ការបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតនៅលើផ្ទៃស៊ីលីកុនត្រូវបានគេហៅថាអុកស៊ីតកម្ម ហើយការបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតដែលមានស្ថេរភាព និងស្អិតជាប់គ្នាយ៉ាងខ្លាំងបាននាំឱ្យមានកំណើតនៃបច្ចេកវិទ្យាសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាស៊ីលីកុន។ ទោះបីជាមានវិធីជាច្រើនដើម្បីដាំស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតដោយផ្ទាល់នៅលើផ្ទៃស៊ីលីកុនក៏ដោយ ជាធម្មតាវាត្រូវបានធ្វើឡើងដោយអុកស៊ីតកម្មកម្ដៅ ដែលត្រូវបង្ហាញស៊ីលីកុនទៅនឹងបរិស្ថានអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (អុកស៊ីសែន ទឹក)។ វិធីសាស្ត្រអុកស៊ីតកម្មកម្ដៅអាចគ្រប់គ្រងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត និងលក្ខណៈនៃចំណុចប្រទាក់ស៊ីលីកុន/ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតក្នុងអំឡុងពេលរៀបចំខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត។ បច្ចេកទេសផ្សេងទៀតសម្រាប់ដាំស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតគឺអាណូឌីសាស្យុងប្លាស្មា និងអាណូឌីសាស្យុងសើម ប៉ុន្តែបច្ចេកទេសទាំងនេះមិនត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការ VLSI ទេ។
ស៊ីលីកុនបង្ហាញពីទំនោរក្នុងការបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតដែលមានស្ថេរភាព។ ប្រសិនបើស៊ីលីកុនដែលទើបកាត់ថ្មីៗត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងបរិស្ថានអុកស៊ីតកម្ម (ដូចជាអុកស៊ីសែន ទឹក) វានឹងបង្កើតជាស្រទាប់អុកស៊ីតស្តើងណាស់ (<20Å) សូម្បីតែនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ក៏ដោយ។ នៅពេលដែលស៊ីលីកុនត្រូវបានប៉ះពាល់នឹងបរិស្ថានអុកស៊ីតកម្មនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ស្រទាប់អុកស៊ីតក្រាស់ជាងនឹងត្រូវបានបង្កើតក្នុងអត្រាលឿនជាង។ យន្តការមូលដ្ឋាននៃការបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតពីស៊ីលីកុនត្រូវបានយល់យ៉ាងច្បាស់។ Deal និង Grove បានបង្កើតគំរូគណិតវិទ្យាដែលពិពណ៌នាយ៉ាងត្រឹមត្រូវអំពីឌីណាមិកលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីតក្រាស់ជាង 300Å។ ពួកគេបានស្នើថាអុកស៊ីតកម្មត្រូវបានអនុវត្តតាមវិធីដូចខាងក្រោម ពោលគឺអុកស៊ីតកម្ម (ម៉ូលេគុលទឹក និងម៉ូលេគុលអុកស៊ីសែន) សាយភាយតាមរយៈស្រទាប់អុកស៊ីតដែលមានស្រាប់ទៅកាន់ចំណុចប្រទាក់ Si/SiO2 ដែលអុកស៊ីតកម្មមានប្រតិកម្មជាមួយស៊ីលីកុនដើម្បីបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត។ ប្រតិកម្មសំខាន់ដើម្បីបង្កើតស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីតត្រូវបានពិពណ៌នាដូចខាងក្រោម៖
ប្រតិកម្មអុកស៊ីតកម្មកើតឡើងនៅចំណុចប្រសព្វ Si/SiO2 ដូច្នេះនៅពេលដែលស្រទាប់អុកស៊ីដលូតលាស់ ស៊ីលីកុនត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាបន្តបន្ទាប់ ហើយចំណុចប្រសព្វនេះឈ្លានពានស៊ីលីកុនបន្តិចម្តងៗ។ យោងតាមដង់ស៊ីតេ និងទម្ងន់ម៉ូលេគុលដែលត្រូវគ្នានៃស៊ីលីកុន និងស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត វាអាចរកឃើញថាស៊ីលីកុនដែលប្រើប្រាស់សម្រាប់កម្រាស់នៃស្រទាប់អុកស៊ីដចុងក្រោយគឺ 44%។ តាមវិធីនេះ ប្រសិនបើស្រទាប់អុកស៊ីដលូតលាស់ 10,000Å នោះស៊ីលីកុន 4400Å នឹងត្រូវបានប្រើប្រាស់។ ទំនាក់ទំនងនេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការគណនាកម្ពស់នៃជំហានដែលបានបង្កើតឡើងនៅលើ...បន្ទះស៊ីលីកុនជំហានទាំងនេះគឺជាលទ្ធផលនៃអត្រាអុកស៊ីតកម្មផ្សេងៗគ្នានៅកន្លែងផ្សេងៗគ្នានៅលើផ្ទៃបន្ទះស៊ីលីកុន។
យើងក៏ផ្គត់ផ្គង់ផលិតផលក្រាហ្វីត និងស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ផងដែរ ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីដូចជាអុកស៊ីតកម្ម ការសាយភាយ និងការដុត។
សូមស្វាគមន៍អតិថិជនទាំងអស់មកពីជុំវិញពិភពលោកមកទស្សនាយើងខ្ញុំសម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម!
https://www.vet-china.com/
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៣ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៤