ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம்

சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவது ஆக்சிஜனேற்றம் என்று அழைக்கப்படுகிறது, மேலும் நிலையான மற்றும் வலுவாக ஒட்டிக்கொள்ளும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடின் உருவாக்கம், சிலிக்கான் ஒருங்கிணைந்த சுற்று தள தொழில்நுட்பத்தின் பிறப்புக்கு வழிவகுத்தது. சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் நேரடியாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்க்க பல வழிகள் இருந்தாலும், அது பொதுவாக வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் மூலமே செய்யப்படுகிறது. இதில், சிலிக்கானை அதிக வெப்பநிலை கொண்ட ஆக்சிஜனேற்ற சூழலுக்கு (ஆக்ஸிஜன், நீர்) உட்படுத்துவது அடங்கும். சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு படலங்களைத் தயாரிக்கும் போது, ​​வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற முறைகள் படலத்தின் தடிமன் மற்றும் சிலிக்கான்/சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு இடைமுகப் பண்புகளைக் கட்டுப்படுத்த முடியும். சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்ப்பதற்கான மற்ற நுட்பங்கள் பிளாஸ்மா ஆனோடைசேஷன் மற்றும் ஈர ஆனோடைசேஷன் ஆகும், ஆனால் இந்த நுட்பங்களில் எதுவும் VLSI செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படவில்லை.

சிலிக்கான், நிலையான சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்கும் போக்கைக் காட்டுகிறது. புதிதாகப் பிளக்கப்பட்ட சிலிக்கான், ஆக்சிஜன், நீர் போன்ற ஆக்சிஜனேற்றச் சூழலுக்கு உட்படுத்தப்பட்டால், அறை வெப்பநிலையிலேயே மிக மெல்லிய ஆக்சைடு படலத்தை (<20Å) உருவாக்கும். சிலிக்கான் அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்சிஜனேற்றச் சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படும்போது, ​​தடிமனான ஆக்சைடு படலம் மிக வேகமாக உருவாகும். சிலிக்கானிலிருந்து சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவதற்கான அடிப்படை வழிமுறை நன்கு அறியப்பட்டுள்ளது. டீல் மற்றும் குரோவ், 300Å-க்கும் அதிகமான தடிமன் கொண்ட ஆக்சைடு படலங்களின் வளர்ச்சி இயக்கவியலைத் துல்லியமாக விவரிக்கும் ஒரு கணித மாதிரியை உருவாக்கினர். ஆக்சிஜனேற்றம் பின்வரும் வழியில் நடைபெறுகிறது என்று அவர்கள் முன்மொழிந்தனர், அதாவது, ஆக்சிஜனேற்றி (நீர் மூலக்கூறுகள் மற்றும் ஆக்சிஜன் மூலக்கூறுகள்) ஏற்கனவே உள்ள ஆக்சைடு படலத்தின் வழியாக Si/SiO2 இடைமுகத்திற்குப் பரவுகிறது, அங்கு அந்த ஆக்சிஜனேற்றி சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குகிறது. சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்கும் முக்கிய வினை பின்வருமாறு விவரிக்கப்பட்டுள்ளது:

ஆக்சிஜனேற்ற வினையானது Si/SiO2 இடைமுகத்தில் நிகழ்கிறது, எனவே ஆக்சைடு அடுக்கு வளரும்போது, ​​சிலிக்கான் தொடர்ந்து பயன்படுத்தப்பட்டு, இடைமுகம் படிப்படியாக சிலிக்கானால் ஆக்கிரமிக்கப்படுகிறது. சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடின் தொடர்புடைய அடர்த்தி மற்றும் மூலக்கூறு எடையின்படி, இறுதி ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமனுக்காகப் பயன்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் 44% ஆகும் என்பதைக் கண்டறியலாம். இந்த வழியில், ஆக்சைடு அடுக்கு 10,000Å வளர்ந்தால், 4400Å சிலிக்கான் பயன்படுத்தப்படும். இந்தத் தொடர்பு, அதன் மீது உருவாகும் படிகளின் உயரத்தைக் கணக்கிடுவதற்கு முக்கியமானதாகும்.சிலிக்கான் வேஃபர்சிலிக்கான் தகட்டின் மேற்பரப்பில் உள்ள வெவ்வேறு இடங்களில் ஏற்படும் வெவ்வேறு ஆக்சிஜனேற்ற விகிதங்களின் விளைவாக இந்தப் படிகள் உருவாகின்றன.

ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் பதப்படுத்துதல் போன்ற வேஃபர் செயலாக்கத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் தூய்மை கொண்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

மேலதிக கலந்துரையாடலுக்காக, உலகெங்கிலும் உள்ள வாடிக்கையாளர்கள் அனைவரையும் எங்களைச் சந்திக்க வரவேற்கிறோம்!

https://www.vet-china.com/