פאַרפּעסטיקונג קוואלן און פאַרהיטונג אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע

פּראָדוקציע פון ​​האַלב-קאָנדוקטאָר דעווייס נעמט דער הויפּט אַרײַן דיסקרעטע דעווייסעס, אינטעגרירטע קרייזן און זייערע פּאַקאַדזשינג פּראָצעסן.
האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע קען ווערן צעטיילט אין דריי סטאַגעס: פּראָדוקט גוף מאַטעריאַל פּראָדוקציע, פּראָדוקטוועיפערפאַבריקאַציע און אַפּאַראַט פֿאַרזאַמלונג. צווישן זיי, די מערסט ערנסטע פאַרפּעסטיקונג איז די פּראָדוקט וועיפער פאַבריקאַציע בינע.
פאַרפּעסטיקונג ווערט דער הויפּט צעטיילט אין אָפּפאַל וואַסער, אָפּפאַל גאַז און האַרטע אָפּפאַל.

טשיפּ פּראָדוקציע פּראָצעס:

סיליקאָן וועיפערנאך אויסערלעכער שלייפן - רייניקונג - אקסידאציע - איינהייטלעכער קעגנשטאנד - פאטאליטאגראפיע - אנטוויקלונג - עטשינג - דיפוזיע, יאן אימפלאנטאציע - כעמישע פארע דעפאזיציע - כעמישע מעכאנישע פאלירונג - מעטאליזאציע, א.א.וו.

 

אָפּפאַל וואַסער

א גרויסע מאָס פון אָפּפאַל וואַסער ווערט גענערירט אין יעדן פּראָצעס שריט פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע און פּאַקאַדזשינג טעסטינג, דער הויפּט זויער-באַזירטע אָפּפאַל וואַסער, אַמאָניאַק-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער און אָרגאַנישע אָפּפאַל וואַסער.

 

1. פלואָר-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער:

הידראָפלאָריק זויער ווערט דער הויפּט סאָלווענט געניצט אין אַקסאַדיישאַן און עטשינג פּראָצעסן צוליב זייַנע אַקסאַדירנדיקע און קעראָוסיוו אייגנשאַפטן. פלאָרין-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער אין דעם פּראָצעס קומט דער הויפּט פון דעם דיפוזיע פּראָצעס און כעמישער מעכאַנישער פּאָלירינג פּראָצעס אין דעם טשיפּ פאַבריקאַציע פּראָצעס. אין דעם רייניקונג פּראָצעס פון סיליקאָן וועיפערס און פֿאַרבונדענע מכשירים, ווערט הידראָקלאָריק זויער אויך געניצט פילע מאָל. אַלע די פּראָצעסן ווערן געענדיקט אין דעדאַקייטאַד עטשינג טאַנקס אָדער רייניקונג ויסריכט, אַזוי קען פלאָרין-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער ווערן אַרויסגעלאָזט זעלבשטענדיק. לויט דער קאָנצענטראַציע, קען עס ווערן צעטיילט אין הויך-קאָנצענטראַציע פלאָרין-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער און נידעריק-קאָנצענטראַציע אַמאָניאַק-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער. בכלל, קען די קאָנצענטראַציע פון ​​הויך-קאָנצענטראַציע אַמאָניאַק-האַלטיקע אָפּפאַל וואַסער דערגרייכן 100-1200 מג/ל. רובֿ קאָמפּאַניעס ריסייקלירן דעם טייל פון אָפּפאַל וואַסער פֿאַר פּראָצעסן וואָס דאַרפן נישט הויך וואַסער קוואַליטעט.

2. זויער-באזע אפוואסער:

כּמעט יעדער פּראָצעס אין דעם אינטעגרירטן קרייז פאַבריקאַציע פּראָצעס ריקווייערז אַז דער טשיפּ זאָל זיין ריין געמאַכט. איצט, שוועבל זויער און וואַסערשטאָף פּעראָקסייד זענען די מערסט אָפט געניצט רייניקונג פליסיקייטן אין דעם אינטעגרירטן קרייז פאַבריקאַציע פּראָצעס. אין דער זעלביקער צייט, זויער-באַזע רעאַגענטן ווי ניטריק זויער, הידראָטשלאָריק זויער און אַמאָניאַק וואַסער ווערן אויך געניצט.
דאס זויער-באזע אפפאל וואסער פונעם פאבריקאציע פראצעס קומט מערסטנס פונעם רייניקונג פראצעס אינעם טשיפּ פאבריקאציע פראצעס. אינעם פאקעט פראצעס ווערט דער טשיפּ באהאנדלט מיט א זויער-באזע לייזונג בעת עלעקטראפלאטינג און כעמישע אנאליז. נאך דער באהאנדלונג דארף מען אים וואשן מיט ריין וואסער כדי צו פראדוצירן זויער-באזע וואש אפפאל וואסער. דערצו ווערן זויער-באזע רעאגענטן ווי נאטריום הידראקסייד און הידראקלארע זויער אויך גענוצט אין דער ריין וואסער סטאנציע כדי צו רעגענערירן אניאן און קאטיון רעסינס כדי צו פראדוצירן זויער-באזע רעגענעראציע אפפאל וואסער. וואש עק וואסער ווערט אויך פראדוצירט בעת דעם זויער-באזע אפפאל גאז וואש פראצעס. אין אינטעגרירטע קרייז פאבריקאציע פירמעס איז די מאס זויער-באזע אפפאל וואסער באזונדערס גרויס.

3. אָרגאַניש אָפּפאַל וואַסער:

צוליב די פֿאַרשידענע פּראָדוקציע פּראָצעסן, איז די מאָס אָרגאַנישע סאָלווענטן וואָס ווערן גענוצט אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע זייער אַנדערש. אָבער, ווי רייניקונגס-אַגענטן, ווערן אָרגאַנישע סאָלווענטן נאָך אַלץ ברייט גענוצט אין פֿאַרשידענע טיילן פֿון פּראָדוקציע-פּאַקאַדזשינג. עטלעכע סאָלווענטן ווערן אָרגאַנישע אָפּפֿאַלוואַסער אַרויסגעלאָזט.

4. אַנדערע אָפּפאַל וואַסער:

דער עטשינג פּראָצעס פון דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע פּראָצעס וועט נוצן אַ גרויסע מאָס אַמאָניאַק, פלאָרין און הויך-ריינקייט וואַסער פֿאַר דעקאַנטאַמאַניישאַן, דערמיט דזשענערייטינג הויך-קאָנצענטראַציע אַמאָניאַק-האַלטיק אָפּפאַל וואַסער אָפּזאָגן.
דער עלעקטראָפּלייטינג פּראָצעס איז נויטיק אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקאַדזשינג פּראָצעס. דער טשיפּ דאַרף ווערן ריין געמאַכט נאָך עלעקטראָפּלייטינג, און עלעקטראָפּלייטינג רייניקונג אָפּפאַל וואַסער וועט ווערן דזשענערירט אין דעם פּראָצעס. ווייל עטלעכע מעטאַלן ווערן גענוצט אין עלעקטראָפּלייטינג, וועלן זיין מעטאַל יאָן ימישאַנז אין דעם עלעקטראָפּלייטינג רייניקונג אָפּפאַל וואַסער, אַזאַ ווי בליי, צין, דיסק, צינק, אַלומינום, אאז"ו ו.

 

אָפּפאַל גאַז

זינט דער האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס האט גאָר הויכע פאָדערונגען פֿאַר דער ריינקייט פֿון דעם אָפּעראַציע-צימער, ווערן געוויינטלעך פֿענטילאַטאָרן געניצט צו עקסטראַקטירן פֿאַרשידענע טיפּן אָפּפֿאַל-גאַזן וואָס ווערן פֿאַרפֿליכטעט בעת דעם פּראָצעס. דעריבער, ווערן די אָפּפֿאַל-גאַז-עמיסיעס אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע כאַראַקטעריזירט דורך אַ גרויסן אויספּוסט-וואָלומען און אַ נידעריקע עמיסיע-קאָנצענטראַציע. אָפּפֿאַל-גאַז-עמיסיעס ווערן אויך מערסטנס פֿאַרפֿליכטעט.
די אפפאל גאז אויסשטויסן קענען הויפטזעכלעך צעטיילט ווערן אין פיר קאטעגאריעס: זויער גאז, אַלקאַליין גאז, אָרגאַניש אפפאל גאז און טאַקסיק גאז.

1. זויער-באזע אפפאל גאז:

זויער-באזע אפפאל גאז קומט מערסטנס פון דיפוזיע,קאַרדיאָוואַסקולאַרע קרענק (CVD), CMP און עטשינג פּראָצעסן, וואָס נוצן זויער-באַזע רייניקונג לייזונג צו רייניקן די וועיפער.
איצט, די מערסט אָפט געניצטע רייניקונג סאָלווענט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע פּראָצעס איז אַ געמיש פון הידראָגען פּעראָקסייד און שוועבל זויער.
דער אפפאל גאז וואס ווערט גענערירט אין די פראצעסן נעמט אריין זויערע גאזן ווי שוועבל זויער, הידראָפלאָר זויער, הידראָכלאָריק זויער, שטיקשטאָף זויער און פאָספאָר זויער, און דער אַלקאַלישער גאַז איז הויפּטזעכלעך אַמאָניאַק.

2. אָרגאַנישע אָפּפאַל גאַז:

אָרגאַנישע אָפּפאַל גאַז קומט הויפּטזעכלעך פֿון פּראָצעסן ווי פֿאָטאָליטאָגראַפֿיע, אַנטוויקלונג, עטשינג און דיפֿוזיע. אין די פּראָצעסן ווערט גענוצט אָרגאַנישע לייזונג (ווי איזאָפּראָפּיל אַלקאָהאָל) צו רייניקן די ייבערפֿלאַך פֿון דער וועיפֿער, און דער אָפּפאַל גאַז וואָס ווערט גענערירט דורך פֿאַרפֿליכטונג איז איינע פֿון די מקורים פֿון אָרגאַנישן אָפּפאַל גאַז;
אין דער זעלבער צייט, דער פאָטאָרעזיסט (פאָטאָרעזיסט) וואָס ווערט גענוצט אין דעם פּראָצעס פון פאָטאָליטאָגראַפי און עטשינג כּולל וואַלאַטאַל אָרגאַנישע סאָלווענטן, ווי בוטיל אַצעטאַט, וואָס פאַרפלייכט זיך אין דער אַטמאָספער בעת דעם וועיפער פּראַסעסינג פּראָצעס, וואָס איז נאָך אַ מקור פון אָרגאַנישן אָפּפאַל גאַז.

3. טאַקסישע אָפּפאַל גאַז:

טאַקסישע אָפּפאַל גאַז קומט הויפּטזעכלעך פֿון פּראָצעסן ווי קריסטאַל עפּיטאַקסי, טרוקן עטשינג און CVD. אין די פּראָצעסן, ווערן אַ פֿאַרשיידנקייט פֿון הויך-ריינהייט ספּעציעלע גאַזן געניצט צו פּראָצעסירן די וועיפער, ווי סיליקאָן (SiHj), פֿאָספֿאָר (PH3), קאַרבאָן טעטראַטשלאָריד (CFJ), באָראַן, באָראָן טריאָקסייד, אאַז"וו. עטלעכע ספּעציעלע גאַזן זענען טאַקסיק, דערשטיקנדיק און קאָראָזיוו.
אין דער זעלבער צייט, אין דעם טרוקענעם עטשינג און רייניקונג פּראָצעס נאָך כעמישע פארע דעפּאַזישאַן אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, איז אַ גרויסע מאָס פון פול אָקסייד (PFCS) גאַז נויטיק, אַזאַ ווי NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, עטק. די פּערפלאָרינירטע קאַמפּאַונדז האָבן אַ שטאַרקע אַבזאָרפּציע אין דער אינפראַרעד ליכט געגנט און בלייבן אין דער אַטמאָספער פֿאַר אַ לאַנגע צייט. זיי ווערן בכלל באַטראַכט ווי די הויפּט מקור פון דעם גלאָבאַלן גרינכאַוס ווירקונג.

4. פּאַקקאַגינג פּראָצעס אָפּפאַל גאַז:

קאַמפּערד מיט די האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, די וויסט גאַז דזשענערייטאַד דורך די האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקקאַגינג פּראָצעס איז לעפיערעך פּשוט, דער הויפּט זויער גאַז, עפּאָקסי סמאָלע און שטויב.
זויערער אפפאל גאז ווערט בעיקר גענערירט אין פראצעסן ווי עלעקטראפלאטינג;
באַקן אָפּפאַל גאַז איז דזשענערייטאַד אין דעם פּראָצעס פון באַקן נאָך פּראָדוקט פּאַסטינג און סילינג;
די קאַטינג מאַשין דזשענערירט אָפּפאַל גאַז וואָס כּולל שפּורן פון סיליקאָן שטויב בעת דעם וועיפער שנייד פּראָצעס.

 

ענווייראָנמענטאַלע פאַרפּעסטיקונג פּראָבלעמען

פֿאַר די ענווייראָנמענטאַלע פאַרפּעסטיקונג פּראָבלעמען אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, די הויפּט פּראָבלעמען וואָס דאַרפֿן צו ווערן געלייזט זענען:
· גרויס-מאָסשטאַביגע אויסלאָז פון לופט-פאַרפּעסטיקונג און וואַלאַטאַלע אָרגאַנישע קאַמפּאַונדז (VOCs) אין דעם פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס;
· אויסשטויס פון פּערפֿלאָרירטע קאַמפּאַונדז (PFCS) אין פּלאַזמע עטשינג און כעמישע דאַמפֿ דעפּאָזיציע פּראָצעסן;
· גרויס-מאָסשטאַביגע קאָנסומאַציע פון ​​ענערגיע און וואַסער אין פּראָדוקציע און זיכערהייט שוץ פון אַרבעטער;
· ריסייקלינג און פארפּעסטיקונג מאָניטאָרינג פון ביי-פּראָדוקטן;
· פראבלעמען פון ניצן געפערלעכע כעמיקאלן אין פאקעדזש פראצעסן.

 

ריינע פּראָדוקציע

די ריינע פּראָדוקציע טעכנאָלאָגיע פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס קען פֿאַרבעסערט ווערן פֿון די אַספּעקטן פֿון רוי מאַטעריאַלן, פּראָצעסן און פּראָצעס קאָנטראָל.

 

פֿאַרבעסערן רוי מאַטעריאַלן און ענערגיע

ערשטנס, זאָל די ריינקייט פון מאַטעריאַלן שטרענג קאָנטראָלירט ווערן צו רעדוצירן די איינפיר פון אומריינקייטן און פּאַרטיקלען.
צווייטנס, פארשידענע טעמפּעראַטור, ליק דעטעקציע, ווייבריישאַן, הויך-וואָולטידזש עלעקטרישע קלאַפּ און אַנדערע טעסץ זאָלן דורכגעפירט ווערן אויף די אנקומענדיקע קאָמפּאָנענטן אָדער האַלב-פאַרטיקע פּראָדוקטן איידער זיי ווערן געשטעלט אין פּראָדוקציע.
דערצו, זאָל די ריינקייט פון הילפסמאַטעריאַלן שטרענג קאָנטראָלירט ווערן. עס זענען פאַראַן רעלאַטיוו פיל טעכנאָלאָגיעס וואָס קענען גענוצט ווערן פֿאַר ריינע פּראָדוקציע פון ​​ענערגיע.

 

אָפּטימיזירן פּראָדוקציע פּראָצעס

די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע אַליין שטרעבט צו רעדוצירן איר השפּעה אויף דער סביבה דורך פֿאַרבעסערונגען אין פּראָצעס טעכנאָלאָגיע.
למשל, אין די 1970ער יארן, זענען ארגאנישע סאָלווענטן מערסטנס געניצט געוואָרן צו רייניקן וועיפערס אין דער אינטעגרירטער קרייז רייניקונג טעכנאָלאָגיע. אין די 1980ער יארן, זענען זויערע און אַלקאַלי לייזונגען ווי שוועבל זויער געניצט געוואָרן צו רייניקן וועיפערס. ביז די 1990ער יארן, איז פּלאַזמע זויערשטאָף רייניקונג טעכנאָלאָגיע אַנטוויקלט געוואָרן.
אין טערמינען פון פּאַקאַדזשינג, נוצן רובֿ קאָמפּאַניעס איצט עלעקטראָפּלייטינג טעכנאָלאָגיע, וואָס וועט פאַרשאַפן שווערע מעטאַל פאַרפּעסטיקונג צו דער סביבה.
אבער, פּאַקאַדזשינג פאַבריקן אין שאַנגהאַי נוצן שוין נישט עלעקטראָפּלייטינג טעכנאָלאָגיע, אַזוי עס איז נישטאָ קיין השפּעה פון שווערע מעטאַלן אויף דער סביבה. מען קען געפֿינען אַז די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע רעדוצירט ביסלעכווייַז איר השפּעה אויף דער סביבה דורך פּראָצעס פֿאַרבעסערונגען און כעמישע סאַבסטיטוציע אין איר אייגענעם אַנטוויקלונג פּראָצעס, וואָס פֿאָלגט אויך די איצטיקע גלאָבאַלע אַנטוויקלונג טרענד פון אַדוואָקירן פּראָצעס און פּראָדוקט פּלאַן באַזירט אויף דער סביבה.

 

איצט ווערן דורכגעפירט מער לאקאלע פראצעס פארבעסערונגען, אריינגערעכנט:

·ערזאַץ און רעדוקציע פון ​​גאָר-אַמאָניום PFCS גאַז, אַזאַ ווי ניצן PFCs גאַז מיט נידעריק גרין־הויז־עפעקט צו פאַרבייַטן גאַז מיט הויך גרין־הויז־עפעקט, אַזאַ ווי פֿאַרבעסערן פּראָצעס־פֿלוס און רעדוצירן די מאָס PFCS גאַז געניצט אין דעם פּראָצעס;
· פֿאַרבעסערן מולטי-ווייפער רייניקונג צו איין-ווייפער רייניקונג צו רעדוצירן די סומע פון ​​כעמישע רייניקונג אגענטן געניצט אין דעם רייניקונג פּראָצעס.
· שטרענגע פּראָצעס קאָנטראָל:
א. רעאַליזירן אויטאָמאַטיזאַציע פון ​​פאַבריקאַציע פּראָצעס, וואָס קען רעאַליזירן פּינקטלעכע פּראַסעסינג און באַטש פּראָדוקציע, און רעדוצירן די הויך טעות קורס פון מאַנועל אָפּעראַציע;
ב. אולטרא-ריינע פּראָצעס סביבה פאַקטאָרן, וועגן 5% אָדער ווייניקער פון די פּראָדוקציע אָנווער איז געפֿירט דורך מענטשן און סביבה. אולטרא-ריינע פּראָצעס סביבה פאַקטאָרן דער הויפּט אַרייַננעמען לופט ריינקייט, הויך-ריינקייט וואַסער, קאַמפּרעסט לופט, CO2, N2, טעמפּעראַטור, הומידיטי, עטק. די ריינקייט מדרגה פון אַ ריין וואַרשטאַט איז אָפט געמאסטן דורך די מאַקסימום נומער פון פּאַרטיקאַלז ערלויבט פּער אַפּאַראַט באַנד פון לופט, דאָס הייסט, פּאַרטיקל צייל קאַנסאַנטריישאַן;
ג. פארשטארקן דעטעקציע, און אויסקלויבן פאסיגע שליסל פונקטן פאר דעטעקציע ביי ארבעטס-סטאנציעס מיט גרויסע מאסן אפפאל בעת דעם פראדוקציע פראצעס.

 

באַגריסן קיין קאַסטאַמערז פון אַלע איבער דער וועלט צו באַזוכן אונדז פֿאַר אַ ווייטערדיקע דיסקוסיע!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j