Кремний өслегендә кремний диоксиды барлыкка килү оксидлашу дип атала, һәм тотрыклы һәм нык ябышучы кремний диоксиды барлыкка килү кремний интеграль схемасы планар технологиясенең тууына китерде. Кремний диоксидын турыдан-туры кремний өслегендә үстерүнең күп ысуллары булса да, ул гадәттә термик оксидлашу юлы белән башкарыла, ягъни кремнийны югары температуралы оксидлашу мохитенә (кислород, су) дучар итү. Термик оксидлашу ысуллары кремний диоксиды пленкаларын әзерләү барышында пленка калынлыгын һәм кремний/кремний диоксиды интерфейсы үзенчәлекләрен контрольдә тота ала. Кремний диоксидын үстерүнең башка ысуллары - плазма анодлаштыру һәм дымлы анодлаштыру, ләкин бу ысулларның берсе дә VLSI процессларында киң кулланылмаган.
Кремний тотрыклы кремний диоксиды барлыкка килүгә омтылыш күрсәтә. Яңа киселгән кремний оксидлашу мохитенә (мәсәлән, кислород, су) дучар ителсә, ул бүлмә температурасында да бик юка оксид катламы (<20Å) барлыкка киләчәк. Кремний югары температурада оксидлашу мохитенә дучар ителсә, тизрәк калынрак оксид катламы барлыкка киләчәк. Кремнийдан кремний диоксиды барлыкка килүнең төп механизмы яхшы аңлашыла. Дил һәм Гров 300Å тан калынрак оксид пленкаларының үсеш динамикасын төгәл тасвирлый торган математик модель эшләделәр. Алар оксидлашу түбәндәгечә башкарыла дип тәкъдим иттеләр, ягъни оксидант (су молекулалары һәм кислород молекулалары) булган оксид катламы аша Si/SiO2 чигенә тарала, анда оксидант кремний белән реакциягә кереп, кремний диоксиды барлыкка китерә. Кремний диоксиды барлыкка килүнең төп реакциясе түбәндәгечә тасвирлана:
Оксидлашу реакциясе Si/SiO2 чикләрендә бара, шуңа күрә оксид катламы үскәндә, кремний өзлексез кулланыла һәм чик әкренләп кремнийга үтеп керә. Кремний һәм кремний диоксидының тыгызлыгы һәм молекуляр авырлыгы буенча, кремнийның соңгы оксид катламы калынлыгы өчен кулланылуы 44% тәшкил итә. Шулай итеп, оксид катламы 10 000 Å үссә, 4400 Å кремний кулланылачак. Бу мөнәсәбәт баскычның биеклеген исәпләү өчен мөһим.кремний пластинасыБу адымнар кремний пластинасы өслегенең төрле урыннарындагы төрле оксидлашу тизлекләре нәтиҗәсе.
Шулай ук без югары сыйфатлы графит һәм кремний карбиды продуктлары белән тәэмин итәбез, алар оксидлашу, диффузия һәм җылыту кебек пластина эшкәртүдә киң кулланыла.
Дөньяның төрле почмакларыннан килгән теләсә нинди клиентларны безгә өстәмә фикер алышу өчен рәхим итегез!
https://www.vet-china.com/
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 13 ноябре