Soo saarista qalabka semiconductor-ka waxaa inta badan ka mid ah aaladaha kala duwan, wareegyada isku dhafan iyo hababka baakadaha.
Wax soo saarka Semiconductor-ka waxaa loo qaybin karaa saddex marxaladood: soo saarista walxaha jirka ee badeecada, badeecadabuskud yarWax soo saarka iyo isu-imaatinka qalabka. Waxaa ka mid ah wasakhowga ugu daran waa marxaladda soo saarista wafer-ka alaabta.
Wasakhowga waxaa inta badan loo qaybiyaa biyaha wasakhda ah, gaaska qashinka ah iyo qashinka adag.
Habka wax soo saarka Chip:
Wafer silikoon ahka dib shiidi dibadda - nadiifin - oksaydheyn - iska caabin isku mid ah - sawir-qaadis - horumarin - xoqid - faafin, ku-tallaalidda ion - dhigista uumiga kiimikada - nadiifinta farsamada kiimikada - biraha, iwm.
Biyaha wasakhda ah
Xaddi badan oo biyo wasakh ah ayaa laga soo saaraa tallaabo kasta oo geeddi-socod ah oo ku saabsan soo saarista iyo tijaabinta baakadaha semiconductor-ka, inta badan biyaha wasakhda ah ee ku salaysan aashitada, biyaha wasakhda ah ee ay ku jirto ammonia iyo biyaha wasakhda ah ee dabiiciga ah.
1. Biyaha wasakhda ah ee ay ku jirto fluorine:
Aashitada Hydrofluoric waxay noqotaa dareeraha ugu weyn ee loo isticmaalo hababka oksaydhka iyo qodista sababtoo ah sifooyinkeeda oksaydhka iyo daxalka. Biyaha wasakhda ah ee ku jira fluorine inta lagu jiro habka waxay inta badan ka yimaadaan habka faafinta iyo habka nadiifinta farsamada kiimikada ee habka wax soo saarka jajabka. Habka nadiifinta ee wafers silicon iyo qalabka la xiriira, aashitada hydrochloric sidoo kale waxaa loo isticmaalaa marar badan. Dhammaan hababkan waxaa lagu dhammeeyaa haamaha qodista ee gaarka ah ama qalabka nadiifinta, sidaa darteed biyaha wasakhda ah ee ku jira fluorine si madax-bannaan ayaa loo sii deyn karaa. Sida ku xusan fiirsashada, waxaa loo qaybin karaa biyaha wasakhda ah ee ku jira fluorine oo xoog badan iyo biyaha wasakhda ah ee ku jira ammonia oo xoog yar. Guud ahaan, fiirsashada biyaha wasakhda ah ee ku jira ammonia oo xoog badan waxay gaari kartaa 100-1200 mg/L. Shirkadaha badankood waxay dib u warshadeeyaan qaybtan biyaha wasakhda ah ee hababka aan u baahnayn tayada biyaha sare.
2. Biyaha wasakhda ah ee ku salaysan aashitada:
Ku dhawaad hawl kasta oo ku jira habka wax soo saarka wareegga isku dhafan wuxuu u baahan yahay in jajabka la nadiifiyo. Waqtigan xaadirka ah, asiidhka sulfuric iyo hydrogen peroxide waa dareerayaasha nadiifinta ee ugu badan ee loo isticmaalo habka wax soo saarka wareegga isku dhafan. Isla mar ahaantaana, waxaa sidoo kale la isticmaalaa walxaha aashitada ku salaysan sida nitric acid, hydrochloric acid iyo biyaha ammonia.
Biyaha wasakhda ah ee ku salaysan aashitada ee habka wax soo saarka ayaa inta badan ka yimaada habka nadiifinta ee habka wax soo saarka jajabka. Habka baakadaha, jajabka waxaa lagu daaweeyaa xal aashitada ah inta lagu jiro electroplating iyo falanqaynta kiimikada. Daaweynta ka dib, waxay u baahan tahay in lagu dhaqo biyo saafi ah si loo soo saaro biyaha wasakhda ah ee lagu dhaqo saldhig aashitada ah. Intaa waxaa dheer, walxaha aashitada ah sida sodium hydroxide iyo hydrochloric acid ayaa sidoo kale loo isticmaalaa saldhigga biyaha saafiga ah si loo soo saaro anion iyo cation resins si loo soo saaro biyaha wasakhda ah ee dib u soo noolaynta saldhig aashitada ah. Biyaha dabada lagu dhaqo ayaa sidoo kale la soo saaraa inta lagu jiro habka dhaqidda gaaska qashinka ah ee salka aashitada ah. Shirkadaha wax soo saarka wareegyada isku dhafan, xaddiga biyaha wasakhda ah ee salka aashitada ah ayaa si gaar ah u badan.
3. Biyaha wasakhda ah ee dabiiciga ah:
Sababo la xiriira hababka wax soo saarka ee kala duwan, xaddiga dareeraha dabiiciga ah ee loo isticmaalo warshadaha semiconductor-ka aad ayuu u kala duwan yahay. Si kastaba ha ahaatee, maadaama ay yihiin wakiillo nadiifin ah, dareeraha dabiiciga ah ayaa weli si weyn loogu isticmaalaa isku xirka kala duwan ee baakadaha wax soo saarka. Qaar ka mid ah dareeraha ayaa noqda dheecaanka biyaha wasakhda ah ee dabiiciga ah.
4. Biyaha kale ee wasakhda ah:
Habka qodista ee habka wax soo saarka semiconductor-ka wuxuu u isticmaali doonaa xaddi badan oo ammonia, fluorine iyo biyo saafi ah oo aad u badan si loo nadiifiyo wasakhda, taasoo keenta dheecaan badan oo ka kooban biyaha wasakhda ah ee ammonia.
Habka loo isticmaalo electroplating-ka ayaa looga baahan yahay habka loo isticmaalo baakadaha semiconductor-ka. Chip-ka waa in la nadiifiyaa ka dib marka la sameeyo electroplating, biyaha wasakhda ah ee la nadiifiyo electroplating-ka ayaa laga soo saari doonaa habkan. Maadaama biraha qaar loo isticmaalo electroplating-ka, waxaa jiri doona qiiqa birta ah ee ion-ka ee ku jira biyaha wasakhda ah ee la nadiifiyo electroplating-ka, sida rasaasta, qasacadda, saxanka, zinc, aluminiumka, iwm.
Gaaska qashinka ah
Maadaama habka semiconductor-ka uu leeyahay shuruudo aad u sarreeya oo loogu talagalay nadaafadda qolka qalliinka, marawaxadaha waxaa badanaa loo isticmaalaa in lagu soo saaro noocyo kala duwan oo gaasaska qashinka ah ee burbura inta lagu jiro hawsha. Sidaa darteed, qiiqa gaaska qashinka ah ee warshadaha semiconductor-ka waxaa lagu gartaa mugga qiiqa oo weyn iyo uruurinta qiiqa oo hooseeya. Qiiqa gaaska qashinka ah ayaa sidoo kale inta badan burbura.
Qiiqa gaaska qashinka ah waxaa inta badan loo qaybin karaa afar qaybood: gaaska aashitada leh, gaaska alkaline, gaaska qashinka dabiiciga ah iyo gaaska sunta ah.
1. Gaaska qashinka ee salka aashitada leh:
Gaaska qashinka ku salaysan aashitada ayaa inta badan ka yimaada faafinta,CVD, CMP iyo hababka wax lagu xoqo, kuwaas oo isticmaala xalka nadiifinta salka aashitada si loo nadiifiyo waferka.
Waqtigan xaadirka ah, dareeraha nadiifinta ee ugu badan ee loo isticmaalo habka wax soo saarka semiconductor waa isku darka hydrogen peroxide iyo sulfuric acid.
Gaaska qashinka ah ee ka dhasha hababkan waxaa ka mid ah gaasaska aashitada leh sida sulfuric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, nitric acid iyo fosforic acid, gaaska alkaline-ka ahna inta badan waa ammonia.
2. Gaaska qashinka dabiiciga ah:
Gaaska qashinka dabiiciga ah wuxuu inta badan ka yimaadaa hababka sida sawir-qaadista, horumarinta, xoqidda iyo faafinta. Hawshahan, xalka dabiiciga ah (sida isopropyl alcohol) ayaa loo isticmaalaa in lagu nadiifiyo dusha sare ee wafer-ka, gaaska qashinka ah ee ka dhasha volatilization-kuna waa mid ka mid ah ilaha gaaska qashinka dabiiciga ah;
Isla mar ahaantaana, sawir-qaadaha (sawir-qaadaha) ee loo isticmaalo habka sawir-qaadista iyo sawir-qaadista waxa ku jira dareereyaal dabiici ah oo isbeddela, sida butyl acetate, kuwaas oo ku milma jawiga inta lagu jiro habka farsamaynta wafer-ka, kaas oo ah isha kale ee gaaska qashinka dabiiciga ah.
3. Gaaska qashinka sunta ah:
Gaaska qashinka sunta ah wuxuu inta badan ka yimaadaa hababka sida crystal epitaxy, qallayl etching iyo CVD. Hawshahan, noocyo kala duwan oo gaasas gaar ah oo saafi ah ayaa loo isticmaalaa in lagu farsameeyo wafer-ka, sida silicon (SiHj), fosfooraska (PH3), kaarboon tetrachloride (CFJ), borane, boron trioxide, iwm. Qaar ka mid ah gaasaska gaarka ah waa sun, neef qabatin iyo daxal.
Isla mar ahaantaana, habka qalajinta iyo nadiifinta ka dib kaydinta uumiga kiimikada ee wax soo saarka semiconductor-ka, waxaa loo baahan yahay xaddi badan oo gaas oksaydh buuxa (PFCS), sida NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, iwm. Isku-dhafkan perfluorinated-ka leh waxay leeyihiin nuugid xooggan oo ku jirta gobolka iftiinka infrared-ka waxayna ku sii jiraan jawiga muddo dheer. Guud ahaan waxaa loo arkaa inay yihiin isha ugu weyn ee saameynta aqalka dhirta lagu koriyo ee adduunka.
4. Gaaska qashinka ah ee habka baakaynta:
Marka la barbar dhigo habka wax soo saarka semiconductor-ka, gaaska qashinka ah ee ka soo baxa habka baakadaha semiconductor-ka waa mid fudud, inta badan gaaska aashitada leh, resin epoxy iyo boodhka.
Gaaska qashinka aashitada leh waxaa inta badan laga soo saaraa hababka sida electroplating;
Gaaska qashinka dubista waxaa la sameeyaa habka dubista ka dib marka la dhejiyo oo la shaabadeeyo badeecada;
Mashiinka jarista ayaa soo saara gaas qashin ah oo ka kooban boor silikoon ah oo raad ah inta lagu jiro habka jarista wafer-ka.
Dhibaatooyinka wasakhowga deegaanka
Dhibaatooyinka wasakheynta deegaanka ee warshadaha semiconductor-ka, dhibaatooyinka ugu muhiimsan ee u baahan in la xalliyo waa:
· Qiiqa baaxadda weyn ee wasakhowga hawada iyo isku-dhafka dabiiciga ah ee isbeddela (VOCs) ee habka sawir-qaadista;
· Qiiqa isku-dhafka perfluorinated (PFCS) ee ku jira qodista balaasmaha iyo hababka kaydinta uumiga kiimikada;
· Isticmaalka tamarta iyo biyaha ee baaxadda weyn ee wax soo saarka iyo ilaalinta badbaadada shaqaalaha;
· Dib-u-warshadaynta iyo la socodka wasakhowga ee wax soo saarka ka soo baxa;
· Dhibaatooyinka isticmaalka kiimikooyinka khatarta ah ee hababka baakadaha.
Wax soo saar nadiif ah
Tiknoolajiyada wax soo saarka nadiifka ah ee qalabka semiconductor waxaa lagu horumarin karaa dhinacyada alaabta ceeriin, hababka iyo xakamaynta habka.
Hagaajinta agabka ceeriin iyo tamarta
Marka hore, daahirnimada agabka waa in si adag loo xakameeyaa si loo yareeyo soo bandhigidda wasakhda iyo walxaha.
Marka labaad, heerkul kala duwan, ogaanshaha daadashada, gariirka, shoogga korontada ee danab sare leh iyo baaritaanno kale waa in lagu sameeyaa qaybaha soo socda ama alaabada nus-dhammaystiran ka hor inta aan la gelin wax soo saarka.
Intaa waxaa dheer, waa in si adag loo xakameeyaa daahirnimada agabka kaabayaasha ah. Waxaa jira tiknoolajiyado badan oo loo isticmaali karo wax soo saar nadiif ah oo tamar ah.
Hagaaji habka wax soo saarka
Warshadaha semiconductor-ka laftoodu waxay ku dadaalaan inay yareeyaan saameynta ay ku leeyihiin deegaanka iyada oo loo marayo horumarinta tignoolajiyada habka.
Tusaale ahaan, sanadihii 1970-meeyadii, dareerayaasha dabiiciga ah waxaa inta badan loo isticmaali jiray nadiifinta wafer-ka iyadoo la adeegsanayo tiknoolajiyada nadiifinta wareegga isku dhafan. 1980-meeyadii, xalalka aashitada iyo alkali sida sulfuric acid waxaa loo isticmaali jiray nadiifinta wafer-ka. Ilaa 1990-meeyadii, tignoolajiyada nadiifinta oksijiinta balaasmaha ayaa la sameeyay.
Marka laga hadlayo baakadaha, shirkadaha badankood hadda waxay isticmaalaan tiknoolajiyada elektaroonigga ah, taas oo sababi doonta wasakhowga birta culus ee deegaanka.
Si kastaba ha ahaatee, warshadaha baakadaha ee Shanghai ma isticmaalaan tiknoolajiyada elektaroonigga ah, sidaa darteed ma jiraan wax saameyn ah oo biraha culus ku leeyihiin deegaanka. Waxaa la ogaan karaa in warshadaha semiconductor-ka ay si tartiib tartiib ah u yareynayaan saameynta ay ku leeyihiin deegaanka iyada oo loo marayo hagaajinta habka iyo beddelka kiimikada ee geedi socodkooda horumarinta, taas oo sidoo kale raacaysa isbeddelka horumarka caalamiga ah ee hadda jira ee habka u doodista iyo naqshadeynta badeecadaha iyadoo lagu saleynayo deegaanka.
Waqtigan xaadirka ah, horumarin badan oo maxalli ah ayaa la sameynayaa, oo ay ku jiraan:
· Beddelka iyo yaraynta gaaska PFCS ee ammonium-ka oo dhan, sida isticmaalka gaaska PFCs oo leh saameyn aqalka dhirta lagu koriyo oo hooseeya si loogu beddelo gaaska saameyn aqalka dhirta lagu koriyo oo sare, sida hagaajinta socodka habka iyo yaraynta xaddiga gaaska PFCS ee loo isticmaalo habka;
· Horumarinta nadiifinta badan ee wafer-ka ah ilaa nadiifinta hal-wafer-ka ah si loo yareeyo tirada walxaha nadiifinta kiimikada ee loo isticmaalo habka nadiifinta.
· Xakamaynta habka adag:
a. In la helo otomaatiga habka wax soo saarka, kaas oo xaqiijin kara habaynta saxda ah iyo wax soo saarka dufcadda, isla markaana yarayn kara heerka khaladaadka sare ee hawlgalka gacanta;
b. Hab-socodka aadka u nadiifsan arrimaha deegaanka, qiyaastii 5% ama ka yar khasaaraha wax-soo-saarka waxaa sababa dadka iyo deegaanka. Hab-socodka aadka u nadiifsan arrimaha deegaanka waxaa inta badan ka mid ah nadiifinta hawada, biyaha saafiga ah ee sare, hawada la cadaadiyay, CO2, N2, heerkulka, qoyaanka, iwm. Heerka nadaafadda ee aqoon-is-weydaarsiga nadiifka ah waxaa badanaa lagu cabbiraa tirada ugu badan ee walxaha loo oggol yahay halkii halbeeg ee hawada, taas oo ah, fiirsashada tirada walxaha;
c. Xoojinta ogaanshaha, oo dooro meelaha muhiimka ah ee ku habboon ee lagu ogaan karo goobaha shaqada ee leh qashin badan inta lagu jiro habka wax soo saarka.
Ku soo dhawoow macaamiil kasta oo ka kala yimid daafaha dunida si ay noo soo booqdaan si aan u yeelano dood dheeraad ah!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Waqtiga boostada: Agoosto-13-2024