كرېمنىي دىئوكسىدنىڭ كرېمنىي يۈزىدە شەكىللىنىشى ئوكسىدلىنىش دەپ ئاتىلىدۇ، مۇقىم ۋە كۈچلۈك يېپىشقاق كرېمنىي دىئوكسىدنىڭ شەكىللىنىشى كرېمنىي بىرلەشتۈرۈلگەن تۈزلەڭلىك تېخنىكىسىنىڭ بارلىققا كېلىشىگە سەۋەب بولدى. كرېمنىي دىئوكسىدنى كرېمنىي يۈزىدە بىۋاسىتە ئۆستۈرۈشنىڭ نۇرغۇن ئۇسۇللىرى بولسىمۇ، ئادەتتە ئۇ ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئارقىلىق ئېلىپ بېرىلىدۇ، يەنى كرېمنىينى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا (كىسلاتا، سۇ) دۇچ كەلتۈرۈش. ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئۇسۇللىرى كرېمنىي دىئوكسىد پىلاستىنكىلىرىنى تەييارلاش جەريانىدا پىلاستىنكا قېلىنلىقى ۋە كرېمنىي/كرېمنىي دىئوكسىد يۈزىنىڭ خۇسۇسىيىتىنى كونترول قىلالايدۇ. كرېمنىي دىئوكسىدنى ئۆستۈرۈشنىڭ باشقا ئۇسۇللىرى پلازما ئانودلاشتۇرۇش ۋە ھۆل ئانودلاشتۇرۇش، ئەمما بۇ ئۇسۇللارنىڭ ھېچقايسىسى VLSI جەريانلىرىدا كەڭ قوللىنىلمىغان.
كرېمنىي مۇقىم كرېمنىي دىئوكسىد ھاسىل قىلىشقا مايىل. ئەگەر يېڭى پارچىلانغان كرېمنىي ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا (مەسىلەن، ئوكسىگېن، سۇ) دۇچ كەلسە، ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىمۇ ناھايىتى نېپىز ئوكسىد قەۋىتى (<20Å) ھاسىل قىلىدۇ. كرېمنىي يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا دۇچ كەلگەندە، تېخىمۇ تېز سۈرئەتتە قېلىن ئوكسىد قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ. كرېمنىيدىن كرېمنىي دىئوكسىد ھاسىل بولۇشنىڭ ئاساسىي مېخانىزمى ياخشى چۈشىنىلىدۇ. دىئال ۋە گروۋ 300Å دىن قېلىن ئوكسىد پەردىلىرىنىڭ ئۆسۈش دىنامىكىسىنى توغرا تەسۋىرلەيدىغان ماتېماتىكىلىق مودېلنى ئىجاد قىلدى. ئۇلار ئوكسىدلىنىشنىڭ تۆۋەندىكىدەك ئېلىپ بېرىلىشىنى ئوتتۇرىغا قويدى، يەنى ئوكسىدلىغۇچى ماددا (سۇ مولېكۇلاسى ۋە ئوكسىگېن مولېكۇلاسى) مەۋجۇت ئوكسىد قەۋىتى ئارقىلىق Si/SiO2 چېگرىسىغا تارقىلىدۇ، بۇ يەردە ئوكسىدلىغۇچى كرېمنىي بىلەن رېئاكسىيە قىلىپ كرېمنىي دىئوكسىد ھاسىل قىلىدۇ. كرېمنىي دىئوكسىد ھاسىل بولۇشنىڭ ئاساسلىق رېئاكسىيەسى تۆۋەندىكىدەك تەسۋىرلىنىدۇ:
ئوكسىدلىنىش رېئاكسىيەسى Si/SiO2 چېگرىسىدا يۈز بېرىدۇ، شۇڭا ئوكسىد قەۋىتى چوڭايغاندا، كرېمنىي ئۈزلۈكسىز سەرپ قىلىنىدۇ ۋە چېگرىسى ئاستا-ئاستا كرېمنىيغا تاجاۋۇز قىلىدۇ. كرېمنىي ۋە كرېمنىي دىئوكسىنىڭ ماس كېلىدىغان زىچلىقى ۋە مولېكۇلا ئېغىرلىقىغا ئاساسەن، ئاخىرقى ئوكسىد قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقى ئۈچۈن كرېمنىي سەرپ قىلىنىدىغانلىقى %44 ئىكەنلىكىنى بايقىغىلى بولىدۇ. بۇ ئۇسۇلدا، ئەگەر ئوكسىد قەۋىتى 10،000Å چوڭايسا، 4400Å كرېمنىي سەرپ قىلىنىدۇ. بۇ مۇناسىۋەت، شەكىللەنگەن باسقۇچلارنىڭ ئېگىزلىكىنى ھېسابلاش ئۈچۈن مۇھىم.كرېمنىيلىق пластинаبۇ باسقۇچلار كرېمنىي ۋافېر يۈزىنىڭ ھەر خىل جايلىرىدىكى ئوخشىمايدىغان ئوكسىدلىنىش سۈرئىتىنىڭ نەتىجىسىدۇر.
بىز يەنە يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت ۋە كرېمنىي كاربىد مەھسۇلاتلىرى بىلەن تەمىنلەيمىز، بۇلار ئوكسىدلىنىش، دىففۇزىيە ۋە قىزىتىش قاتارلىق ۋافلا پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
دۇنيانىڭ ھەرقايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ تېخىمۇ كۆپ مۇزاكىرە قىلىش ئۈچۈن بىزگە كېلىشىنى قارشى ئالىمىز!
https://www.vet-china.com/
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 11-ئاينىڭ 13-كۈنى