ການສ້າງຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌ຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງຊິລິກອນເອີ້ນວ່າການຜຸພັງ, ແລະການສ້າງຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌ທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຍຶດຕິດກັນຢ່າງແຂງແຮງໄດ້ນຳໄປສູ່ການເກີດຂອງເທັກໂນໂລຢີວົງຈອນປະສົມປະສານຊິລິກອນ. ເຖິງແມ່ນວ່າມີຫຼາຍວິທີໃນການປູກຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌ໂດຍກົງຢູ່ເທິງໜ້າຜິວຂອງຊິລິກອນ, ແຕ່ມັນມັກຈະເຮັດໂດຍການຜຸພັງດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງແມ່ນການເປີດເຜີຍຊິລິກອນໃຫ້ກັບສະພາບແວດລ້ອມການຜຸພັງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ອົກຊີເຈນ, ນ້ຳ). ວິທີການຜຸພັງດ້ວຍຄວາມຮ້ອນສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມ ແລະ ຄຸນລັກສະນະຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ຊິລິກອນ/ຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌ໃນລະຫວ່າງການກະກຽມຟິມຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌. ເຕັກນິກອື່ນໆສຳລັບການປູກຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌ແມ່ນການອະໂນໄດເຊຊັນໃນພລາສມາ ແລະ ການອະໂນໄດເຊຊັນແບບປຽກ, ແຕ່ບໍ່ມີເຕັກນິກໃດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການ VLSI.
ຊິລິກອນສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງແນວໂນ້ມທີ່ຈະສ້າງຊິລິກອນໄດອອກໄຊທີ່ໝັ້ນຄົງ. ຖ້າຊິລິກອນທີ່ຖືກຕັດໃໝ່ໆຖືກສຳຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມອົກຊີເດຊັນ (ເຊັ່ນ: ອົກຊີເຈນ, ນ້ຳ), ມັນຈະສ້າງຊັ້ນອົກໄຊທີ່ບາງຫຼາຍ (<20Å) ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງກໍຕາມ. ເມື່ອຊິລິກອນຖືກສຳຜັດກັບສະພາບແວດລ້ອມອົກຊີເດຊັນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຊັ້ນອົກໄຊທີ່ໜາກວ່າຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນອັດຕາທີ່ໄວຂຶ້ນ. ກົນໄກພື້ນຖານຂອງການສ້າງຊິລິກອນໄດອອກໄຊຈາກຊິລິກອນແມ່ນເປັນທີ່ເຂົ້າໃຈກັນດີ. Deal ແລະ Grove ໄດ້ພັດທະນາຮູບແບບຄະນິດສາດທີ່ອະທິບາຍຢ່າງຖືກຕ້ອງກ່ຽວກັບການເຄື່ອນໄຫວການເຕີບໂຕຂອງຟິມອົກໄຊທີ່ໜາກວ່າ 300Å. ພວກເຂົາໄດ້ສະເໜີວ່າການອົກຊີເດຊັນແມ່ນດຳເນີນໄປໃນວິທີຕໍ່ໄປນີ້, ນັ້ນຄື, ອົກຊີເດຊັນ (ໂມເລກຸນນ້ຳ ແລະ ໂມເລກຸນອົກຊີເຈນ) ແຜ່ກະຈາຍຜ່ານຊັ້ນອົກໄຊທີ່ມີຢູ່ແລ້ວໄປຫາໜ້າຕໍ່ Si/SiO2, ບ່ອນທີ່ອົກຊີເດຊັນປະຕິກິລິຍາກັບຊິລິກອນເພື່ອສ້າງຊິລິກອນໄດອອກໄຊ. ປະຕິກິລິຍາຫຼັກໃນການສ້າງຊິລິກອນໄດອອກໄຊໄດ້ຖືກອະທິບາຍດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
ປະຕິກິລິຍາອົກຊີເດຊັນເກີດຂຶ້ນຢູ່ທີ່ຊັ້ນ Si/SiO2, ດັ່ງນັ້ນເມື່ອຊັ້ນອົກໄຊດ໌ເຕີບໃຫຍ່ຂຶ້ນ, ຊິລິກອນຈະຖືກບໍລິໂພກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ຊັ້ນອິນເຕີເຟດຈະຄ່ອຍໆບຸກລຸກຊິລິກອນ. ອີງຕາມຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ນ້ຳໜັກໂມເລກຸນທີ່ສອດຄ້ອງກັນຂອງຊິລິກອນ ແລະ ຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌, ສາມາດພົບໄດ້ວ່າຊິລິກອນທີ່ບໍລິໂພກສຳລັບຄວາມໜາຂອງຊັ້ນອົກໄຊດ໌ສຸດທ້າຍແມ່ນ 44%. ດ້ວຍວິທີນີ້, ຖ້າຊັ້ນອົກໄຊດ໌ເຕີບໃຫຍ່ຂຶ້ນ 10,000Å, ຊິລິກອນ 4400Å ຈະຖືກບໍລິໂພກ. ຄວາມສຳພັນນີ້ມີຄວາມສຳຄັນສຳລັບການຄິດໄລ່ຄວາມສູງຂອງຂັ້ນຕອນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນ...ເວເຟີຊິລິກອນຂັ້ນຕອນດັ່ງກ່າວແມ່ນຜົນມາຈາກອັດຕາການຜຸພັງທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢູ່ຈຸດຕ່າງໆເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນ.
ພວກເຮົາຍັງສະໜອງຜະລິດຕະພັນແກຣໄຟ ແລະ ຊິລິກອນຄາໄບດ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີເຊັ່ນ: ການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ ແລະ ການອົບແຫ້ງ.
ຍິນດີຕ້ອນຮັບລູກຄ້າຈາກທົ່ວທຸກມຸມໂລກມາຢ້ຽມຢາມພວກເຮົາເພື່ອສົນທະນາຕື່ມອີກ!
https://www.vet-china.com/
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 13 ພະຈິກ 2024