Kremniý dioksidiniň kremniýiň ýüzünde emele gelmegi oksidlenme diýlip atlandyrylýar we durnukly we berk ýapyşýan kremniý dioksidiniň döredilmegi kremniýiň integral mikrosxemasynyň planar tehnologiýasynyň döremegine getirdi. Kremniý dioksidini kremniýiň ýüzünde gönüden-göni ösdürip ýetişdirmegiň köp usullary bar bolsa-da, ol adatça termal oksidlenme arkaly amala aşyrylýar, ýagny kremniýi ýokary temperaturaly oksidleýji gurşawa (kislorod, suw) sezewar etmek. Termal oksidlenme usullary kremniý dioksidiniň plýonkalaryny taýýarlamak wagtynda plýonkanyň galyňlygyny we kremniý/kremniý dioksidiniň interfeýs häsiýetlerini gözegçilikde saklap bilýär. Kremniý dioksidini ösdürip ýetişdirmegiň beýleki usullary plazma anodizasiýa we çygly anodizasiýadyr, ýöne bu usullaryň hiç biri VLSI proseslerinde giňden ulanylmady.
Kremniý durnukly kremniý dioksidini emele getirmek meýilliligini görkezýär. Täze bölünen kremniý oksidleýji gurşawa (meselem, kislorod, suw ýaly) sezewar edilse, otagyň temperaturasynda hem örän inçe oksid gatlagyny (<20Å) emele getirer. Kremniý ýokary temperaturada oksidleýji gurşawa sezewar edilende, has galyň oksid gatlagy has çalt tizlikde emele geler. Kremniýden kremniý dioksidiniň emele gelmeginiň esasy mehanizmi gowy düşünilipdir. Deal we Grove 300Å-den galyň oksid plýonkalarynyň ösüş dinamikasyny takyk suratlandyrýan matematiki modeli işläp düzdüler. Olar oksidlenmegiň aşakdaky usulda amala aşyrylmagyny teklip etdiler, ýagny oksidleýji (suw molekulalary we kislorod molekulalary) bar bolan oksid gatlagy arkaly Si/SiO2 serhedine ýaýraýar, bu ýerde oksidleýji kremniý bilen reaksiýa girip, kremniý dioksidini emele getirýär. Kremniý dioksidini emele getirmek üçin esasy reaksiýa aşakdaky ýaly beýan edilýär:
Oksidlenme reaksiýasy Si/SiO2 serhedinde bolýar, şonuň üçin oksid gatlagy ulalanda, kremniý yzygiderli sarp edilýär we serhet kem-kemden kremniýiň üstüne girýär. Kremniýiň we kremniý dioksidiniň degişli dykyzlygyna we molekulýar agramyna görä, soňky oksid gatlagynyň galyňlygy üçin sarp edilen kremniýiň 44% -e deňdigini anyklamak bolýar. Şeýlelik bilen, oksid gatlagy 10,000Å ulalsa, 4400Å kremniý sarp ediler. Bu gatnaşyk, emele gelen basgançaklaryň beýikligini hasaplamak üçin möhümdir.kremniý waferBu basgançaklar kremniý plastinkasynyň ýüzüniň dürli ýerlerinde dürli oksidlenme tizliginiň netijesidir.
Şeýle hem, biz okislenme, diffuziýa we ýumşatma ýaly plitalary gaýtadan işlemekde giňden ulanylýan ýokary arassa grafit we kremniý karbid önümlerini hödürleýäris.
Dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilerimizi goşmaça pikir alyşmak üçin bize gelmegiňize hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 13-nji noýabry