Oxidation Oxidation nke Otu Crystal Silicon

A na-akpọ mmepụta silicon dioxide n'elu silicon oxidation, imepụta silicon dioxide kwụsiri ike ma sie ike dugara na mmalite nke teknụzụ sekit circuit integrated silicon. Ọ bụ ezie na e nwere ọtụtụ ụzọ isi zụlite silicon dioxide ozugbo n'elu silicon, a na-emekarị ya site na oxidation okpomọkụ, nke bụ ikpughe silicon ahụ na gburugburu ebe okpomọkụ dị elu (oxygen, mmiri). Usoro oxidation okpomọkụ nwere ike ijikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ na njirimara njikọ silicon/silicon dioxide n'oge nkwadebe nke ihe nkiri silicon dioxide. Usoro ndị ọzọ maka ịkọ silicon dioxide bụ anodization plasma na anodization mmiri mmiri, mana ejibeghị usoro ndị a ọ bụla n'ime usoro VLSI.

Silicon na-egosi na ọ na-etolite silicon dioxide kwụsiri ike. Ọ bụrụ na silicon a kpụchara ọhụrụ apụta na gburugburu ebe na-eme ka ihe dị ọcha (dịka oxygen, mmiri), ọ ga-emepụta oyi akwa oxide dị gịrịgịrị (<20Å) ọbụlagodi na okpomọkụ ụlọ. Mgbe silicon na-ekpughere gburugburu ebe na-eme ka ihe dị ọcha na okpomọkụ dị elu, a ga-emepụta oyi akwa oxide dị arọ na ọsọ ọsọ. A ghọtara usoro bụ isi nke mmepụta silicon dioxide site na silicon nke ọma. Deal na Grove mepụtara ụdị mgbakọ na mwepụ nke na-akọwa nke ọma usoro uto nke ihe nkiri oxide dị arọ karịa 300Å. Ha tụrụ aro na a na-eme oxidation n'ụzọ a, ya bụ, oxidant (molecule mmiri na molecule oxygen) na-agbasa site na oyi akwa oxide dị adị gaa na njikọ Si/SiO2, ebe oxidant na-emeghachi omume na silicon iji mepụta silicon dioxide. A kọwara mmeghachi omume bụ isi na imepụta silicon dioxide dị ka ndị a:

Mmeghachi omume oxidation na-eme na njikọ Si/SiO2, yabụ mgbe oyi akwa oxide na-eto, a na-eri silicon mgbe niile, njikọ ahụ na-abanyekwa na silicon nwayọ nwayọ. Dịka njupụta na ibu molekul nke silicon na silicon dioxide si dị, a pụrụ ịchọpụta na silicon e riri maka ọkpụrụkpụ nke oyi akwa oxide ikpeazụ bụ 44%. N'ụzọ dị otu a, ọ bụrụ na oyi akwa oxide etoo 10,000Å, a ga-eri 4400Å nke silicon. Mmekọrịta a dị mkpa maka ịgbakọ elu nke nzọụkwụ ndị e guzobere na ya.eriri siliconUsoro ndị a bụ nsonaazụ nke ọnụego oxidation dị iche iche n'ebe dị iche iche na elu silicon wafer.

Anyị na-enyekwa ngwaahịa graphite na silicon carbide dị ọcha nke ukwuu, nke a na-ejikarị eme ihe n'ịhazi wafer dị ka oxidation, diffusion, na annealing.

Nabata ndị ahịa ọ bụla si n'akụkụ ụwa niile ka ha bịa leta anyị maka mkparịta ụka ọzọ!

https://www.vet-china.com/