Ho thehoa ha silicon dioxide holim'a silicon ho bitsoa oxidation, 'me ho thehoa ha silicon dioxide e tsitsitseng le e khomarelang ka matla ho lebisitse ho tsoaloeng ha theknoloji ea planar ea potoloho e kopantsoeng ea silicon. Leha ho na le litsela tse ngata tsa ho holisa silicon dioxide ka kotloloho holim'a silicon, hangata ho etsoa ka oxidation ea mocheso, e leng ho pepesetsa silicon tikolohong e nang le oxidizing ea mocheso o phahameng (oksijene, metsi). Mekhoa ea oxidation ea mocheso e ka laola botenya ba filimi le litšobotsi tsa sebopeho sa silicon/silicon dioxide nakong ea ho lokisa lifilimi tsa silicon dioxide. Mekhoa e meng ea ho holisa silicon dioxide ke anodization ea plasma le anodization e metsi, empa ha ho le e 'ngoe ea mekhoa ena e sebelisitsoeng haholo lits'ebetsong tsa VLSI.
Silicon e bontša tšekamelo ea ho theha silicon dioxide e tsitsitseng. Haeba silicon e sa tsoa petsoha e pepesetsoa tikoloho e nang le oxidizing (joalo ka oksijene, metsi), e tla theha lera le lesesaane haholo la oxide (<20Å) esita le mochesong oa kamore. Ha silicon e pepesetsoa tikoloho e nang le oxidizing mochesong o phahameng, lera le teteaneng la oxide le tla hlahisoa ka lebelo le potlakileng. Mokhoa oa motheo oa ho thehoa ha silicon dioxide ho tsoa ho silicon o utloisisoa hantle. Deal le Grove ba thehile mohlala oa lipalo o hlalosang ka nepo matla a kholo a lifilimi tsa oxide tse teteaneng ho feta 300Å. Ba hlahisitse hore oxidizing e etsoe ka tsela e latelang, ke hore, oxidant (limolek'hule tsa metsi le limolek'hule tsa oksijene) e hasane ka lera le teng la oxide ho ea ho sebopeho sa Si/SiO2, moo oxidant e arabelang le silicon ho theha silicon dioxide. Karabelo e kholo ea ho theha silicon dioxide e hlalositsoe ka tsela e latelang:
Karabelo ea oxidation e etsahala sebakeng sa Si/SiO2, kahoo ha lera la oxide le ntse le hola, silicon e ntse e jeoa khafetsa 'me sebaka sa eona se kenella butle-butle ho kena silicon. Ho ea ka bongata bo tsamaellanang le boima ba limolek'hule tsa silicon le silicon dioxide, ho ka fumanoa hore silicon e jeoang bakeng sa botenya ba lera la ho qetela la oxide ke 44%. Ka tsela ena, haeba lera la oxide le hola 10,000Å, 4400Å ea silicon e tla jeoa. Kamano ena e bohlokoa bakeng sa ho bala bolelele ba mehato e entsoeng holim'asekoahelo sa siliconMehato ena ke litholoana tsa sekhahla se fapaneng sa oxidation libakeng tse fapaneng holim'a bokaholimo ba silicon wafer.
Re boetse re fana ka lihlahisoa tsa graphite le silicon carbide tse hloekileng haholo, tse sebelisoang haholo ts'ebetsong ea wafer joalo ka oxidation, diffusion, le annealing.
Amohela bareki ba tsoang lefats'eng lohle ho re etela bakeng sa puisano e 'ngoe!
https://www.vet-china.com/
Nako ea poso: Pulungoana-13-2024