يُطلق على تكوين ثاني أكسيد السيليكون على سطحه اسم الأكسدة، وقد أدى إنتاج ثاني أكسيد السيليكون المستقر وشديد الالتصاق إلى ظهور تقنية الدوائر المتكاملة السيليكونية المستوية. على الرغم من وجود طرق عديدة لإنتاج ثاني أكسيد السيليكون مباشرة على سطح السيليكون، إلا أنه عادةً ما يتم ذلك عن طريق الأكسدة الحرارية، أي تعريض السيليكون لبيئة مؤكسدة عالية الحرارة (الأكسجين، الماء). تُمكّن طرق الأكسدة الحرارية من التحكم في سماكة الغشاء وخصائص واجهة السيليكون/ثاني أكسيد السيليكون أثناء تحضير أغشية ثاني أكسيد السيليكون. من التقنيات الأخرى لإنتاج ثاني أكسيد السيليكون الأنودة البلازمية والأنودة الرطبة، ولكن لم تُستخدم أيٌّ من هاتين التقنيتين على نطاق واسع في عمليات دارة السيليكون المتكاملة واسعة النطاق.
يميل السيليكون إلى تكوين ثاني أكسيد السيليكون المستقر. إذا تعرض السيليكون المشقوق حديثًا لبيئة مؤكسدة (مثل الأكسجين أو الماء)، فإنه سيشكل طبقة أكسيد رقيقة جدًا (<20Å) حتى في درجة حرارة الغرفة. عند تعرض السيليكون لبيئة مؤكسدة عند درجة حرارة عالية، ستتولد طبقة أكسيد أكثر سمكًا بمعدل أسرع. الآلية الأساسية لتكوين ثاني أكسيد السيليكون من السيليكون مفهومة جيدًا. طور ديل وغروف نموذجًا رياضيًا يصف بدقة ديناميكيات نمو أغشية الأكسيد التي يزيد سمكها عن 300Å. واقترحا أن الأكسدة تتم بالطريقة التالية، أي أن المؤكسد (جزيئات الماء وجزيئات الأكسجين) ينتشر عبر طبقة الأكسيد الموجودة إلى السطح البيني Si/SiO2، حيث يتفاعل المؤكسد مع السيليكون لتكوين ثاني أكسيد السيليكون. يُوصف التفاعل الرئيسي لتكوين ثاني أكسيد السيليكون كما يلي:
يحدث تفاعل الأكسدة عند السطح البيني Si/SiO2، لذلك عندما تنمو طبقة الأكسيد، يُستهلك السيليكون باستمرار، ويغزو السطح البيني السيليكون تدريجيًا. ووفقًا للكثافة والوزن الجزيئي المقابلين للسيليكون وثاني أكسيد السيليكون، يمكن ملاحظة أن السيليكون المستهلك لسمك طبقة الأكسيد النهائية هو 44%. وبهذه الطريقة، إذا نمت طبقة الأكسيد بمقدار 10,000 أنجستروم، فسيتم استهلاك 4400 أنجستروم من السيليكون. تُعد هذه العلاقة مهمة لحساب ارتفاع الدرجات المُشكَّلة علىرقاقة السيليكون. الخطوات هي نتيجة لمعدلات أكسدة مختلفة في أماكن مختلفة على سطح رقاقة السيليكون.
نحن نوفر أيضًا منتجات الجرافيت عالية النقاء وكربيد السيليكون، والتي تستخدم على نطاق واسع في معالجة الرقاقة مثل الأكسدة والانتشار والتلدين.
نرحب بأي عملاء من جميع أنحاء العالم لزيارتنا لمناقشة أخرى!
https://www.vet-china.com/
وقت النشر: ١٣ نوفمبر ٢٠٢٤