سنگل ڪرسٽل سلڪون جو حرارتي آڪسائيڊشن

سلڪون جي مٿاڇري تي سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ جي ٺهڻ کي آڪسائيڊيشن چئبو آهي، ۽ مستحڪم ۽ مضبوطيءَ سان لڳل سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ جي ٺهڻ سان سلڪون انٽيگريٽڊ سرڪٽ پلانر ٽيڪنالاجي پيدا ٿي. جيتوڻيڪ سلڪون جي مٿاڇري تي سڌو سنئون سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ وڌائڻ جا ڪيترائي طريقا آهن، پر اهو عام طور تي ٿرمل آڪسائيڊيشن ذريعي ڪيو ويندو آهي، جيڪو سلڪون کي اعليٰ درجه حرارت آڪسائيڊائيزنگ ماحول (آڪسيجن، پاڻي) ۾ ظاهر ڪرڻ آهي. ٿرمل آڪسائيڊيشن طريقا سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ فلمن جي تياري دوران فلم جي ٿلهي ۽ سلڪون/سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ انٽرفيس خاصيتن کي ڪنٽرول ڪري سگهن ٿا. سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ کي وڌائڻ لاءِ ٻيون ٽيڪنڪون پلازما اينوڊائيزيشن ۽ ويٽ اينوڊائيزيشن آهن، پر انهن مان ڪنهن به ٽيڪنڪ کي VLSI عملن ۾ وڏي پيماني تي استعمال نه ڪيو ويو آهي.

سلڪون مستحڪم سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ ٺاهڻ جو رجحان ڏيکاري ٿو. جيڪڏهن تازو ڪٽيل سلڪون کي آڪسائيڊائيزنگ ماحول (جهڙوڪ آڪسيجن، پاڻي) جي سامهون آندو وڃي ٿو، ته اهو ڪمري جي حرارت تي به هڪ تمام پتلي آڪسائيڊ پرت (<20Å) ٺاهيندو. جڏهن سلڪون کي تيز گرمي پد تي آڪسائيڊائيزنگ ماحول جي سامهون آندو ويندو آهي، ته هڪ ٿلهي آڪسائيڊ پرت تيز رفتار سان پيدا ٿيندي. سلڪون مان سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ ٺهڻ جو بنيادي طريقو چڱي طرح سمجهي سگهجي ٿو. ڊيل ۽ گرو هڪ رياضياتي ماڊل تيار ڪيو جيڪو 300Å کان وڌيڪ ٿلهي آڪسائيڊ فلمن جي واڌ جي حرڪيات کي صحيح طور تي بيان ڪري ٿو. انهن تجويز ڪيو ته آڪسائيڊيشن هيٺ ڏنل طريقي سان ڪئي ويندي آهي، يعني، آڪسائيڊنٽ (پاڻيءَ جا ماليڪيول ۽ آڪسيجن جا ماليڪيول) موجوده آڪسائيڊ پرت ذريعي Si/SiO2 انٽرفيس تائين ڦهلجي ٿو، جتي آڪسائيڊنٽ سلڪون سان رد عمل ڪري سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ ٺاهيندو آهي. سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ ٺاهڻ جو مکيه رد عمل هن ريت بيان ڪيو ويو آهي:

آڪسائيڊيشن جو رد عمل Si/SiO2 انٽرفيس تي ٿئي ٿو، تنهنڪري جڏهن آڪسائيڊ پرت وڌندي آهي، سلڪون مسلسل استعمال ٿيندو آهي ۽ انٽرفيس بتدريج سلڪون تي حملو ڪندو آهي. سلڪون ۽ سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ جي لاڳاپيل کثافت ۽ ماليڪيولر وزن جي مطابق، اهو ڳولي سگهجي ٿو ته آخري آڪسائيڊ پرت جي ٿولهه لاءِ استعمال ٿيندڙ سلڪون 44٪ آهي. هن طريقي سان، جيڪڏهن آڪسائيڊ پرت 10,000Å وڌندي آهي، ته 4400Å سلڪون استعمال ٿيندو. هي تعلق قدمن جي اوچائي جي حساب لاءِ اهم آهي.سلڪون ويفر. اهي مرحلا سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي مختلف هنڌن تي مختلف آڪسائيڊيشن جي شرحن جو نتيجو آهن.

اسان اعليٰ پاڪائي واري گريفائيٽ ۽ سلڪون ڪاربائيڊ پراڊڪٽس پڻ فراهم ڪندا آهيون، جيڪي وڏي پيماني تي ويفر پروسيسنگ جهڙوڪ آڪسائيڊيشن، ڊفيوژن، ۽ اينيلنگ ۾ استعمال ٿيندا آهن.

وڌيڪ بحث لاءِ اسان وٽ اچڻ لاءِ دنيا جي ڪنهن به گراهڪ کي ڀليڪار!

https://www.vet-china.com/