سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري صنعت ۾ آلودگي جا ذريعا ۽ روڪٿام

سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي پيداوار ۾ بنيادي طور تي ڊسڪريٽ ڊوائيسز، انٽيگريٽڊ سرڪٽ ۽ انهن جي پيڪنگنگ عمل شامل آهن.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار کي ٽن مرحلن ۾ ورهائي سگهجي ٿو: پيداوار جي جسم جي مواد جي پيداوار، پيداوارويفرپيداوار ۽ ڊوائيس اسيمبلي. انهن مان، سڀ کان وڌيڪ سنگين آلودگي پراڊڪٽ ويفر جي پيداوار جو مرحلو آهي.
آلودگي کي بنيادي طور تي گندو پاڻي، فضول گئس ۽ سخت فضول ۾ ورهايو ويو آهي.

چپ ٺاهڻ جو عمل:

سلڪون ويفرٻاهرين پيسڻ کان پوءِ - صفائي - آڪسائيڊيشن - يونيفارم ريزسٽ - فوٽو ليٿوگرافي - ڊولپمينٽ - ايچنگ - ڊفيوژن، آئن امپلانٽيشن - ڪيميڪل وانپ جمع ڪرڻ - ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ - ميٽلائيزيشن، وغيره.

 

گندو پاڻي

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۽ پيڪنگنگ ٽيسٽنگ جي هر عمل جي مرحلي ۾ وڏي مقدار ۾ گندو پاڻي پيدا ٿئي ٿو، خاص طور تي تيزابي بنياد وارو گندو پاڻي، امونيا تي مشتمل گندو پاڻي ۽ نامياتي گندو پاڻي.

 

1. فلورين تي مشتمل گندو پاڻي:

هائيڊروفلورڪ ايسڊ پنهنجي آڪسائيڊائيزنگ ۽ corrosive خاصيتن جي ڪري آڪسائيڊيشن ۽ ايچنگ جي عملن ۾ استعمال ٿيندڙ مکيه محلول بڻجي ويندو آهي. عمل ۾ فلورين تي مشتمل گندو پاڻي بنيادي طور تي چپ ٺاهڻ جي عمل ۾ پکيڙ جي عمل ۽ ڪيميائي ميڪيڪل پالشنگ جي عمل مان ايندو آهي. سلڪون ويفرز ۽ لاڳاپيل برتنن جي صفائي جي عمل ۾، هائيڊروڪلورڪ ايسڊ پڻ ڪيترائي ڀيرا استعمال ڪيو ويندو آهي. اهي سڀئي عمل وقف ٿيل ايچنگ ٽينڪن يا صفائي جي سامان ۾ مڪمل ڪيا ويندا آهن، تنهنڪري فلورين تي مشتمل گندو پاڻي آزاديءَ سان خارج ڪري سگهجي ٿو. ڪنسنٽريشن جي مطابق، ان کي اعليٰ ڪنسنٽريشن فلورين تي مشتمل گندو پاڻي ۽ گهٽ ڪنسنٽريشن امونيا تي مشتمل گندو پاڻي ۾ ورهائي سگهجي ٿو. عام طور تي، اعليٰ ڪنسنٽريشن امونيا تي مشتمل گندو پاڻي جو ڪنسنٽريشن 100-1200 mg/L تائين پهچي سگهي ٿو. گهڻيون ڪمپنيون گندي پاڻي جي هن حصي کي انهن عملن لاءِ ري سائيڪل ڪن ٿيون جن کي اعليٰ پاڻي جي معيار جي ضرورت ناهي.

2. تيزابي بنياد وارو گندو پاڻي:

انٽيگريٽڊ سرڪٽ ٺاهڻ جي عمل ۾ تقريبن هر عمل لاءِ چپ کي صاف ڪرڻ جي ضرورت هوندي آهي. هن وقت، سلفورڪ ايسڊ ۽ هائيڊروجن پيرو آڪسائيڊ انٽيگريٽڊ سرڪٽ ٺاهڻ جي عمل ۾ سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ صفائي جا سيال آهن. ساڳئي وقت، نائٽرڪ ايسڊ، هائيڊروڪلورڪ ايسڊ ۽ امونيا پاڻي جهڙا ايسڊ بيس ري ايجنٽس پڻ استعمال ڪيا ويندا آهن.
پيداوار جي عمل جو تيزابي بنياد وارو گندو پاڻي بنيادي طور تي چپ جي پيداوار جي عمل ۾ صفائي جي عمل مان ايندو آهي. پيڪنگنگ جي عمل ۾، چپ کي اليڪٽروپليٽنگ ۽ ڪيميائي تجزيي دوران تيزابي بنياد واري محلول سان علاج ڪيو ويندو آهي. علاج کان پوءِ، ان کي خالص پاڻي سان ڌوئڻ جي ضرورت آهي ته جيئن تيزابي بنياد واري ڌوئڻ واري گندي پاڻي پيدا ٿئي. ان کان علاوه، تيزابي بنياد واري ريجنٽ جهڙوڪ سوڊيم هائيڊروڪسائيڊ ۽ هائيڊروڪلورڪ ايسڊ پڻ خالص پاڻي اسٽيشن ۾ اينين ​​۽ ڪيشن ريجن کي ٻيهر پيدا ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن ته جيئن تيزابي بنياد واري بحالي واري گندي پاڻي پيدا ٿئي. واشنگ ٽيل واٽر پڻ تيزابي بنياد واري فضول گئس جي ڌوئڻ جي عمل دوران پيدا ڪيو ويندو آهي. انٽيگريٽڊ سرڪٽ ٺاهيندڙ ڪمپنين ۾، تيزابي بنياد واري گندي پاڻي جي مقدار خاص طور تي وڏي هوندي آهي.

3. نامياتي گندو پاڻي:

مختلف پيداواري عملن جي ڪري، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ استعمال ٿيندڙ نامياتي محلولن جو مقدار تمام گهڻو مختلف آهي. جڏهن ته، صفائي جي ايجنٽ جي طور تي، نامياتي محلول اڃا تائين پيداوار جي پيڪنگنگ جي مختلف لنڪس ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن. ڪجهه محلول نامياتي گندي پاڻي جي خارج ٿيڻ ۾ تبديل ٿي ويندا آهن.

4. ٻيو گندو پاڻي:

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل جي ايچنگ عمل ۾ وڏي مقدار ۾ امونيا، فلورين ۽ اعليٰ پاڪائي وارو پاڻي استعمال ڪيو ويندو ته جيئن آلودگي کي ختم ڪري سگهجي، جنهن سان امونيا تي مشتمل گندو پاڻي خارج ٿيندو.
سيمي ڪنڊڪٽر پيڪنگنگ جي عمل ۾ اليڪٽروپليٽنگ جو عمل ضروري آهي. اليڪٽروپليٽنگ کان پوءِ چپ کي صاف ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ هن عمل ۾ اليڪٽروپليٽنگ صفائي جو گندو پاڻي پيدا ٿيندو. جيئن ته ڪجهه ڌاتو اليڪٽروپليٽنگ ۾ استعمال ٿيندا آهن، اليڪٽروپليٽنگ صفائي جي گندي پاڻي ۾ ڌاتو آئن جو اخراج ٿيندو، جهڙوڪ ليڊ، ٽين، ڊسڪ، زنڪ، ايلومينيم، وغيره.

 

فضول گئس

جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر جي عمل ۾ آپريٽنگ روم جي صفائي لاءِ انتهائي اعليٰ گهرجون هونديون آهن، تنهن ڪري پنکھا عام طور تي عمل دوران مختلف قسم جي فضول گيسن کي ڪڍڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن. تنهن ڪري، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ فضول گيسن جو اخراج وڏي مقدار ۾ خارج ٿيڻ ۽ گهٽ اخراج ڪنسنٽريشن سان منسوب ڪيو ويندو آهي. فضول گيسن جو اخراج پڻ بنيادي طور تي غير مستحڪم هوندو آهي.
انهن فضول گيسن جي اخراج کي بنيادي طور تي چئن ڀاڱن ۾ ورهائي سگهجي ٿو: تيزابي گيس، الڪلائن گيس، نامياتي فضول گيس ۽ زهريلي گيس.

1. تيزابي بنياد واري فضول گئس:

تيزابي بنياد واري فضول گيس بنيادي طور تي پکيڙ مان ايندي آهي،سي وي ڊي، سي ايم پي ۽ ايچنگ عمل، جيڪي ويفر کي صاف ڪرڻ لاءِ تيزابي بنياد جي صفائي جي حل کي استعمال ڪن ٿا.
هن وقت، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي عمل ۾ سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ صفائي محلول هائيڊروجن پيرو آڪسائيڊ ۽ سلفورڪ ايسڊ جو مرکب آهي.
انهن عملن ۾ پيدا ٿيندڙ فضول گئس ۾ تيزابي گئسون شامل آهن جهڙوڪ سلفورڪ ايسڊ، هائيڊروفلورڪ ايسڊ، هائيڊروڪلورڪ ايسڊ، نائٽرڪ ايسڊ ۽ فاسفورڪ ايسڊ، ۽ الڪائن گئس بنيادي طور تي امونيا آهي.

2. نامياتي فضلو گئس:

نامياتي فضلي گيس بنيادي طور تي فوٽو ليٿوگرافي، ترقي، ايچنگ ۽ ڊفيوژن جهڙن عملن مان ايندي آهي. انهن عملن ۾، نامياتي محلول (جهڙوڪ آئسوپروپيل الڪوحل) ويفر جي مٿاڇري کي صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ اتار چڙهڻ سان پيدا ٿيندڙ فضلي گيس نامياتي فضلي گيس جي ذريعن مان هڪ آهي؛
ساڳئي وقت، فوٽو ليٿوگرافي ۽ ايچنگ جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ فوٽو ريزسٽ (فوٽو ريزسٽ) ۾ غير مستحڪم نامياتي محلول شامل آهن، جهڙوڪ بائيٽل ايسٽيٽ، جيڪو ويفر پروسيسنگ جي عمل دوران فضا ۾ غير مستحڪم ٿئي ٿو، جيڪو نامياتي فضلي گئس جو هڪ ٻيو ذريعو آهي.

3. زهريلي فضلو گيس:

زهريلي فضول گيس بنيادي طور تي ڪرسٽل ايپيٽيڪسي، ڊرائي ايچنگ ۽ سي وي ڊي جهڙن عملن مان ايندي آهي. انهن عملن ۾، ويفر کي پروسيس ڪرڻ لاءِ مختلف قسم جون اعليٰ پاڪيزگي واريون خاص گيسون استعمال ڪيون وينديون آهن، جهڙوڪ سلڪون (SiHj)، فاسفورس (PH3)، ڪاربن ٽيٽرا ڪلورائڊ (CFJ)، بورين، بوران ٽرائي آڪسائيڊ، وغيره. ڪجهه خاص گيسون زهريلي، دم گھُٽائيندڙ ۽ corrosive آهن.
ساڳئي وقت، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڪيميائي بخارات جي جمع ٿيڻ کان پوءِ خشڪ ايچنگ ۽ صفائي جي عمل ۾، وڏي مقدار ۾ مڪمل آڪسائيڊ (PFCS) گئس جي ضرورت هوندي آهي، جهڙوڪ NFS، C2F&CR، C3FS، CHF3، SF6، وغيره. اهي پرفلورينٽ ٿيل مرڪب انفراريڊ روشني واري علائقي ۾ مضبوط جذب هوندا آهن ۽ گهڻي وقت تائين فضا ۾ رهندا آهن. انهن کي عام طور تي عالمي گرين هائوس اثر جو مکيه ذريعو سمجهيو ويندو آهي.

4. پيڪنگ جي عمل ۾ ضايع ٿيندڙ گئس:

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل جي مقابلي ۾، سيمي ڪنڊڪٽر پيڪنگنگ جي عمل ذريعي پيدا ٿيندڙ فضول گئس نسبتاً سادو آهي، خاص طور تي تيزابي گئس، ايپوڪسي رال ۽ مٽي.
تيزابي فضول گيس بنيادي طور تي اليڪٽروپليٽنگ جهڙن عملن ۾ پيدا ٿيندي آهي.
پراڊڪٽ پيسٽ ڪرڻ ۽ سيل ڪرڻ کان پوءِ بيڪنگ جي عمل ۾ بيڪنگ فضول گئس پيدا ٿيندي آهي؛
ڊائسنگ مشين ويفر ڪٽڻ جي عمل دوران ٽريس سلڪون ڊسٽ تي مشتمل فضول گئس پيدا ڪري ٿي.

 

ماحولياتي آلودگي جا مسئلا

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ ماحولياتي آلودگي جي مسئلن لاءِ، مکيه مسئلا جيڪي حل ڪرڻ جي ضرورت آهي اهي آهن:
· ڦوٽوليٿوگرافي جي عمل ۾ هوائي آلودگي ۽ غير مستحڪم نامياتي مرڪب (VOCs) جو وڏي پيماني تي اخراج؛
پلازما ايچنگ ۽ ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ جي عملن ۾ پرفلورينٽيڊ مرڪب (PFCS) جو اخراج؛
· پيداوار ۾ توانائي ۽ پاڻي جو وڏي پيماني تي استعمال ۽ مزدورن جي حفاظت؛
· ضمني شين جي ري سائيڪلنگ ۽ آلودگي جي نگراني؛
· پيڪنگ جي عملن ۾ خطرناڪ ڪيميڪلز جي استعمال جا مسئلا.

 

صاف پيداوار

سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس صاف پيداوار ٽيڪنالاجي کي خام مال، عملن ۽ عمل جي ڪنٽرول جي پهلوئن کان بهتر بڻائي سگهجي ٿو.

 

خام مال ۽ توانائي کي بهتر بنائڻ

پهرين، مواد جي پاڪائي کي سختي سان ڪنٽرول ڪيو وڃي ته جيئن نجاست ۽ ذرڙن جي تعارف کي گهٽائي سگهجي.
ٻيو، مختلف گرمي پد، ليڪ جي ڳولا، وائبريشن، هاءِ وولٽيج برقي جھٽڪو ۽ ٻيا ٽيسٽ ايندڙ حصن يا نيم تيار ٿيل شين تي پيداوار ۾ آڻڻ کان اڳ ڪيا وڃن.
ان کان علاوه، معاون مواد جي پاڪائي کي سختي سان ڪنٽرول ڪيو وڃي. نسبتاً ڪيتريون ئي ٽيڪنالاجيون آهن جيڪي توانائي جي صاف پيداوار لاءِ استعمال ڪري سگهجن ٿيون.

 

پيداوار جي عمل کي بهتر بڻايو

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري پاڻ پروسيس ٽيڪنالاجي جي بهتري ذريعي ماحول تي پنهنجي اثر کي گهٽائڻ جي ڪوشش ڪري ٿي.
مثال طور، 1970 جي ڏهاڪي ۾، نامياتي محلول خاص طور تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ صفائي ٽيڪنالاجي ۾ ويفرز کي صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا هئا. 1980 جي ڏهاڪي ۾، تيزاب ۽ الڪلي محلول جهڙوڪ سلفورڪ ايسڊ ويفرز کي صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا هئا. 1990 جي ڏهاڪي تائين، پلازما آڪسيجن صفائي ٽيڪنالاجي ترقي ڪئي وئي.
پيڪنگنگ جي لحاظ کان، اڪثر ڪمپنيون هن وقت اليڪٽروپليٽنگ ٽيڪنالاجي استعمال ڪن ٿيون، جيڪا ماحول ۾ ڳري ڌاتو جي آلودگي جو سبب بڻجندي.
جڏهن ته، شنگھائي ۾ پيڪنگنگ پلانٽ هاڻي اليڪٽروپليٽنگ ٽيڪنالاجي استعمال نٿا ڪن، تنهنڪري ماحول تي ڳري ڌاتو جو ڪو به اثر نه آهي. اهو ڏسي سگهجي ٿو ته سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري پنهنجي ترقي جي عمل ۾ عمل جي بهتري ۽ ڪيميائي متبادل ذريعي ماحول تي پنهنجي اثر کي بتدريج گهٽائي رهي آهي، جيڪو ماحول جي بنياد تي عمل ۽ پيداوار جي ڊيزائن جي وڪالت جي موجوده عالمي ترقي جي رجحان جي پيروي ڪري ٿو.

 

هن وقت، وڌيڪ مقامي عمل ۾ بهتري ڪئي پئي وڃي، جنهن ۾ شامل آهن:

· آل-امونيم PFCS گيس جي متبادل ۽ گهٽتائي، جيئن ته گهٽ گرين هائوس اثر واري PFCs گيس کي استعمال ڪندي گئس کي وڌيڪ گرين هائوس اثر سان تبديل ڪرڻ، جيئن ته عمل جي وهڪري کي بهتر بڻائڻ ۽ عمل ۾ استعمال ٿيندڙ PFCS گيس جي مقدار کي گهٽائڻ؛
· صفائي جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ ڪيميائي صفائي جي ايجنٽن جي مقدار کي گهٽائڻ لاءِ ملٽي ويفر صفائي کي سنگل ويفر صفائي ۾ بهتر بڻائڻ.
·سخت عمل ڪنٽرول:
الف. پيداوار جي عمل جي خودڪار طريقي کي محسوس ڪريو، جيڪو صحيح پروسيسنگ ۽ بيچ پيداوار کي محسوس ڪري سگهي ٿو، ۽ دستي آپريشن جي اعلي غلطي جي شرح کي گھٽائي سگھي ٿو؛
ب. الٽرا صاف عمل ماحولياتي عنصر، پيداوار جي نقصان جو تقريباً 5 سيڪڙو يا گهٽ ماڻهن ۽ ماحول جي ڪري ٿئي ٿو. الٽرا صاف عمل ماحولياتي عنصرن ۾ بنيادي طور تي هوا جي صفائي، اعليٰ پاڪائي وارو پاڻي، دٻيل هوا، CO2، N2، گرمي پد، نمي وغيره شامل آهن. هڪ صاف ورڪشاپ جي صفائي جي سطح اڪثر ڪري هوا جي هر يونٽ حجم جي اجازت ڏنل ذرڙن جي وڌ ۾ وڌ تعداد، يعني ذرات جي ڳڻپ جي ڪنسنٽريشن ذريعي ماپي ويندي آهي.
ج. پيداوار جي عمل دوران وڏي مقدار ۾ فضول سان ورڪ اسٽيشنن تي ڳولا کي مضبوط ڪريو، ۽ مناسب اهم نقطا چونڊيو.

 

وڌيڪ بحث لاءِ اسان وٽ اچڻ لاءِ دنيا جي ڪنهن به گراهڪ کي ڀليڪار!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j