Iṣẹ́dá ẹ̀rọ Semiconductor ní pàtàkì pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀, àwọn iyika tí a ti so pọ̀ àti àwọn ilana ìpamọ́ wọn.
A le pin iṣelọpọ semiconductor si awọn ipele mẹta: iṣelọpọ ohun elo ara ọja, ọjawaferIṣẹ́ àti ìṣètò ẹ̀rọ. Láàrin wọn, ìbàjẹ́ tó burú jùlọ ni ìpele ṣíṣe wafer ọjà.
Àwọn ohun tí ó ń ba àyíká jẹ́ ni a pín sí omi ìdọ̀tí, gáàsì ìdọ̀tí àti egbin líle.
Ilana iṣelọpọ Chip:
Wafer silikonilẹ́yìn ìlọ síta - ìwẹ̀nùmọ́ - ìfọ́mọ́ - ìdènà aṣọ - photolithography - ìdàgbàsókè - ìfọ́mọ́ - ìtànkálẹ̀, ìfisí ion - ìfipamọ́ èéfín kẹ́míkà - ìfọ́mọ́ kẹ́míkà - ìfọ́mọ́ kẹ́míkà - ìfọ́mọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Omi idọti
Omi idọti pupọ ni a n ṣe ni igbesẹ ilana kọọkan ti iṣelọpọ semiconductor ati idanwo apoti, pataki omi idọti ipilẹ acid, omi idọti ti o ni ammonia ati omi idọti adayeba.
1. Omi idọti ti o ni fluorine:
Àsídì Hydrofluoric di ohun tí ó jẹ́ lílò pàtàkì tí a ń lò nínú ìfọ́sídájú àti ìfọ́sídájú nítorí àwọn ànímọ́ rẹ̀ tí ó ń mú kí ó gbóná àti ìbàjẹ́. Omi ìdọ̀tí tí ó ní fluorine nínú iṣẹ́ náà wá láti inú ìlànà ìfọ́sídájú àti ìlànà ìfọ́sídájú kẹ́míkà nínú iṣẹ́ ṣíṣe ërún. Nínú iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ àwọn wafer silicon àti àwọn ohun èlò tí ó jọ mọ́ ọn, a tún ń lo hydrochloric acid ní ọ̀pọ̀ ìgbà. Gbogbo àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí ni a ń parí nínú àwọn táńkì ìfọ́sídájú tàbí àwọn ohun èlò ìfọmọ́, nítorí náà a lè tú omi ìdọ̀tí tí ó ní fluorine jáde lọ́tọ̀ọ̀tọ̀. Gẹ́gẹ́ bí ìfọ́sídájú náà, a lè pín in sí omi ìdọ̀tí tí ó ní fluorine nínú gíga àti omi ìdọ̀tí tí ó ní ammonia nínú díẹ̀. Ní gbogbogbòò, ìfọ́sídájú omi ìdọ̀tí tí ó ní ammonia nínú gíga lè dé 100-1200 mg/L. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé-iṣẹ́ a tún apa omi ìdọ̀tí yìí ṣe fún àwọn iṣẹ́ tí kò nílò omi gíga.
2. Omi ìdọ̀tí tí ó ní ìpìlẹ̀ àsìdì:
Ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ pé gbogbo ìlànà tí a ń lò nínú iṣẹ́ ṣíṣe ẹ̀rọ amúṣẹ́pọ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ kí a fọ ẹ̀rọ amúṣẹ́pọ̀ náà. Lọ́wọ́lọ́wọ́, sulfuric acid àti hydrogen peroxide ni àwọn omi ìwẹ̀nùmọ́ tí a sábà máa ń lò jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe ẹ̀rọ amúṣẹ́pọ̀. Ní àkókò kan náà, a tún ń lo àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ acid bíi nitric acid, hydrochloric acid àti omi ammonia.
Omi ìdọ̀tí tí a fi acid ṣe nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá náà wá láti inú ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá chip. Nínú iṣẹ́ ìpamọ́, a máa ń fi acid-base solution tọ́jú chip náà nígbà tí a bá ń lo electroplating àti ìwádìí kẹ́míkà. Lẹ́yìn ìtọ́jú, a nílò láti fi omi mímọ́ fọ̀ ọ́ láti mú omi ìdọ̀tí tí a fi acid ṣe jáde. Ní àfikún, a tún ń lo àwọn ohun èlò bíi sodium hydroxide àti hydrochloric acid nínú ibùdó omi mímọ́ láti tún anion àti cation resini ṣe láti mú omi ìdọ̀tí tí a fi acid ṣe jáde. A tún ń ṣe omi ìdọ̀tí tí a fi acid ṣe nígbà tí a bá ń fọ epo ìdọ̀tí tí a fi acid ṣe. Nínú àwọn ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá circuit tí a ti ṣe àkópọ̀, iye omi ìdọ̀tí tí a fi acid ṣe pọ̀ gan-an.
3. Omi ìdọ̀tí oníwà-bí-aláìdá:
Nítorí onírúurú ìlànà ìṣẹ̀dá, iye àwọn ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò yàtọ̀ síra gan-an. Síbẹ̀síbẹ̀, gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò tí a fi ń ṣe ohun èlò, àwọn ohun èlò tí a fi ń ṣe ...
4. Omi ìdọ̀tí mìíràn:
Ìlànà ìfọ́mọ́ra ti ilana iṣelọpọ semiconductor yoo lo iye ammonia, fluorine ati omi mimọ giga fun imukuro, nitorinaa o n pese itusilẹ omi idọti ti o ni ammonia ti o ga julọ.
Ilana electroplating ni a nilo ninu ilana iṣakojọpọ semiconductor. A nilo lati nu eerun naa lẹhin electroplating, ati pe a yoo ṣẹda omi idọti ti n nu electroplating ninu ilana yii. Niwọn igba ti a lo diẹ ninu awọn irin ninu electroplating, awọn itujade ion irin yoo wa ninu omi idọti ti n nu electroplating, gẹgẹbi lead, tin, disiki, zinc, aluminiomu, ati bẹbẹ lọ.
Gáàsì ìdọ̀tí
Nítorí pé ìlànà semiconductor ní àwọn ohun tí ó nílò gidigidi fún ìmọ́tótó yàrá iṣẹ́-abẹ, a sábà máa ń lo àwọn afẹ́fẹ́ láti fa onírúurú àwọn èéfín ìdọ̀tí tí ó ń yọ́ jáde nígbà iṣẹ́ náà. Nítorí náà, àwọn èéfín ìdọ̀tí nínú iṣẹ́ semiconductor ni a fi ìwọ̀n èéfín ńlá àti ìwọ̀n ìtújáde tí ó kéré hàn. Àwọn èéfín ìdọ̀tí tún máa ń yọ́.
A le pin awọn itujade gaasi idoti wọnyi si awọn ẹka mẹrin: gaasi ekikan, gaasi alkaline, gaasi idoti adayeba ati gaasi majele.
1. Gáàsì ìdọ̀tí tí a fi àsìdì ṣe:
Gáàsì ìdọ̀tí tó ní ìpìlẹ̀ ásíìdì sábà máa ń wá láti inú ìtànkálẹ̀,CVD, CMP àti àwọn ìlànà ìfọṣọ, èyí tí ó ń lo omi ìfọṣọ ipilẹ̀-àsìdì láti nu wafer náà.
Lọ́wọ́lọ́wọ́, ohun tí a sábà máa ń lò jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor ni àdàpọ̀ hydrogen peroxide àti sulfuric acid.
Àwọn gáàsì ìdọ̀tí tí a ń rí nínú àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí ní àwọn gáàsì ìdọ̀tí bíi sulfuric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, nitric acid àti phosphoric acid nínú, àti gáàsì alkaline ni ammonia nínú wọn.
2. Egbin adánidá:
Gáàsì ìdọ̀tí organic ni a sábà máa ń rí láti inú àwọn iṣẹ́ bíi photolithography, ìdàgbàsókè, ìfọ́ àti ìtànkálẹ̀. Nínú àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí, a máa ń lo omi organic (bíi isopropyl alcohol) láti nu ojú wafer náà, àti gáàsì ìdọ̀tí tí ìyípadà ń mú wá jẹ́ ọ̀kan lára àwọn orísun gáàsì ìdọ̀tí organic;
Ní àkókò kan náà, photoresist (photoresist) tí a lò nínú ilana photolithography àti etching ní àwọn ohun èlò oníyọ̀ oníyọ̀ oníyọ̀ bíi butyl acetate, tí ó máa ń yí padà sí afẹ́fẹ́ nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ wafer, èyí tí ó jẹ́ orísun mìíràn ti gáàsì ìdọ̀tí oníyọ̀.
3. Egbin oloro:
Àwọn gaasi egbin tó léwu máa ń wá láti inú àwọn iṣẹ́ bíi crystal epitaxy, dry etching àti CVD. Nínú àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí, a máa ń lo onírúurú gaasi pàtàkì tó ní ìwẹ̀mọ́ tó ga láti ṣe iṣẹ́ wafer, bíi silicon (SiHj), phosphorus (PH3), carbon tetrachloride (CFJ), borane, boron trioxide, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn gaasi pàtàkì kan jẹ́ majele, afẹ́fẹ́ ń fà síni lára, wọ́n sì máa ń ba nǹkan jẹ́.
Ní àkókò kan náà, nínú iṣẹ́ ìfọṣọ gbígbẹ àti ìwẹ̀nùmọ́ lẹ́yìn ìfipamọ́ èéfín kẹ́míkà nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, a nílò ọ̀pọ̀lọpọ̀ gaasi oxide (PFCS), bíi NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn èròjà perfluorin wọ̀nyí ní ìfàmọ́ra tó lágbára nínú agbègbè ìmọ́lẹ̀ infrared wọ́n sì dúró nínú afẹ́fẹ́ fún ìgbà pípẹ́. Wọ́n sábà máa ń kà wọ́n sí orísun pàtàkì ti ipa eefin àgbáyé.
4. Àìsí epo nínú àpò ìpamọ́:
Ní ìfiwéra pẹ̀lú ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor, gaasi ìdọ̀tí tí ìlànà ìpamọ́ semiconductor ń mú jáde rọrùn díẹ̀, pàápàá jùlọ gaasi ekikan, epoxy resin àti eruku.
Gáàsì ìdọ̀tí adìyẹ ni a sábà máa ń ṣẹ̀dá nínú àwọn iṣẹ́ bíi electroplating;
Gáàsì ìdọ̀tí tí a ń yan ni a ń mú jáde nígbà tí a bá ń yan lẹ́yìn tí a bá ti fi ọjà náà lẹ̀ mọ́ ọn tí a sì ti fi ìdì sí i;
Ẹ̀rọ ìgé tí a fi ń gé nǹkan máa ń mú kí epo ìdọ̀tí tó ní eruku sílíkọ́nì tó ń tàn jáde nígbà tí a bá ń gé nǹkan náà.
Àwọn ìṣòro ìbàjẹ́ àyíká
Fún àwọn ìṣòro ìbàjẹ́ àyíká ní ilé iṣẹ́ semiconductor, àwọn ìṣòro pàtàkì tí ó yẹ kí a yanjú ni:
· Ìtújáde tó tóbi ti àwọn èròjà afẹ́fẹ́ àti àwọn èròjà onígbàlódé tí ó ń yí padà (VOCs) nínú ìlànà fọ́tòlithography;
· Ìtújáde àwọn èròjà perfluorinated (PFCS) nínú ìfọ́ plasma àti àwọn ìlànà ìfọ́ kemikali;
· Lilo agbara ati omi ni iwọn nla ninu iṣelọpọ ati aabo aabo awọn oṣiṣẹ;
· Àtúnlo àti ìṣàyẹ̀wò ìbàjẹ́ àwọn ọjà tí ó wà lábẹ́ rẹ̀;
· Awọn iṣoro lilo awọn kemikali eewu ninu awọn ilana iṣakojọpọ.
Iṣelọpọ mimọ
Imọ-ẹrọ iṣelọpọ mimọ ti ẹrọ Semiconductor le ni ilọsiwaju lati awọn apakan ti awọn ohun elo aise, awọn ilana ati iṣakoso ilana.
Mu awọn ohun elo aise ati agbara dara si
Àkọ́kọ́, ó yẹ kí a ṣàkóso ìmọ́tótó àwọn ohun èlò dáadáa láti dín àwọn ohun tí kò ní èérí àti àwọn èròjà kù.
Èkejì, onírúurú ìwọ̀n otútù, wíwá ìjìnlẹ̀, ìgbọ̀nsẹ̀, ìgbóná iná mànàmáná gíga àti àwọn ìdánwò mìíràn ni a gbọ́dọ̀ ṣe lórí àwọn èròjà tí ń wọlé tàbí àwọn ọjà tí a ti parí kí a tó fi wọ́n sí iṣẹ́.
Ni afikun, mimọ awọn ohun elo iranlọwọ yẹ ki o wa ni iṣakoso ni kikun. Ọpọlọpọ awọn imọ-ẹrọ lo wa ti a le lo fun iṣelọpọ agbara mimọ.
Mu ilana iṣelọpọ dara si
Ilé iṣẹ́ semiconductor fúnra rẹ̀ ń gbìyànjú láti dín ipa rẹ̀ lórí àyíká kù nípasẹ̀ àwọn àtúnṣe ìmọ̀ ẹ̀rọ ilana.
Fún àpẹẹrẹ, ní àwọn ọdún 1970, àwọn ohun èlò olómi tí a fi ń yọ́ àwọn wáfárì nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ àyíká tí a ti ṣọ̀kan. Ní àwọn ọdún 1980, a lo àwọn omi àsìdì àti alkali bíi sulfuric acid láti fọ àwọn wáfárì. Títí di ọdún 1990, a ṣe àgbékalẹ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ atẹ́gùn plasma.
Ní ti àpò ìpamọ́, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ilé-iṣẹ́ ló ń lo ìmọ̀ ẹ̀rọ electroplating lọ́wọ́lọ́wọ́, èyí tí yóò fa ìbàjẹ́ irin líle sí àyíká.
Sibẹsibẹ, awọn ile-iṣẹ iṣakojọpọ ni Shanghai ko lo imọ-ẹrọ electroplating mọ, nitorinaa ko si ipa ti awọn irin eru lori ayika. A le rii pe ile-iṣẹ semiconductor n dinku ipa rẹ lori ayika ni diẹdiẹ nipasẹ awọn ilọsiwaju ilana ati rirọpo kemikali ninu ilana idagbasoke tirẹ, eyiti o tun tẹle aṣa idagbasoke agbaye lọwọlọwọ ti iṣeduro ilana ati apẹrẹ ọja ti o da lori ayika.
Ni bayi, awọn ilọsiwaju ilana agbegbe diẹ sii ni a n ṣe, pẹlu:
· Rírọ́pò àti dínkù gaasi PFCS gbogbo-ammonium, bíi lílo gaasi PFCs pẹ̀lú agbára eefin kékeré láti fi agbára eefin gíga rọ́pò gaasi, bíi mímú kí ìṣàn omi ilana sunwọn síi àti dín iye gaasi PFCS tí a lò nínú ilana náà kù;
·Ṣíṣe àtúnṣe sí ìwẹ̀nùmọ́ oní-pupọ sí ìwẹ̀nùmọ́ oní-pupọ láti dín iye àwọn ohun ìwẹ̀nùmọ́ kẹ́míkà tí a ń lò nínú iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ kù.
· Iṣakoso ilana to muna:
a. Mọ adaṣe ilana iṣelọpọ, eyiti o le ṣe iṣiṣẹ deede ati iṣelọpọ ipele, ati dinku oṣuwọn aṣiṣe giga ti iṣẹ afọwọṣe;
b. Àwọn ohun tó ń fa ìṣẹ̀dá àyíká tó mọ́ tónítóní, tó tó 5% tàbí díẹ̀ lára àdánù èso tó ń ṣẹlẹ̀ ló ń fa èyí tí àwọn èèyàn àti àyíká ń fà. Àwọn ohun tó ń fa ìṣẹ̀dá àyíká tó mọ́ tónítóní jùlọ ni ìwẹ̀nùmọ́ afẹ́fẹ́, omi tó mọ́ tónítóní, afẹ́fẹ́ tó ní ìfúnpọ̀, CO2, N2, iwọ̀n otútù, ọriniinitutu, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. A sábà máa ń wọn ìpele ìwẹ̀nùmọ́ ti ibi iṣẹ́ mímọ́ nípa iye àwọn ohun tó pọ̀ jùlọ tí a gbà láàyè fún ìwọ̀n afẹ́fẹ́ kọ̀ọ̀kan, ìyẹn ni pé, iye àwọn ohun tó wà nínú wọn;
c. Mu wiwa lagbara, ki o si yan awọn aaye pataki ti o yẹ fun wiwa ni awọn ibi iṣẹ pẹlu ọpọlọpọ egbin lakoko ilana iṣelọpọ.
Ẹ kí àwọn oníbàárà láti gbogbo àgbáyé káàbọ̀ láti wá bẹ̀ wá wò fún ìjíròrò síwájú síi!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-13-2024