சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவது ஆக்சிஜனேற்றம் என்று அழைக்கப்படுகிறது, மேலும் நிலையான மற்றும் வலுவாக ஒட்டக்கூடிய சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குவது சிலிக்கான் ஒருங்கிணைந்த சுற்று பிளானர் தொழில்நுட்பத்தின் பிறப்புக்கு வழிவகுத்தது. சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் நேரடியாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்க்க பல வழிகள் இருந்தாலும், இது பொதுவாக வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் மூலம் செய்யப்படுகிறது, அதாவது சிலிக்கானை அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற சூழலுக்கு (ஆக்ஸிஜன், நீர்) வெளிப்படுத்துவதாகும். வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற முறைகள் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு படலங்களைத் தயாரிக்கும் போது படலத்தின் தடிமன் மற்றும் சிலிக்கான்/சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு இடைமுக பண்புகளைக் கட்டுப்படுத்தலாம். சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்ப்பதற்கான பிற நுட்பங்கள் பிளாஸ்மா அனோடைசேஷன் மற்றும் ஈரமான அனோடைசேஷன் ஆகும், ஆனால் இந்த நுட்பங்கள் எதுவும் VLSI செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படவில்லை.
சிலிக்கான் நிலையான சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்கும் போக்கைக் காட்டுகிறது. புதிதாகப் பிளவுபட்ட சிலிக்கான் ஆக்ஸிஜனேற்ற சூழலுக்கு (ஆக்ஸிஜன், நீர் போன்றவை) வெளிப்பட்டால், அது அறை வெப்பநிலையிலும் மிக மெல்லிய ஆக்சைடு அடுக்கை (<20Å) உருவாக்கும். அதிக வெப்பநிலையில் சிலிக்கான் ஆக்ஸிஜனேற்ற சூழலுக்கு வெளிப்படும்போது, ஒரு தடிமனான ஆக்சைடு அடுக்கு வேகமான விகிதத்தில் உருவாக்கப்படும். சிலிக்கானில் இருந்து சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவதற்கான அடிப்படை வழிமுறை நன்கு புரிந்து கொள்ளப்படுகிறது. டீல் மற்றும் க்ரோவ் ஒரு கணித மாதிரியை உருவாக்கினர், இது 300Å ஐ விட தடிமனான ஆக்சைடு படலங்களின் வளர்ச்சி இயக்கவியலை துல்லியமாக விவரிக்கிறது. ஆக்சிஜனேற்றம் பின்வரும் வழியில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது என்று அவர்கள் முன்மொழிந்தனர், அதாவது, ஆக்ஸிஜனேற்றி (நீர் மூலக்கூறுகள் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகள்) ஏற்கனவே உள்ள ஆக்சைடு அடுக்கு வழியாக Si/SiO2 இடைமுகத்திற்கு பரவுகிறது, அங்கு ஆக்ஸிஜனேற்றி சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குகிறது. சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குவதற்கான முக்கிய எதிர்வினை பின்வருமாறு விவரிக்கப்பட்டுள்ளது:
Si/SiO2 இடைமுகத்தில் ஆக்சிஜனேற்ற வினை நிகழ்கிறது, எனவே ஆக்சைடு அடுக்கு வளரும்போது, சிலிக்கான் தொடர்ந்து நுகரப்படுகிறது மற்றும் இடைமுகம் படிப்படியாக சிலிக்கானை ஆக்கிரமிக்கிறது. சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைட்டின் தொடர்புடைய அடர்த்தி மற்றும் மூலக்கூறு எடையின்படி, இறுதி ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமனுக்கு நுகரப்படும் சிலிக்கான் 44% என்பதைக் காணலாம். இந்த வழியில், ஆக்சைடு அடுக்கு 10,000Å வளர்ந்தால், 4400Å சிலிக்கான் நுகரப்படும். இந்த உறவு, படிகளில் உருவாகும் படிகளின் உயரத்தைக் கணக்கிடுவதற்கு முக்கியமானது.சிலிக்கான் வேஃபர்சிலிக்கான் வேஃபர் மேற்பரப்பில் வெவ்வேறு இடங்களில் வெவ்வேறு ஆக்சிஜனேற்ற விகிதங்களின் விளைவாக இந்தப் படிகள் உள்ளன.
ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் அனீலிங் போன்ற வேஃபர் செயலாக்கத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
மேலும் கலந்துரையாடலுக்காக உலகம் முழுவதிலுமிருந்து வரும் எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் எங்களை சந்திக்க வரவேற்கிறோம்!
https://www.vet-china.com/ தமிழ்
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-13-2024