni lọ́ra, agbára ìfúnpọ̀ ara tó ga jù sì lè fa ìbàjẹ́ díẹ̀.
Ẹ kí àwọn oníbàárà láti gbogbo àgbáyé káàbọ̀ láti wá bẹ̀ wá wò fún ìjíròrò síwájú síi!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-03-2024