ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਦੇ ਬਣਨ ਨੂੰ ਆਕਸੀਕਰਨ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਨਾਲ ਜੁੜੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਦੀ ਸਿਰਜਣਾ ਨੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਇੰਟੀਗ੍ਰੇਟਿਡ ਸਰਕਟ ਪਲੇਨਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦਾ ਜਨਮ ਕੀਤਾ। ਹਾਲਾਂਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸਿੱਧੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਨੂੰ ਉਗਾਉਣ ਦੇ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਤਰੀਕੇ ਹਨ, ਇਹ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਥਰਮਲ ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੁਆਰਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਿੰਗ ਵਾਤਾਵਰਣ (ਆਕਸੀਜਨ, ਪਾਣੀ) ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਲਿਆਉਣਾ ਹੈ। ਥਰਮਲ ਆਕਸੀਕਰਨ ਵਿਧੀਆਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੌਰਾਨ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ/ਸਿਲਿਕਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਇੰਟਰਫੇਸ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਹੋਰ ਤਕਨੀਕਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨੋਡਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਗਿੱਲਾ ਐਨੋਡਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਹਨ, ਪਰ ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਕਿਸੇ ਵੀ ਤਕਨੀਕ ਨੂੰ VLSI ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਹੀਂ ਵਰਤਿਆ ਗਿਆ ਹੈ।
ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਥਿਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਪ੍ਰਵਿਰਤੀ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਤਾਜ਼ੇ ਕੱਟੇ ਹੋਏ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਿੰਗ ਵਾਤਾਵਰਣ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਕਸੀਜਨ, ਪਾਣੀ) ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਲਿਆਂਦਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਵੀ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਹੀ ਪਤਲੀ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ (<20Å) ਬਣਾਏਗਾ। ਜਦੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਿੰਗ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਲਿਆਂਦਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇੱਕ ਮੋਟੀ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਤੇਜ਼ ਦਰ ਨਾਲ ਪੈਦਾ ਹੋਵੇਗੀ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਤੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਬਣਨ ਦੀ ਮੂਲ ਵਿਧੀ ਚੰਗੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਮਝੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਡੀਲ ਅਤੇ ਗਰੋਵ ਨੇ ਇੱਕ ਗਣਿਤਿਕ ਮਾਡਲ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤਾ ਜੋ 300Å ਤੋਂ ਮੋਟੀਆਂ ਆਕਸਾਈਡ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਦਾ ਸਹੀ ਵਰਣਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉਨ੍ਹਾਂ ਨੇ ਪ੍ਰਸਤਾਵ ਦਿੱਤਾ ਕਿ ਆਕਸੀਕਰਨ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਤਰੀਕੇ ਨਾਲ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਯਾਨੀ ਕਿ, ਆਕਸੀਡੈਂਟ (ਪਾਣੀ ਦੇ ਅਣੂ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਅਣੂ) ਮੌਜੂਦਾ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਰਾਹੀਂ Si/SiO2 ਇੰਟਰਫੇਸ ਵਿੱਚ ਫੈਲਦਾ ਹੈ, ਜਿੱਥੇ ਆਕਸੀਡੈਂਟ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਕੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਮੁੱਖ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦਾ ਵਰਣਨ ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ:
ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ Si/SiO2 ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਜਦੋਂ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਵਧਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਲਗਾਤਾਰ ਖਪਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇੰਟਰਫੇਸ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਸਿਲੀਕਾਨ 'ਤੇ ਹਮਲਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ ਦੀ ਅਨੁਸਾਰੀ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਅਣੂ ਭਾਰ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਇਹ ਪਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਅੰਤਿਮ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਲਈ ਖਪਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸਿਲੀਕਾਨ 44% ਹੈ। ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਜੇਕਰ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ 10,000Å ਵਧਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ 4400Å ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਖਪਤ ਹੋਵੇਗੀ। ਇਹ ਸਬੰਧ ਸਾਈਡ 'ਤੇ ਬਣੇ ਕਦਮਾਂ ਦੀ ਉਚਾਈ ਦੀ ਗਣਨਾ ਕਰਨ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਇਹ ਕਦਮ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਥਾਵਾਂ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਆਕਸੀਕਰਨ ਦਰਾਂ ਦਾ ਨਤੀਜਾ ਹਨ।
ਅਸੀਂ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਉਤਪਾਦ ਵੀ ਸਪਲਾਈ ਕਰਦੇ ਹਾਂ, ਜੋ ਕਿ ਆਕਸੀਕਰਨ, ਪ੍ਰਸਾਰ ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਵਰਗੀਆਂ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।
ਦੁਨੀਆ ਭਰ ਦੇ ਕਿਸੇ ਵੀ ਗਾਹਕ ਦਾ ਹੋਰ ਚਰਚਾ ਲਈ ਸਾਡੇ ਕੋਲ ਆਉਣ ਲਈ ਸਵਾਗਤ ਹੈ!
https://www.vet-china.com/
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਨਵੰਬਰ-13-2024