Ìṣẹ̀dá silicon dioxide lórí ojú silicon ni a ń pè ní oxidation, àti ìṣẹ̀dá silicon dioxide tí ó dúró ṣinṣin tí ó sì dì mọ́ra gidigidi yọrí sí ìbí ìmọ̀-ẹ̀rọ circuit planar silicon tí a ṣe àkópọ̀ rẹ̀. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà ló wà láti gbin silicon dioxide tààrà lórí ojú silicon, a sábà máa ń ṣe é nípa oxidation thermal, èyí tí í ṣe láti fi silicon hàn sí àyíká oxidizing tí ó ga (oxygen, water). Àwọn ọ̀nà oxidation thermal lè ṣàkóso ìwọ̀n fíìmù àti àwọn ànímọ́ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ silicon/silicon dioxide nígbà tí a bá ń ṣe àwọn fíìmù silicon dioxide. Àwọn ọ̀nà míràn fún gbígbin silicon dioxide ni anodization plasma àti anodization wet, ṣùgbọ́n kò sí èyíkéyìí nínú àwọn ọ̀nà wọ̀nyí tí a ti lò ní gbogbogbòò nínú àwọn ìlànà VLSI.
Silikoni fi ìtẹ̀sí hàn láti ṣẹ̀dá silikoni dioxide tó dúró ṣinṣin. Tí silikoni tuntun bá fara hàn sí àyíká oxidizing (bíi oxygen, omi), yóò ṣẹ̀dá fẹlẹfẹlẹ oxidation tó tinrin gan-an (<20Å) kódà ní ìwọ̀n otútù yàrá. Nígbà tí silikoni bá fara hàn sí àyíká oxidizing ní ìwọ̀n otútù gíga, a óò ṣẹ̀dá fẹlẹfẹlẹ oxidation tó nípọn ní ìwọ̀n yíyára. A lóye ọ̀nà ìpìlẹ̀ ti ìṣẹ̀dá silikoni dioxide láti inú silikoni dáadáa. Deal and Grove ṣe àgbékalẹ̀ àpẹẹrẹ ìṣirò kan tó ṣàlàyé ìdàgbàsókè àwọn fíìmù oxidation tó nípọn ju 300Å lọ. Wọ́n dábàá pé a ń ṣe oxidation ní ọ̀nà yìí, ìyẹn ni pé, oxidant (àwọn molecule omi àti àwọn molecule oxygen) máa ń tàn káàkiri oxide Layer tó wà tẹ́lẹ̀ sí ojú ọ̀nà Si/SiO2, níbi tí oxidant náà ti ń ṣe àgbékalẹ̀ pẹ̀lú silikoni láti ṣẹ̀dá silikoni dioxide. A ṣe àpèjúwe ìṣe pàtàkì láti ṣẹ̀dá silikoni dioxide gẹ́gẹ́ bí a ṣe ń sọ:
Ìṣẹ̀dá oxidation náà máa ń wáyé ní ojú ọ̀nà Si/SiO2, nítorí náà nígbà tí oxid Layer bá ń dàgbà, a máa ń jẹ silicon nígbà gbogbo, ojú ọ̀nà náà sì máa ń wọ inú silicon díẹ̀díẹ̀. Gẹ́gẹ́ bí ìwọ̀n àti ìwọ̀n molikula ti silicon àti silicon dioxide, a lè rí i pé silicon tí a lò fún sisanra ti oxid Layer ìkẹyìn jẹ́ 44%. Ní ọ̀nà yìí, tí oxid Layer bá dàgbà sí 10,000Å, a ó jẹ 4400Å ti silicon. Ìbáṣepọ̀ yìí ṣe pàtàkì fún ṣíṣírò gíga àwọn ìgbésẹ̀ tí a ṣe lórí oxidation náà.wafer silikoniÀwọn ìgbésẹ̀ náà jẹ́ àbájáde àwọn ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn tó yàtọ̀ síra ní àwọn ibi tó yàtọ̀ síra lórí ojú wafer silicon.
A tun n pese awọn ọja graphite ati silikoni carbide ti o ni mimọ pupọ, eyiti a lo ni lilo pupọ ninu sisẹ wafer bii oxidation, itankale, ati annealing.
Ẹ kí àwọn oníbàárà láti gbogbo àgbáyé káàbọ̀ láti wá bẹ̀ wá wò fún ìjíròrò síwájú síi!
https://www.vet-china.com/
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-13-2024