كرېمنىينىڭ يۈزىدە كرېمنىي تۆت ئوكسىدنىڭ شەكىللىنىشى ئوكسىدلىنىش دەپ ئاتىلىدۇ ، مۇقىم ۋە كۈچلۈك يېپىشقاقلىق كرېمنىي تۆت ئوكسىدنىڭ بارلىققا كېلىشى كرېمنىينىڭ توپلاشتۇرۇلغان توك يولى پىلانى تېخنىكىسىنىڭ بارلىققا كېلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقاردى. گەرچە كرېمنىينىڭ ئوكسىدنى كرېمنىينىڭ يۈزىدە بىۋاسىتە يېتىشتۈرۈشنىڭ نۇرغۇن ئۇسۇللىرى بولسىمۇ ، ئەمما ئۇ ئادەتتە ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئارقىلىق ئېلىپ بېرىلىدۇ ، يەنى كرېمنىينى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا (ئوكسىگېن ، سۇ) ئاشكارىلاش. ئىسسىقلىق ئوكسىدلىنىش ئۇسۇلى كرېمنىي ئوكسىد پىلاستىنكىسى تەييارلاش جەريانىدا فىلىمنىڭ قېلىنلىقى ۋە كرېمنىي / كرېمنىي تۆت ئوكسىد كۆرۈنمە يۈزى ئالاھىدىلىكىنى كونترول قىلالايدۇ. كرېمنىي ئوكسىدنى ئاشۇرۇشنىڭ باشقا تېخنىكىلىرى پلازما ئانودلاش ۋە ھۆل ئانودلاش ، ئەمما بۇ تېخنىكىلارنىڭ ھېچقايسىسى VLSI جەريانلىرىدا كەڭ قوللىنىلمىغان.
كرېمنىي مۇقىم كرېمنىي ئوكسىد ھاسىل قىلىش خاھىشىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ. ئەگەر يېڭىدىن ياسالغان كرېمنىي ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا (ئوكسىگېن ، سۇغا ئوخشاش) تەسىر كۆرسەتسە ، ئۆي تېمپېراتۇرىسىدىمۇ ئىنتايىن نېپىز ئوكسىد قەۋىتى (<20Å) ھاسىل قىلىدۇ. كرېمنىي يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىدلىنىش مۇھىتىغا دۇچ كەلگەندە ، تېخىمۇ تېز سۈرئەتتە تېخىمۇ قويۇق ئوكسىد قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ. كرېمنىيدىن كرېمنىي تۆت ئوكسىد ھاسىل قىلىشنىڭ ئاساسىي مېخانىزمى ياخشى چۈشىنىلدى. دىئال ۋە گروۋ ماتېماتىكىلىق مودېلنى تەتقىق قىلىپ ياساپ چىققان بولۇپ ، ئوكسىد فىلىمىنىڭ ئۆسۈش ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچى 300Å دىن ئېشىپ كەتكەن. ئۇلار ئوكسىدلىنىشنىڭ تۆۋەندىكى ئۇسۇلدا ئېلىپ بېرىلىشىنى ئوتتۇرىغا قويدى ، يەنى ئوكسىدلىنىش (سۇ مولېكۇلاسى ۋە ئوكسىگېن مولېكۇلاسى) ھازىرقى ئوكسىد قەۋىتى ئارقىلىق Si / SiO2 كۆرۈنمە يۈزىگە تارقىلىپ ، ئوكسىد كرېمنىي بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، كرېمنىي ئوكسىد ھاسىل قىلىدۇ. كرېمنىي ئوكسىد ھاسىل قىلىشنىڭ ئاساسلىق ئىنكاسى تۆۋەندىكىدەك تەسۋىرلەنگەن:
ئوكسىدلىنىش رېئاكسىيەسى Si / SiO2 كۆرۈنمە يۈزىدە كۆرۈلىدۇ ، شۇڭا ئوكسىد قەۋىتى ئۆسكەندە كرېمنىي ئۇدا ئىستېمال قىلىنىدۇ ۋە كۆرۈنمە يۈزى ئاستا-ئاستا كرېمنىيغا بېسىپ كىرىدۇ. كىرىمنىي ۋە كرېمنىي تۆت ئوكسىدنىڭ ماس زىچلىقى ۋە مولېكۇلا ئېغىرلىقىغا ئاساسەن ، ئاخىرقى ئوكسىد قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقى ئۈچۈن ئىستېمال قىلىنغان كرېمنىينىڭ% 44 ئىكەنلىكىنى بايقىغىلى بولىدۇ. بۇنداق بولغاندا ، ئوكسىد قەۋىتى 10،000Å ئۆسسە ، 4400Å كرېمنىي ئىستېمال قىلىنىدۇ. بۇ مۇناسىۋەت ، شەكىللەنگەن باسقۇچلارنىڭ ئېگىزلىكىنى ھېسابلاشتا ئىنتايىن مۇھىمكرېمنىيلىق ۋافېر. بۇ باسقۇچلار كرېمنىيلىق ۋافېر يۈزىدىكى ئوخشىمىغان جايلاردىكى ئوكسىدلىنىش نىسبىتىنىڭ نەتىجىسى.
بىز يەنە يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافت ۋە كرېمنىي كاربون مەھسۇلاتلىرى بىلەن تەمىنلەيمىز ، بۇلار ئوكسىدلىنىش ، تارقىلىش ۋە ئۇلاش قاتارلىق ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
دۇنيانىڭ ھەر قايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ بىزنى زىيارەت قىلىپ تېخىمۇ كۆپ مۇلاھىزە قىلىشىنى قارشى ئالىمىز!
https://www.vet-china.com/
يوللانغان ۋاقتى: 11-نويابىردىن 20-نويابىرغىچە