Theko e Tlase ka ho Fetisisa bakeng sa Sehatsetsi sa Graphite sa Boleng bo Holimo sa Chaena bakeng sa Sebōpi sa Polycrystalline Silicon Ingot

Theko e Tlase ka ho Fetisisa bakeng sa Sehatsetsi sa Graphite sa Boleng bo Holimo se Iketselitsoeng sa Chaena bakeng sa Sebōpi sa Polycrystalline Silicon Ingot Setšoantšo se Hlahisitsoeng

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Bohloeki < 5ppm
‣ Ho tšoana hantle ha lithethefatsi
‣ Ho ba le boima bo phahameng le ho khomarela
‣ E na le khanyetso e ntle ea ho thibela ho bola le khabone

‣ Ho iketsetsa maemo ka botsebi
‣ Nako e khutšoanyane ea ho etella pele
‣ Phepelo e tsitsitseng
‣ Taolo ea boleng le ntlafatso e tsoelang pele

Epitaxy ea GaN holim'a Sapphire(RGB/Nyenyane/Di-LED tse nyane);Epitaxy ea GaN holim'a Si Substrate(UVC);Epitaxy ea GaN holim'a Si Substrate(Sesebelisoa sa Elektroniki);Epitaxy ea Si holim'a Si Substrate(Potoloho e kopaneng);Epitaxy ea SiC holim'a SiC Substrate(Sebaka se ka tlase);Epitaxy ea InP ho InP

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Re ntse re tsoela pele ho eketsa le ho ntlafatsa litharollo le tšebeletso ea rona. Ka nako e ts'oanang, re sebetsa ka mafolofolo ho etsa lipatlisiso le ntlafatso bakeng sa Theko e Tlase ka ho Fetisisa bakeng sa Sehatsetsi sa Graphite sa Boleng bo Holimo sa Chaena bakeng sa Sebōpi sa Polycrystalline Silicon Ingot, Khamphani ea rona e ile ea hola ka potlako ka boholo le botumo ka lebaka la boinehelo ba eona bo felletseng tlhahisong ea boleng bo holimo, theko e phahameng ea lihlahisoa le mofani oa bareki ea babatsehang.
Re ntse re tsoela pele ho ntlafatsa le ho ntlafatsa litharollo le tšebeletso ea rona. Ka nako e ts'oanang, re sebetsa ka mafolofolo ho etsa lipatlisiso le ntlafatso bakeng saSebōpi sa ho Futhumatsa sa Graphite sa Chaena, Tšimo ea Thermal ea Graphite, Ke feela bakeng sa ho fihlela sehlahisoa sa boleng bo botle ho fihlela tlhoko ea bareki, lihlahisoa tsohle tsa rona le litharollo li hlahlobiloe ka hloko pele li romelloa. Kamehla re nahana ka potso e ka lehlakoreng la bareki, hobane u hlola, rea hlola!

MOCVD Susceptor ea boleng bo holimo ea 2022 Reka inthaneteng Chaena

Botenya bo Bonahalang:	1.85 g/cm3
Ho hanyetsa motlakase:	11 μΩm
Matla a ho Flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
Ho Tiea ha Lebōpo:	58
Molora:	<5ppm
Ho tsamaisa mocheso:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Wafer ke selae sa silicon se ka bang 1 millimeter se teteaneng se nang le bokaholimo bo bataletseng haholo ka lebaka la mekhoa e hlokang boiteko bo bongata ka botekgeniki. Tšebeliso e latelang e etsa qeto ea hore na ke mokhoa ofe oa ho holisa kristale o lokelang ho sebelisoa. Mokhoeng oa Czochralski, mohlala, silicon ea polycrystalline ea qhibilihisoa 'me kristale ea peo e tšesaane joaloka pentšele e qoelisoa ka har'a silicon e qhibilihisitsoeng. Kristale ea peo e ntan'o potoloha ebe e huleloa holimo butle-butle. Colossus e boima haholo, monocrystal, ea hlaha. Hoa khoneha ho khetha litšobotsi tsa motlakase tsa monocrystal ka ho eketsa li-unit tse nyane tsa li-dopants tse hloekileng haholo. Likristale lia tšeloa ho latela litlhaloso tsa moreki ebe lia bentšitsoe ebe lia khaoloa likoto. Kamora mehato e meng e fapaneng ea tlhahiso, moreki o fumana li-wafer tsa hae tse boletsoeng ka har'a sephutheloana se khethehileng, se lumellang moreki ho sebelisa wafer hang-hang moleng oa eona oa tlhahiso.

Wafer e hloka ho feta mehatong e 'maloa pele e loketse ho sebelisoa lisebelisoa tsa elektroniki. Ts'ebetso e 'ngoe ea bohlokoa ke silicon epitaxy, moo li-wafer li jaroang holim'a li-susceptor tsa graphite. Thepa le boleng ba li-susceptor li na le phello ea bohlokoa boleng ba lera la epitaxial la wafer.

Bakeng sa mekhahlelo e menyenyane ea ho beoa ha filimi joalo ka epitaxy kapa MOCVD, VET e fana ka lisebelisoa tsa graphite tse hloekileng haholo tse sebelisetsoang ho tšehetsa li-substrate kapa "li-wafers". Motheong oa ts'ebetso, lisebelisoa tsena, li-susceptor tsa epitaxy kapa li-platform tsa sathelaete bakeng sa MOCVD, li qala ho beoa tikolohong ea ho beoa ha eona:

Mocheso o phahameng.
Sesebelisoa se phahameng sa ho hloekisa moea.
Tšebeliso ea li-precursors tse matla tsa khase.
Ha ho na tšilafalo, ha ho na ho peoha.
Ho hanyetsa li-acid tse matla nakong ea ts'ebetso ea ho hloekisa